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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种工艺故障处理方法和一种半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242616B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111433247.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种工艺故障处理方法和一种半导体工艺设备是由相会凤设计研发完成，并于2021-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工艺故障处理方法和一种半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种工艺故障处理方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：执行工艺任务时，确定发生故障的目标腔室模块为串行模块或并行模块；若目标腔室模块为串行模块，则调整需要经过所述目标腔室模块的关联晶圆的传输路径信息，并根据调整后的传输路径信息，生成新的调度动作序列；若目标腔室模块为并行模块，则将滞留目标腔室模块的滞留晶圆传输至与目标腔室模块对应的另一个并行模块，并针对滞留晶圆生成新的调度动作序列；按照新生成的调度动作序列继续执行工艺任务。根据本发明实施例，通过对调度优化实现对Job异常处理的自动化流程，可以提高设备的自动化水平，降低人工处理故障异常的复杂程度。

本发明授权一种工艺故障处理方法和一种半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺故障处理方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括多个用于对晶圆进行工艺任务的腔室模块，且多个所述腔室模块分为串行模块和并行模块，所述工艺任务是指由所述半导体工艺设备自动执行的一套完整的晶圆加工方案，所述方法包括： 执行所述工艺任务时，确定发生故障的目标腔室模块为串行模块或并行模块； 若所述目标腔室模块为串行模块，则调整需要经过所述目标腔室模块的关联晶圆的传输路径信息，并根据调整后的传输路径信息，生成新的调度动作序列； 若所述目标腔室模块为并行模块，则将滞留所述目标腔室模块的滞留晶圆传输至与所述目标腔室模块对应的另一个并行模块，并针对所述滞留晶圆生成新的调度动作序列； 按照新生成的所述调度动作序列继续执行所有所述工艺任务； 其中，所述半导体工艺设备包括晶圆盒，所述调整需要经过所述目标腔室模块的关联晶圆的传输路径信息，包括： 确定所述关联晶圆的当前传输位置； 若所述当前传输位置为在所述目标腔室模块之前，则将所述关联晶圆的信息从所述工艺任务中删除，并将所述关联晶圆的调用状态设置为不可调用状态；所述关联晶圆的信息包括所述关联晶圆的传输路径信息；创建将所述关联晶圆从所述当前传输位置传输至所述晶圆盒的传输路径，得到所述调整后的传输路径信息； 若所述当前传输位置为在所述目标腔室模块之后，则不调整所述关联晶圆的传输路径信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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