嘉兴微瑞光学有限公司张畅达获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴微瑞光学有限公司申请的专利一种新型倒置加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203572U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521031232.3，技术领域涉及：G03F7/38；该实用新型一种新型倒置加热装置是由张畅达;冯开来;丁旭;杨兴朋设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型倒置加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种新型倒置加热装置，包括：加热腔室，加热腔室内设有加热模块、两组XYZ模组一和晶圆托盘，加热模块包括设置于加热腔室内顶部的加热板，加热板上设置有若干真空孔，若干真空孔均与外部的真空泵连通，两组XYZ模组一均连接有夹持臂，两组XYZ模组通过夹持臂能够对晶圆托盘进行夹持、升降以及输送；冷却腔室，冷却腔室与加热腔室连通，冷却腔室内设有冷板和两组XYZ模组二，冷板背面设有冷却管路，两组XYZ模组二能够与两组XYZ模组一配合，实现对晶圆托盘在两腔室之间的运输以及在冷却腔室内的升降；该新型倒置加热装置集成了高精度控温、真空吸附、惰性气体保护及快速冷却功能，以提升光刻胶处理的均匀性、效率及良率。
本实用新型一种新型倒置加热装置在权利要求书中公布了：1.一种新型倒置加热装置，其特征在于，包括： 加热腔室，所述加热腔室内设置有加热模块、两组XYZ模组一和晶圆托盘，所述加热模块包括加热板，所述加热板上设置于加热腔室内的顶部，并且加热板上设置有若干真空孔，若干真空孔均与外部的真空泵连通，两组XYZ模组一均连接有夹持臂，两组XYZ模组通过夹持臂能够对晶圆托盘进行夹持、升降以及输送； 冷却腔室，所述冷却腔室位于加热腔室的一侧并与加热腔室连通，并且冷却腔室与加热腔室之间设置有舱门，所述冷却腔室内设置有冷板和两组XYZ模组二，所述冷板位于冷却腔室内底部，并且冷板背面设置有冷却管路，两组XYZ模组二能够与两组XYZ模组一配合，实现对晶圆托盘在加热腔室和冷却腔室之间的运输以及在冷却腔室内的升降。
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