广州增芯科技有限公司林勇获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利研磨修整装置和化学机械抛光设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224223580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521057032.5,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型研磨修整装置和化学机械抛光设备是由林勇设计研发完成,并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨修整装置和化学机械抛光设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种研磨修整装置和化学机械抛光设备。所述研磨修整装置通过采用透明材质制成的盖板,使操作人员直接观察修整臂本体的内部状况,发现修整臂本体的内部组件如密封圈的磨损情况,从而避免因密封圈受损导致的渗液问题;而设于修整臂本体内部的漏液检测装置与控制单元连接,当修整臂本体内部出现渗液时,漏液检测装置侦测到并通过信号传输至控制单元,以触发报警机制,使操作人员在液体造成马达等核心部件损坏前采取措施,减少因部件损坏导致的设备维护需求和停机时间。
本实用新型研磨修整装置和化学机械抛光设备在权利要求书中公布了:1.一种研磨修整装置,其特征在于,包括: 基座; 修整臂本体,所述修整臂本体的一端固定设置在所述基座上方; 盖板,设置于所述修整臂本体的顶部,且与所述修整臂本体之间形成密封连接;所述盖板采用透明材质制成; 漏液检测装置,设置于所述修整臂本体内部,所述漏液检测装置与控制单元连接; 修整执行单元,设置在所述修整臂本体的另一端下方。
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