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深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利光学系统的对称性检测方法及系统、设备和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116993650B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210441973.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权光学系统的对称性检测方法及系统、设备和存储介质是由陈鲁;王紫媛;吕肃;黄有为;张嵩设计研发完成,并于2022-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

光学系统的对称性检测方法及系统、设备和存储介质在说明书摘要公布了:一种光学系统的对称性检测方法及系统、设备和存储介质,检测方法包括:提供待测目标,包括待测图案,待测图案具有预设感兴趣区域,预设感兴趣区域的待测图案关于沿特定方向延伸的第一对称轴呈轴对称;利用光学系统获取待测目标的预设感兴趣区域的图像,得到感兴趣图像,沿特定方向延伸的第一对称轴在感兴趣图像中所在的轴线为第二对称轴;根据感兴趣图像获取光学系统沿特定方向的对称性表征值,对称性表征值为关于第二对称轴对称的两个参考位置的检出值的差值。本发明基于呈轴对称的感兴趣图像,获得光学系统沿特定方向的检出参数的对称性表征值,从而实时且精确地对光学系统的对称性进行评估。

本发明授权光学系统的对称性检测方法及系统、设备和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种光学系统的对称性检测方法,其特征在于,包括: 提供待测目标,所述待测目标包括多个周期性重复设置的待测图案,所述待测图案具有预设感兴趣区域,且所述预设感兴趣区域的待测图案关于沿特定方向延伸的第一对称轴呈轴对称; 利用所述光学系统获取所述待测目标的目标图像,所述目标图像包括与多个所述待测图案分别对应的待测图像;确定每个待测图像对应的第一感兴趣区域,所述第一感兴趣区域为所述待测图案的预设感兴趣区域在所述待测图像中的区域,所述第一感兴趣区域中的待测图像作为该待测图像的感兴趣图像;沿所述特定方向延伸的第一对称轴在所述感兴趣图像中所在的轴线为第二对称轴; 针对每个所述感兴趣图像获取所述光学系统沿所述特定方向的对称性表征值,所述对称性表征值为关于所述第二对称轴对称的两个参考位置的检出值的差值,所述检出值与所述参考位置的灰度值正相关,包括:沿投影方向对所述感兴趣图像进行投影,获取在位置排布方向上多个像素点的位置与投影值之间的对应关系作为一维投影数据,所述位置排布方向垂直于所述特定方向,所述投影方向平行于所述特定方向,所述投影值为沿所述投影方向的一个或多个像素点的检出值的加权值,所述检出值与灰度值正相关;在所述一维投影数据的位置排布方向上,选取两个关于所述第二对称轴呈轴对称的参考位置,所述参考位置为沿所述位置排布方向的位置;根据所述一维投影数据,获取两个所述参考位置的投影值的差值作为对称性表征值; 利用多个所述待测图案分别对应的对称性表征值,获取所述光学系统在所述特定方向的对称性分布。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司,其通讯地址为:518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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