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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利一种减薄晶圆面型和平面度智能控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120503084B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510285804.9，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权一种减薄晶圆面型和平面度智能控制方法及系统是由叶乐志;孟文设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种减薄晶圆面型和平面度智能控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种减薄晶圆面型和平面度智能控制方法及系统，属于半导体制造领域。该系统包括智能气浮主轴、晶圆面型识别系统、平面度测量系统、智能调节算法系统、主轴角度调节装置及主轴运行状态监控系统。通过实时监控主轴状态并结合机器学习优化策略，系统自动调节主轴的倾角、气流量和冷却水流量，确保晶圆减薄过程中的面型质量和平面度符合要求。晶圆面型识别系统和平面度测量系统通过激光测距仪实时测量晶圆表面数据，生成面型三维模型。本发明的控制方法及系统能根据实时数据自动调整主轴工作状态，减少人工干预，提高晶圆的面型控制精度和加工良率，具有智能化、精确控制和高可靠性的特点。

本发明授权一种减薄晶圆面型和平面度智能控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种减薄晶圆面型和平面度智能控制系统，其特征在于，包括： 智能气浮主轴，其包括气浮主轴及主轴上的电机、差动螺纹、气流量控制阀、水流量控制阀、温度传感器、振动传感器、位移传感器； 晶圆面型识别系统，用于通过激光测距仪获取晶圆表面数据，并生成面型三维模型； 平面度测量系统，依据生成的面型三维模型计算晶圆的平面度并生成相关数据； 智能调节算法系统，根据晶圆面型数据和平面度数据自动调节主轴工作状态，包括电机旋转角度、主轴倾角、气压和冷却水流量； 主轴角度调节装置，用于调整主轴的倾角以优化晶圆面型； 主轴运行状态监控系统，用于实时监测主轴的温度、振动、位移、气压，确保主轴运行在正常状态； 智能气浮主轴通过主轴角度调节装置精确控制倾角，确保晶圆在减薄过程中面型可被调节，晶圆面型识别系统与平面度测量系统实时采集数据，并由智能调节算法系统分析计算优化调整策略，主轴运行状态监控系统通过多传感器检测主轴运行情况，结合流量控制保障其稳定性，从而实现高精度减薄，提高晶圆面型质量和平面度； 智能调节算法系统如下，以8英寸硅片和减薄砂轮为例，减薄砂轮直径为D1，硅片直径为D2，晶圆直径为砂轮外刃直径记为R，砂轮轴线和被减薄硅片轴线分别定义为Z1轴和Z2轴，磨削平面为XOY平面，建立笛卡尔坐标系X1Y1Z1和X2Y2Z2且Y1与Y2共线，磨削过程中通过主轴调节装置控制A、B、C三点高度实现半接触磨削，其中A点坐标为，B点坐标为0,R,0，C点坐标为，过O1点做O1C的垂线与X1OY1平面内磨削刃相交于M点与AB交于N点，调节C点高度时A、B、C三点绕MN所在直线旋转，MN为轴的单位向量为，空间直角坐标系绕任意轴旋转公式为，其中K=1-cosθ，三维坐标转换旋转矩阵，坐标变换满足[X';Y';Z']=R3×3[X;Y;Z]，旋转θ°后A’、B`、C`三点坐标依次为，,,，,X1轴单位向量，整体圆弧绕x旋转α角的旋转矩阵，其中K'=1-cosα，旋转后A''、B''、C''三点确定圆的圆心为0,0,0，曲线为平面AX+BY+CZ+D=0与原点为圆心半径R的球的截面，平面法向量b=A''B''×A''C''，半径R的曲线方程A1为x²+y²+z²=R²且MX+NY+PZ+D=0，M、N、P为法向量b分量，经坐标变换至X2Y2Z2坐标系得方程A2，方程A2绕Z2轴旋转一周的曲面方程为理想晶圆磨削面型方程，固定A''点后B''、C''的Z向坐标为实际调整高度，由旋转变换得到调节角度与面型高度曲线关系并结合角度与调节端高度关系实现晶圆面型实时控制。

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