铠侠股份有限公司増井健二获国家专利权
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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116809534B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210806490.9，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由増井健二;寺山正敏设计研发完成，并于2022-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置及基板处理方法。一个实施方式所涉及的基板处理装置具备：基板保持部，具有将基板大致水平地保持的平台；冻结液供给部，向基板供给冻结液；冷却部，冷却冻结液而形成冻结膜；以及喷嘴，在俯视观察下所述喷嘴在包含平台的中心部的第一方向上延伸，第一方向的一端及与该一端相对侧的另一端位于中心部外侧的外周部，该基板处理装置包含解冻液供给部，该解冻液供给部向基板供给在中心部和外周部处供给量、温度、供给定时中的至少一种不同的解冻液，解冻冻结膜。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其具备： 基板保持部，具有将基板大致水平地保持的平台；冻结液供给部，向所述基板供给冻结液；冷却部，冷却所述冻结液而形成冻结膜；以及喷嘴，在俯视观察下、所述喷嘴在包含所述平台的中心部的第一方向上延伸，所述第一方向的一端及与该所述一端相对侧的另一端位于所述中心部外侧的外周部， 所述基板处理装置包含解冻液供给部， 所述解冻液供给部同时向所述基板供给在所述中心部和所述外周部处供给量、温度的至少一种不同的解冻液，解冻所述冻结膜， 所述喷嘴具备多个液体供给口，多个所述液体供给口所配置的区域的长边方向的宽度为与所述基板的直径大致相同的长度，多个所述液体供给口所配置的区域的、长边两端部处的短边方向的宽度大于长边中央部处的短边方向的宽度，以使长边两端部处的所述液体供给口的数量多于长边中央部处的所述液体供给口的数量，从而使所述解冻液的供给量在所述外周部比在所述中心部多。
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