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深圳市软艺科技有限公司欧吉林获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市软艺科技有限公司申请的专利一种用于微孔加工的晶圆夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224223013U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520900899.6,技术领域涉及:B23K26/70;该实用新型一种用于微孔加工的晶圆夹具是由欧吉林设计研发完成,并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于微孔加工的晶圆夹具在说明书摘要公布了:本实用新型属于晶圆生产技术领域,尤其为一种用于微孔加工的晶圆夹具,包括固定座,所述固定座固定于加工设备的机台上,还包括:定位台,所述定位台固定于所述固定座顶面;翻转臂,多个所述翻转臂沿圆周方向等间隔分布,并使用一号枢轴转动安装在所述定位台上;驱动机构,所述驱动机构可驱动地连接于所述翻转臂,用于驱动所述翻转臂翻转;压盘,所述压盘安装在所述翻转臂上;本实用新型中,通过驱动机构驱动翻转臂翻转,利用压盘压紧晶圆,翻转臂可在狭小空间内翻转并在不同的位置对晶圆进行压紧,稳定性能高,并且适用于空间受限的加工场景,也不会对激光微孔加工产生不必要的妨碍,保证了加工的可靠性和安全性。

本实用新型一种用于微孔加工的晶圆夹具在权利要求书中公布了:1.一种用于微孔加工的晶圆夹具,包括固定座1,所述固定座1固定于加工设备的机台上,其特征在于,还包括: 定位台4,所述定位台4固定于所述固定座1顶面; 翻转臂5,多个所述翻转臂5沿圆周方向等间隔分布,并使用一号枢轴10转动安装在所述定位台4上; 驱动机构,所述驱动机构可驱动地连接于所述翻转臂5,用于驱动所述翻转臂5翻转; 压盘6,所述压盘6安装在所述翻转臂5上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市软艺科技有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道四联社区山塘工业区5号408;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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