海创智能装备(烟台)有限公司张富文获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种晶圆升降设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234171U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521062875.4，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆升降设备是由张富文;祝晓鹏;张文庆;李超设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆升降设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种晶圆升降设备，包括薄型气缸、浮动连接件、波纹管组件、真空腔体与晶圆承载机构，所述波纹管组件包括波纹管和设于所述波纹管内的导向件，所述波纹管与晶圆承载机构位于所述真空腔体内部；所述薄型气缸、浮动连接件、导向件依次连接，所述波纹管靠近浮动连接件的一端与所述真空腔体的内壁相连，所述波纹管远离浮动连接件的一端与所述晶圆承载机构相连。采用浮动连接件与薄型气缸连接，用以缓冲抵消薄型气缸产生的侧向应力，仅保留上下的推力，从而带动波纹管组件平稳的进行升降。
本实用新型一种晶圆升降设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆升降设备，其特征在于，包括薄型气缸、浮动连接件、波纹管组件、真空腔体与晶圆承载机构，所述波纹管组件包括波纹管和设于所述波纹管内的导向件，所述波纹管与晶圆承载机构位于所述真空腔体内部；所述薄型气缸、浮动连接件、导向件依次连接，所述波纹管靠近浮动连接件的一端与所述真空腔体的内壁相连，所述波纹管远离浮动连接件的一端与所述晶圆承载机构相连。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海创智能装备(烟台)有限公司，其通讯地址为：264000 山东省烟台市中国(山东)自由贸易试验区烟台片区宁波路17号海创大厦10层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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