重庆芯联微电子有限公司周子鉴获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利晶圆传输模组调整装置及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205611U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521059454.6,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型晶圆传输模组调整装置及半导体设备是由周子鉴;田龙;李小龙设计研发完成,并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传输模组调整装置及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,提供了一种晶圆传输模组调整装置及半导体设备,晶圆传输模组调整装置包括:摆动件、约束组件、锁定组件和直线运动组件;所述摆动件的第一端用于与直线运动组件转动连接,所述直线运动组件直线运动的设置;所述约束组件与所述摆动件连接,所述约束组件用于在所述摆动件绕所述第一端转动时,约束所述摆动件的第二端沿第一方向直线运动;所述锁定组件与所述摆动件连接用于锁定所述摆动件的第二端沿所述第一方向的位置。该调整装置可实时对调整高度进行锁定,以方便校准定位高度,提高定位精度。
本实用新型晶圆传输模组调整装置及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆传输模组调整装置,其特征在于,包括:摆动件、约束组件、锁定组件和直线运动组件; 所述摆动件的第一端用于与直线运动组件转动连接,所述直线运动组件直线运动的设置; 所述约束组件与所述摆动件连接,所述约束组件用于在所述摆动件绕所述第一端转动时,约束所述摆动件的第二端沿第一方向直线运动; 所述锁定组件与所述摆动件连接用于锁定所述摆动件的第二端沿所述第一方向的位置。
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