欣福半导体科技(合肥)有限公司吴慕妍获国家专利权
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龙图腾网获悉欣福半导体科技(合肥)有限公司申请的专利一种晶圆盒内部污染检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203070U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520690673.8，技术领域涉及：G01N21/94；该实用新型一种晶圆盒内部污染检测装置是由吴慕妍;陈娟;张家辉;关冉冉;夏雨婷;张娜设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒内部污染检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆盒内部污染检测装置，涉及晶圆盒检测装置领域，包括：底座，所述底座的上端连接有侧板，且底座的上侧设有检测架，并且侧板的内侧滑动连接有检测组件，所述检测架包括固定架，且固定架的内侧壁设有限位条，并且在固定架的上侧设有槽板，所述槽板的上端滑动插接有测量板，且测量板的顶部设有限位板，所述检测组件包括升降板，且升降板的外端连接有安装板，并且安装板上侧安装有灰尘检测仪，同时灰尘检测仪的外端通过导线连接有检测探头。本实用新型具有便于对晶圆盒内侧插槽表面进行污染检测，且同时便于对晶圆盒外观进行检测的效果。
本实用新型一种晶圆盒内部污染检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒内部污染检测装置，包括：底座1，其特征在于：所述底座1的上端连接有侧板2，且底座1的上侧设有检测架3，并且侧板2的内侧滑动连接有检测组件4，所述检测架3包括固定架31，且固定架31的内侧壁设有限位条32，并且在固定架31的上侧设有槽板33，所述槽板33的上端滑动插接有测量板34，且测量板34的顶部设有限位板36，所述检测组件4包括升降板41，且升降板41的外端连接有安装板42，并且安装板42上侧安装有灰尘检测仪43，同时灰尘检测仪43的外端通过导线431连接有检测探头432。
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