江苏众晶半导体有限公司马正方获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏众晶半导体有限公司申请的专利一种晶圆加工烘烤设备节能型加热模块获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224202146U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521169193.3，技术领域涉及：F26B23/04；该实用新型一种晶圆加工烘烤设备节能型加热模块是由马正方;朱国峰设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工烘烤设备节能型加热模块在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆烘干技术领域，公开了一种晶圆加工烘烤设备节能型加热模块，包括多个待烘干处理的晶圆本体和用于对多个晶圆本体存放的晶圆存放组件，晶圆存放组件一侧设置有用于对晶圆存放组件内的多个晶圆本体加热烘干的烘干加热机构，烘干加热机构一侧设置有用于带动晶圆存放组件上下往复垂直移动的往复升降机构，烘干加热机构通过电加热模块、空气交互风机与热管的协同作用，确保热量均匀分布，提升烘干效率，晶圆存放组件则通过防滑配重盘和定位柱提供稳定的放置平台，并通过透气孔洞确保空气流通，提升晶圆的均匀加热效果，整个系统具备紧凑、精准和节能的优点，既有效提升了烘干效率，又保证了晶圆加工质量。
本实用新型一种晶圆加工烘烤设备节能型加热模块在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工烘烤设备节能型加热模块，其特征在于：包括多个待烘干处理的晶圆本体5和用于对多个晶圆本体5存放的晶圆存放组件4，所述晶圆存放组件4一侧设置有用于对晶圆存放组件4内的多个晶圆本体5加热烘干的烘干加热机构3，所述烘干加热机构3一侧设置有用于带动晶圆存放组件4上下往复垂直移动的往复升降机构2，所述往复升降机构2下端设置有用于驱使往复升降机构2和烘干加热机构3围绕晶圆存放组件4外侧转动的驱动机构1，所述驱动机构1还用于带动往复升降机构2启动运转。
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