一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟
70
推荐指数
专利号：2021212293827等年费滞纳金
申请日：
2021-06-02
发布日期：2025-08-15
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专利摘要
本实用新型公开了一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟，包括底板和第一连接板，第一连接板，其固定于所述底板一侧外壁；第二连接板，其贴合与所述第一连接板外壁；装配槽，其开设于所述第一连接板和第二连接板外壁；第一固定螺栓，其贯穿于所述装配槽内部；连接件，其固定于所述底板另一侧外壁。该石英晶圆退火用组装式碳化硅舟，设置的底板相互间可通过第一连接板和第二连接板进行间距调节，调节完毕可通过第一固定螺栓配合连接板外壁的装配槽进行收紧固定，其间距大小可根据不同尺寸的晶圆进行相应的调整，以提高碳化硅舟的适配性，且后续可通过拆卸第一固定螺栓来对碳化硅舟部件进行收纳，组装式结构相比一体式成型成本得到有效降低。
交易流程
01
免费咨询
联系客服享一对一免费咨询服务02
需求匹配
精准匹配需求，不成功不收费03
确定购买
达成协议后按照约定支付账款04
官方备案
按协议约定办理官方备案手续05
交易完成
双方完成协议约定即交易完成
过户资料
| 主体资格 | 买家 | 卖家 | 平台提供 | 过户后您将会获得 |
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专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
| 公司 |
企业营业执照 企业组织机构代码证 |
企业营业执照 专利证书原件 |
支付方式
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账户户：1302 0119 0920 1112 865
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