南阳新兴精密光学有限公司李继珍获国家专利权
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龙图腾网获悉南阳新兴精密光学有限公司申请的专利一种光掩模基板表面缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203084U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521033108.0，技术领域涉及：G01N21/956；该实用新型一种光掩模基板表面缺陷检测装置是由李继珍;辛成法设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光掩模基板表面缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其为一种光掩模基板表面缺陷检测装置，包括主体，主体的顶部固定连接有二维平移组件和数据采集分析组件，二维平移组件的顶部固定连接有旋转组件；本实用新型通过利用第一电机带动丝杠，使螺纹块在其上面进行移动，以及第二电机的驱动带动转动轮和传动轮的啮合转动，进而能够实现对载物平台上的光掩模基板进行精确的二维平移和旋转运动，以确保整个基板表面都能被均匀扫描，光源模块包括多个不同波长的光源，可以根据检测需求选择合适的光源波长以增强缺陷的对比度，用于采集光掩模基板表面的图像，光学成像单元包括高分辨率的相机和多个可切换的镜头，能够适应不同尺寸和分辨率要求的检测任务。
本实用新型一种光掩模基板表面缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种光掩模基板表面缺陷检测装置，包括主体1，其特征在于：所述主体1的顶部固定连接有二维平移组件2和数据采集分析组件4，所述二维平移组件2的顶部固定连接有旋转组件3； 所述二维平移组件2包括承载架201，所述承载架201的侧面安装有第一电机202，所述第一电机202的输出端固定连接有螺纹块203，所述螺纹块203的侧面螺纹连接有丝杠204，所述丝杠204的顶部固定连接有安装板207； 所述旋转组件3包括承载箱301，所述承载箱301的内部安装有第二电机302，所述第二电机302的输出端固定连接有转动轮303，所述转动轮303的侧面啮合连接有传动轮304，所述传动轮304的内部固定连接有转杆305，所述转杆305的输出端固定连接有载物平台306； 所述数据采集分析组件4包括顶架401，所述顶架401的内部安装有光源模块402和光学成像单元403。
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