拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司徐丰获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司申请的专利运输设备和工艺系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205610U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521058333.X,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型运输设备和工艺系统是由徐丰;时祥;李文;尹曦平设计研发完成,并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本运输设备和工艺系统在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体或光伏技术领域,尤其涉及一种运输设备和工艺系统,以解决运输设备占地面积大、产能低的问题。该运输设备包括旋转装置、片材取放装置、承载结构、缓存装置、载片结构搬运装置和承载结构输送装置,缓存装置包括已工艺放置位和换片缓存位,已工艺放置位可以用于专门暂存载有已工艺片材的承载结构,换片缓存位可以主要缓存换片中的第一载片结构,承载结构能够由已工艺放置位被移动至换片缓存位,可以避免工序混杂,减少运输设备空转时间,并且,当换片缓存位的第一载片结构换片时,已工艺放置位可同时接收新下料的承载已工艺片材的承载结构,实现下料和换片同步进行,提升了运输效率和吞吐量。
本实用新型运输设备和工艺系统在权利要求书中公布了:1.一种运输设备,用于向一个及以上工艺设备输送待工艺片材以及输出已工艺片材,所述工艺设备具有工艺腔室,所述工艺腔室能够容纳多个呈竖立状态的第一载片结构,所述第一载片结构用于承载多个所述待工艺片材,所述待工艺片材工艺后形成所述已工艺片材; 其特征在于,所述运输设备包括: 一个及以上旋转装置,用于承载并旋转所述第一载片结构,以使所述第一载片结构处于竖立状态或水平状态; 片材取放装置,与所述旋转装置相邻设置,在所述旋转装置驱动所述第一载片结构处于水平状态时,所述片材取放装置在所述第一载片结构内放入多个所述待工艺片材和或取出多个所述已工艺片材; 一个及以上承载结构,用于承载多个处于竖立状态的所述第一载片结构; 缓存装置,包括已工艺放置位和换片缓存位,所述已工艺放置位用于放置承载载有所述已工艺片材的所述第一载片结构的所述承载结构,所述承载结构能够由所述已工艺放置位被移动至所述换片缓存位; 载片结构搬运装置,用于在所述换片缓存位与所述旋转装置之间搬运竖立状态的所述第一载片结构; 承载结构输送装置,与所述缓存装置相邻设置,用于将所述缓存装置缓存的且承载载有所述待工艺片材的所述第一载片结构的所述承载结构输送至所述工艺设备,并将承载载有所述已工艺片材的所述第一载片结构的所述承载结构输出所述工艺设备。
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