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日本麦可罗尼克斯股份有限公司奥田通孝获国家专利权

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龙图腾网获悉日本麦可罗尼克斯股份有限公司申请的专利光学探针及其制造方法、光学探针阵列、光学探针卡获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113720581B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110552745.9,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权光学探针及其制造方法、光学探针阵列、光学探针卡是由奥田通孝;齐藤祐贵;福士树希也;原子翔设计研发完成,并于2021-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

光学探针及其制造方法、光学探针阵列、光学探针卡在说明书摘要公布了:提供一种传输模式为单模且能够高效地测定光学器件的光学探针、光学探针阵列、光学探针卡以及光学探针的制造方法。光学探针10具备以使传输模式为单模的光波导连续的方式连结的第一区域11和第二区域12。连续到与光学器件20相对的顶端面100的第一区域11包括在顶端面100为最大的模场直径朝向第一区域11与第二区域12的区域边界13逐渐变窄的区域。顶端面100为曲面,顶端面100的曲率半径被设定为使从顶端面100入射的光信号L的行进方向与光波导的中心轴方向近似平行。

本发明授权光学探针及其制造方法、光学探针阵列、光学探针卡在权利要求书中公布了:1.一种光学探针,在与光学器件之间发送接收光信号,所述光学探针用于测定在形成于晶圆的状态下的所述光学器件的特性,所述光学探针的特征在于, 具备第一区域和第二区域,所述第一区域和第二区域以使传输模式为单模的光波导连续的方式进行连结,所述光波导由芯部和配置在所述芯部的外周的包层部构成,连续到与所述光学器件相对的顶端面的所述第一区域包括在所述顶端面为最大的模场直径朝向所述第一区域与所述第二区域的区域边界逐渐变窄的区域, 所述顶端面为曲面,所述顶端面的曲率半径被设定为使从所述顶端面入射的所述光信号的行进方向在所述光信号通过所述顶端面之后立即与所述光波导的中心轴方向近似平行, 在假定所述顶端面的曲率半径为R、所述顶端面的数值孔径为NA、所述顶端面的模场直径即第一MF直径为Ce、向所述顶端面入射的所述光信号的辐射角为2αm、所述光信号入射到所述顶端面的入射点处的所述芯部的折射率为nr、所述顶端面的所述入射点处的中心半角为ω、所述光信号在所述入射点处的折射角为ω+β、所述顶端面平坦的情况下,所述顶端面的数值孔径sinα0满足以下关系式: R=Cesinω NA=sinαm αm=sin-1{nr×sinω+β}-ω β=sin-1{sinα0r}。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人日本麦可罗尼克斯股份有限公司,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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