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  • 本申请涉及一种双面曝光的背面对位方法,装置和曝光设备,能够实现不同规格板材的高精度双面对准,包括如下步骤:在板材A面曝光时,获取在A面上个标记点的正面实际坐标以及在B面上靶标的背面实际坐标;在A面曝光完成并翻板后;获取背面对准组件采集到的标...
  • 本公开涉及一种对准图形及其制备方法、半导体器件、存储器、电子设备,衬底,衬底上包括前层结构;第一介质层位于前层结构上,第一介质层内包括前层开口图案,前层开口图案暴露出部分前层结构;前层开口图案的至少部分图案为目标对准图案;当层介质层位于第一...
  • 本公开涉及一种套刻标记、半导体结构及套刻标记制备方法,涉及集成电路设计及制造技术领域,其中套刻标记包括:叠层结构;以及n层套刻标记图形,间隔分布于所述叠层结构上,包括位于所述叠层结构的顶面的顶层套刻标记图形,以及沿所述叠层结构的层叠方向贯穿...
  • 本发明公开了一种涂胶刀嘴的位置校准方法及装置,该方法包括:通过多个电机控制涂胶刀嘴沿垂直于气浮板的方向下降至传感器检测位置;并获取至少两个传感器与气浮板之间的采样间距;将所述多个电机解耦,并对每个电机执行PID调节控制,直至每个所述传感器的...
  • 本申请涉及半导体技术领域,提供了一种光刻图形化晶圆的TEM样品制备方法。该方法包括:在光刻图形化晶圆的待处理TEM样品的表面上制备一层氧化层,得到第一TEM样品;对第一TEM样品的表面进行液态胶灌注及室温固化处理,以在氧化层的表面上形成一层...
  • 本发明涉及一种光罩量测点位定位方法及可读存储介质,方法包括:提供辅助定位框架,其包括框架本体、设置在框架本体四角的套合标记、以及设置在框架本体上的至少一个条形部件,条形部件上设有若干特征图形;使用量测机台测量框架本体上特征图形的实际坐标,生...
  • 一种掩模基版及其制造方法、掩模板的制造方法,该掩模基版包括掩模衬底、掩模材料层、防散射层和电刻胶层,掩模材料层形成在掩模衬底表面上,防散射层形成在掩模材料层的表面,且防散射层由低原子序数元素形成,电刻胶层形成在防散射层的表面。本发明可以减少...
  • 本发明属于X射线成像领域,提供了一种基于时间展宽型分幅相机的双能点双放大倍数成像装置及方法,装置包括:针孔片和时间展宽型分幅相机;方法包括:针孔片与时间展宽型分幅相机成像、几何映射模型构建、畸变矫正函数拟合以及图像校准;本发明通过利用时间展...
  • 本发明公开了一种车载LBS投影光机及其光学耦合方法,涉及车载投影技术领域。该投影光机包括底壳、PCBA‑L、支架、外壳、基座、激光器、准直透镜组、合光棱镜组、防尘罩、PCBA‑S及MEMS扫描成像系统,其中准直透镜组采用多片式可调双胶合透镜...
  • 本申请实施例提供了一种投影光学系统以及AR光学显示设备;其中,所述光学系统沿光路依次包括显示器、棱镜、第二光学元件组、第一光学元件组以及光阑;所述显示器用于发出图像光束;所第二光学元件组包括至少三枚镜片;所述第一光学元件组包括至少一枚离轴镜...
  • 本申请提供用于深度相机的光投射器及深度相机,涉及深度测量技术领域,所述光投射器包括:用于投射第一结构光的激光器;投射镜头,用于调整第一结构光的传播光路,得到第二结构光和泛光;其中,投射镜头上设置有散射结构,散射结构是设置于投射镜头上的花纹,...
  • 本发明提出的一种具有间隙消除结构的光圈装置,包括固定座、转盘、调节叶片及间隙消除结构,所述转盘可转动的安装在所述固定座处,所述调节叶片可转动的安装在所述固定座上,以通过所述调节叶片的转动调节光圈孔径大小,在所述调节叶片上设有凸轮槽,所述转盘...
  • 本发明公开了一种用于产生可调谐黄光的柱面通光倍频器件及激光装置,属于非线性光学技术,其中,柱面通光倍频器件包括磷酸钛氧铷晶体,所述磷酸钛氧铷晶体沿Y轴方向加工成圆柱体,所述圆柱体的柱面镀有1140‑1180 nm和570 nm‑590 nm...
  • 本申请涉及一种具有阻燃功能的电致变色膜及其制备方法,该电致变色膜包括第一导电基膜、第二导电基膜及设于二者之间的电致变色光固化层,所述电致变色光固化层由75份~85份有机含磷类阻燃剂、9份~19份电致变色材料、5份~10份光固化预聚物、1份~...
  • 本申请实施例提供一种显示面板及显示装置。本发明通过在源漏电极层中添加触控金属线,并通过过孔将触控金属线与公共电极层连接,实现了在不增加掩膜版及不改变制作工艺的情况下为显示屏添加触摸功能的目的。与现有技术相比,本发明无需额外添加触摸面板,简化...
  • 本申请涉及一种量子点扩散板、背光模组及显示装置。量子点扩散板具有中间区域和环绕于中间区域的边沿区域;量子点扩散板包括:基板;量子点材料层,量子点材料层设于基板的一侧,量子点材料层包括第一子量子点材料层和第二子量子点材料层,第一子量子点材料层...
  • 本申请提供了一种显示装置。显示装置具有显示区和围绕显示区的非显示区;其中,显示装置包括显示面板和背光模组;显示面板,包括位于非显示区的框胶;背光模组,与显示面板相对设置,用于向显示面板提供白光;背光模组包括发蓝光的背光源;其中,显示面板还包...
  • 本发明公开了一种超薄模组及其应用的显示屏,包括:导光板,所述导光板两侧具有对其照亮的第一光源组件;第二光源组件,设置于所述导光板一端面,且所述第二光源组件侧壁具有导光线,所述导光板下表面向下突出以形成有与导光线配合的凸块,以对导光板中部进行...
  • 本发明公开了一种大调制深度和超宽带的太赫兹液晶空间光调制器,属于新型人工电磁材料和太赫兹科学领域,包括:依次层叠排列的上层石英基板、上层金属光栅、上层预取向薄膜、液晶层、下层预取向薄膜、下层金属光栅和下层石英基板;上层金属光栅与下层金属光栅...
  • 一种用于面内各向同性液晶的增程反射移相器及其制备方法,属于太赫兹调制器件技术领域。为解决扩大反射移相器件液晶的适用范围的问题。本发明一号石英基底、线栅层、一号聚酰亚胺取向层、液晶层、二号聚酰亚胺取向层、棒状超表面层、聚酰亚胺层、反射层、二号...
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