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龙图腾网获悉江苏路芯半导体技术有限公司申请的专利一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119056835B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411172575.1，技术领域涉及：B08B11/02；该发明授权一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置是由刘维维;尤春;张月圆;朱明伟;朱希进设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置在说明书摘要公布了：本发明涉及关于掩膜板清洗设备技术领域的一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置。包括有安装架，所述安装架的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块，所述电动滑块滑动连接有滑动架，所述滑动架的下侧固接有镜像且等距分布的固定杆，所述固定杆的下侧设置有滑动块，所述滑动块的下侧滑动连接有支撑板，镜像所述滑动块的相向侧均设置有固定壳，所述固定壳的下侧滑动连接有吸附壳，所述吸附壳的下侧设置有橡胶圈。本发明通过吸附壳对掩膜板的吸附上升，配合支撑板的支撑作用，达到对掩膜板稳定夹持的目的，避免了夹取掩膜板时夹持力控制不准确的情况，提高了掩膜板被夹持移动过程中的安全性。

本发明授权一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种掩膜板夹具，包括有安装架1，所述安装架1的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块2，所述电动滑块2滑动连接有滑动架3，所述电动滑块2固接有第一电推杆4，所述第一电推杆4的伸缩端与所述滑动架3固接，其特征在于：还包括有镜像且等距分布的固定杆5，镜像且等距分布的所述固定杆5均固接于所述滑动架3的下侧，所述固定杆5的下侧设置有滑动块6，所述滑动块6的下侧滑动连接有支撑板7，所述支撑板7与对应所述滑动块6之间固接有拉簧，镜像所述滑动块6的相向侧均设置有固定壳8，所述固定壳8的下侧滑动连接有吸附壳9，所述吸附壳9的下侧设置有橡胶圈，所述吸附壳9的上侧设置有通孔，所述固定壳8的侧壁上设置有用于控制对应所述吸附壳9进行吸附的吸附机构，所述滑动架3上设置有用于控制镜像且等距分布的所述支撑板7复位的复位机构； 所述吸附机构包括有抽气筒201，所述抽气筒201固接于对应所述固定壳8的侧壁上，所述抽气筒201与对应所述固定壳8的上部连通，所述抽气筒201内滑动连接有活塞连杆202，所述抽气筒201与对应所述活塞连杆202之间固接有拉簧，所述固定壳8内滑动连接有固定板203，所述固定板203的中部设置有通孔，所述固定板203与对应所述吸附壳9之间固接有弹簧，所述固定板203与对应所述固定壳8之间固接有弹簧，所述固定板203上设置有用于控制对应所述吸附壳9吸附移动的移动组件，所述抽气筒201上设置有用于控制对应所述支撑板7移动支撑的控制组件，所述滑动块6的下侧设置有用于控制对应所述吸附壳9挤压夹持掩膜板的夹持组件； 所述移动组件包括有滑动板301，所述滑动板301滑动连接于对应所述固定板203上，所述滑动板301上设置有与对应所述固定板203通孔连通配合的通孔，所述滑动板301与相邻所述固定板203之间固接有弹簧，所述固定壳8的上侧设置有通孔，所述固定壳8的上侧滑动连接有与其通孔封堵配合的滑动片302，所述活塞连杆202靠近相邻所述固定壳8的一侧固接有与相邻所述滑动板301挤压配合的挤压杆303，所述挤压杆303穿透相邻所述固定壳8和相邻所述抽气筒201，所述挤压杆303与相邻所述固定板203限位配合； 所述控制组件包括有第一弹性伸缩杆401，所述第一弹性伸缩杆401固接于相邻所述抽气筒201的侧壁，所述第一弹性伸缩杆401的伸缩端与相邻所述活塞连杆202挤压配合，所述第一弹性伸缩杆401连通有导液管402，所述滑动块6的下侧设置有与所述导液管402连通的空腔，所述支撑板7上设置有凹槽，所述滑动块6的空腔内滑动连接有与相邻所述支撑板7上凹槽限位配合的限位块403，所述抽气筒201远离相邻所述固定壳8的一侧限位滑动连接有限位板404，所述活塞连杆202的一侧设置有与对应所述限位板404限位配合的盲孔，所述限位板404与相邻所述吸附壳9之间固接有弹簧； 所述夹持组件包括有第二弹性伸缩杆501，所述第二弹性伸缩杆501固接于对应所述滑动块6远离对应所述固定壳8的一侧，所述第二弹性伸缩杆501的伸缩端与相邻的所述支撑板7挤压配合，所述第二弹性伸缩杆501连通有第一导流管502，所述固定壳8的上侧固接有与相邻所述第一导流管502连通的双头液压缸503，所述双头液压缸503的一侧伸缩端与相邻所述滑动片302固接，所述双头液压缸503的另一侧伸缩端固接有滑动弯杆504，所述滑动弯杆504插入相邻所述固定壳8内，所述滑动弯杆504与相邻所述滑动板301挤压配合。

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