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龙图腾网获悉浙江赛瑾半导体科技有限公司申请的专利一种用于晶圆盒定位锁死的充气台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234147U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520779896.1，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种用于晶圆盒定位锁死的充气台是由宋树伟;李子萍;彭健康设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆盒定位锁死的充气台在说明书摘要公布了：一种用于晶圆盒定位锁死的充气台，包括一个用于承载设备的充气台座，一个设置在所述充气台座上且用于固定晶圆盒的充气台组件，以及多个位于所述充气台座内部用于检测气体数据的气体测量控制装置，所述充气台座外接一个用于为所述充气台座输送气体的气体输送装置，所述气体测量控制装置外接一个用于控制设备运动的控制设备。所述充气台组件包括一个用于承载晶圆盒的充气台基板，一个设置在所述充气台组件内的抓手，一组设置在所述充气台基板上的固定组件，一组设置在所述充气台基板上的定位组件，通过设置在所述充气台基板上的所述抓手对晶圆盒进行固定锁死，防止在充气时晶圆盒会随着气体的冲击而上下移动。

本实用新型一种用于晶圆盒定位锁死的充气台在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆盒定位锁死的充气台，其特征在于：用于晶圆盒定位锁死的充气台包括一个用于承载设备的充气台座，一个设置在所述充气台座上的充气台组件，多个位于所述充气台座内部用于检测气体数据的气体测量控制装置，以及一个与所述充气台组件连接的控制设备，所述用于晶圆盒定位锁死的充气台外接一个晶圆盒，所述充气台组件包括一个用于承载晶圆盒的充气台基板，一个设置在所述充气台基板上的容置通孔，一个设置在所述容置通孔内用于防止充气时晶圆盒上下移动的抓手，一个设置在所述充气台基板上且用于为晶圆盒充气的充气件，一个设置在所述充气台基板上且用于为晶圆盒排气的排气件，至少一个设置在所述充气台基板上且用于感应放置晶圆盒的感应传感器，一组设置在所述充气台基板上用于限定晶圆盒放置范围的定位挡板件，一组设置在所述充气台基板上用于防止充气时晶圆盒左右移动的定位凸起件，一个设置在所述充气台基板上的进气口，所述抓手包括一个抓手轴杆，一个设置在所述抓手轴杆远离所述充气台座一端的抓手架，所述控制设备连接有一个用于控制所述抓手轴杆运动的执行器，所述充气件包括一个缓冲件，在使用时，所述缓冲件位于所述晶圆盒与所述充气台基板之间，所述晶圆盒包括一个用于承载放置晶圆的晶圆盒本体，一个开设在所述晶圆盒本体底部用于与下述的所述抓手架配合固定所述晶圆盒的抵顶槽，以及三个开设在所述晶圆盒本体底部的定位槽，所述抵顶槽为一个设置在所述晶圆盒本体底部的凹槽，开槽方向为朝向远离所述晶圆盒本体的方向，槽身截面为一个“凸”字形状，所述抵顶槽在截面上靠近槽底处的宽度小于槽口处的宽度，并在槽口处形成有两个相对延伸的抵顶凸块，所述抓手架在宽度方向上的尺寸小于两个所述抵顶凸块的间距，所述抓手架在长度方向上的尺寸大于两个所述抵顶凸块的间距，所述抓手架在长度方向上小于所述抵顶槽内的槽壁之间的间距。

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