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  • 本发明公开了一种磁导率宽频可调薄膜,它包含若干个磁控溅射交替沉积的FeCo磁性层‑镍磁性层‑介质层耦合层,所述耦合层中,各功能层的单层厚度为100 nm以下;FeCo的化学计量式为FexCo100‑x;FeCo磁性层和镍磁性层中,晶粒尺寸小...
  • 本发明公开了一种适用于细长管材内壁溅射镀膜的分段式丝状靶材,其包括导电丝及多个套设在导电丝上的中间带通孔的圆柱状靶材单元。本发明提供的分段式丝状靶材的细长结构使其能够更好地适应小口径管件的内部空间,尤其适用于小口径及大长径比管件的内壁镀膜,...
  • 本申请提供一种用于磁控溅射的多自由度平台,涉及磁控溅射设备领域,其包括平台本体,平台本体包括底座、支撑板、载物盘和多个样品台,支撑板倾角可调地架设在底座上,载物盘转动罩设在支撑板上,多个样品台沿载物盘的周向均匀分布于载物盘上,样品台底部设置...
  • 本发明提供了一种科琴黑负载高熵合金防腐涂层及其制备方法与应用,涉及表面改性涂层技术领域。所述科琴黑负载高熵合金防腐涂层的制备方法包括以下步骤:对基体材料表面进行预处理后涂覆一层碳胶得到碳胶过渡层;将科琴黑粉末与甲醇混合后涂覆在碳胶过渡层表面...
  • 一种中红外透明兼容电磁屏蔽薄膜的制备方法,本发明的目的是要解决常规的透明导电氧化物在可见光波段具有良好的透过率,但在中红外的透过率较差的问题。制备方法:一、使用氧化铟靶材和铈掺杂氧化铟靶材;二、加热蓝宝石衬底,控制氧化铟靶材的射频电源功率为...
  • 本发明属于半导体工艺技术领域,涉及超高精度磁控溅射角度控制的方法与系统。该方法包括:设置一个激光反射金属球;激光测量装置通过激光接收器检测激光反射光;激光测量装置确定与磁控溅射靶材垂直的实体旋转轴和竖直方向的虚拟旋转轴轴线之间的位置偏差;磁...
  • 本申请涉及一种磁控溅射装置及其溅射阴极,该溅射阴极包括靶材、第一磁场发生装置和第二磁场发生装置,靶材具有靶材表面;第一磁场发生装置用于在靶材表面形成平行于靶材表面的第一磁场;第二磁场发生装置用于在靶材表面形成垂直于靶材表面的第二磁场;其中,...
  • 本发明属于半导体技术领域,具体的说是一种半导体芯片镀膜装置及镀膜方法,包括工作台,所述工作台的上端面转动设置有镀膜盘,所述镀膜盘的上端面固定安装有多个呈圆周阵列设计的支撑架,每个所述支撑架的内侧均设置有吸附管,每个所述支撑架的上方均设置有芯...
  • 本发明公开了一种具有可调角度样品架的镀膜设备,包括:主舱体、真空泵组件、浮动座、法兰座、伞型样品架、传动杆和第一驱动器,主舱体内设有真空腔,真空泵组件与真空腔连通;浮动座可升降设于主舱体的安装孔的上部,浮动座与安装孔之间连接有弹性密封套,法...
  • 本申请涉及数据处理技术领域,尤其涉及一种用于镀膜机的运行状态监测方法,方法包括:获取镀膜过程的传感器时序数据,并结合成品质量数据和工件几何模型识别出关键几何区域;构建评估多参数协同状态的工艺轨迹健康指标,并构建融合了关键几何区域温度与工艺健...
  • 本发明涉及真空镀膜技术领域,且公开了一种带加热装置的连续真空镀膜设备,包括操作平台,所述操作平台的上端设置有输送组件,且输送组件的下端安装有翻转组件,所述翻转组件的一侧安装有取放组件,且取放组件的一侧设置有升降组件和转向切换组件,所述升降组...
  • 本发明公开了一种真空镀膜设备,包括进料腔室和工艺腔室,所述进料腔室与所述工艺腔室之间设置有供载盘通过的狭缝通道,所述狭缝通道的侧壁设置有防着板,所述防着板用于吸附灰尘。本发明在进料腔室与工艺腔室之间设置狭缝通道,并在狭缝通道的侧壁上布置防着...
  • 本发明提供了一种CVD SiC涂层石墨产品,包括石墨基体和依次附着于所述石墨基体表面的SiC过渡层和SiC主涂层。所述的SiC过渡层表面有大量的亚微米孔洞,厚度为10‑30μm;所述的SiC主涂层为结构致密的β‑SiC,厚度为30‑100μ...
  • 本发明公开了一种集流体材料制备方法,包括如下步骤:将多孔镍放置于流化床中,在氩气环境下通入硅烷气体进行硅沉积,沉积后降至室温得到硅/多孔镍材料;再以金属镍作为靶材,对得到的硅/多孔镍材料进行PVD沉积,得到镍包覆硅材料;最后将镍包覆硅材料涂...
  • 本发明提出了一种大面积二硫化钼薄膜及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:将NaCl添加到氨水溶液中,超声混匀,得到混合溶液1;将MoO3添加到混合溶液1中,超声混匀,得到混合溶液2;将混合溶液2干燥,得到改性钼源涂层;将衬底面朝改性钼源涂...
  • 本发明属于导电浆料领域,尤其涉及一种导电浆料用炭黑复合材料的制备方法,包括以下步骤:采用气相沉积的方式在待包覆炭黑的表面沉积金属,得到具有金属包覆层的炭黑复合材料。采用本发明方法制备的炭黑复合材料具有良好的导电性和稳定性,由该炭黑复合材料制...
  • 本发明公开了一种刹车盘用板材坯料的制备方法,涉及飞机刹车盘制造技术领域,在气相沉积炉内热场件与盘状工装组合形成腔体,盘状工装作为腔体的底部,盘状工装具有开孔,腔体内具有沿垂直方向延伸的支撑柱工装;板材预制体环绕支撑柱工装竖直放置于腔体内,板...
  • 本发明涉及表面涂层制备技术领域,公开了一种基于织构的复合涂层及其制备方法,其方法包括以下步骤:采用热壁式化学气相沉积工艺,在基体表面依次沉积TiN层、MT‑TiCN层、结合层、改性层、层和最外层TiN,其中:层由三层子层组成,其沉积过程满足...
  • 本发明涉及复合涂层制备技术领域,公开了一种基于中温的复合涂层及其制备方法,其方法包括以下步骤:采用热壁式化学气相沉积方法,在700–900℃的温度下,依次在基体表面沉积TiN层、TiCN层、结合层和层;所述结合层包括依次形成的TiCNO层、...
  • 本发明公开一种LiF‑CFx薄膜的制备方法以及LiF‑CFx薄膜,涉及半导体材料生长技术领域,包括:将锂离子电池正极材料放置于满足预设条件的ALD设备的反应腔中;以脉冲的形式依次向放置有锂离子电池正极材料的反应腔中通入第一前驱体以及第二前驱...
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