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最新专利技术
  • 一种基于干法刻蚀改善金属刻蚀残留的方法
    一种基于干法刻蚀改善金属刻蚀残留的方法_深圳基本半导体股份有限公司_202510695527.9
    本发明涉及半导体功率器件制造技术领域， 公开了一种基于干法刻蚀改善金属刻蚀残留的方法。该方法包括：步骤S1：提供衬底层；步骤S2：在衬底层上沉积一层停止层， 并通过光刻工艺在停止层上形成衬底层上的图形， 作为第一图形；步骤S3：第一图形经过...
    2025-11-27
  • 外延生长方法及外延结构
    外延生长方法及外延结构_重庆奕能科技有限公司_202510689856.2
    本申请公开了一种外延生长方法及外延结构。该外延生长方法包括：提供衬底；生长具有第一碳硅比的第一缓冲层；生长第二缓冲层；生长具有第二碳硅比的第三缓冲层；以及生长外延层， 其中， 第二缓冲层具有接触第一缓冲层的第一表面和接触第三缓冲层的第二表面...
    2025-11-27
  • 一种离子源装置
    一种离子源装置_杭州海康威视元物智科技有限公司_202511149088.8
    本申请公开了一种离子源装置， 属于质谱分析技术领域， 用以提高高浓度离子的传输效率。所述离子源装置包括：离子化室， 所述离子化室是将输入的分子转化为离子的场所；推斥极， 所述推斥极位于所述离子化室内且正对所述离子化室的离子出口， 所述推斥极...
    2025-11-27
  • 一种集成丝状离子导向器的光电离源
    一种集成丝状离子导向器的光电离源_中国科学院大连化学物理研究所_202510849255.3
    本发明涉及质谱分析仪器技术领域， 特别涉及一种集成丝状离子导向器的光电离源。包括电离源腔体及由上至下设置于电离源腔体内的真空紫外灯、推斥电极和丝状离子导向器， 电离源腔体的底部设有离子输出口；由真空紫外灯出射的光子依次经过推斥电极和丝状离子...
    2025-11-27
  • 具有边缘扩展型的内衬底的打拿极及包含其的电子倍增器
    具有边缘扩展型的内衬底的打拿极及包含其的电子倍增器_西安交通大学_202511068879.8
    本发明属于真空电子器件技术领域， 具体涉及一种具有边缘扩展型的内衬底的打拿极及包含其的电子倍增器。打拿极包括栅网组件、基架盒和边缘扩展型的内衬底， 内衬底位于基架盒内部；内衬底包括弧形侧壁部分、上壁、下壁和折弯部分；折弯部分设置在弧形侧壁部...
    2025-11-27
  • 小光晕真空光电装置及其应用
    小光晕真空光电装置及其应用_北方夜视技术股份有限公司_202510932096.3
    本申请公开了一种小光晕真空光电装置及其应用， 包括：第一陶瓷环、第二陶瓷环、第一金属环、第二金属环、弹力压环、具有导电输入面和导电输出面的电子倍增板；第一金属环底面上设置第一陶瓷环；第一陶瓷环底面上设置第二金属环；第二金属环设置于第二陶瓷环...
    2025-11-27
  • 混合等离子体源阵列
    混合等离子体源阵列_北京屹唐半导体科技股份有限公司_202511191161.8
    提供了一种等离子体源阵列。等离子体源阵列包括多个混合等离子体子源， 多个混合等离子体子源被设置在基板上， 每个混合子源包括：介电管， 具有内部区域和外部表面；感应耦合等离子体源， 用于产生感应耦合等离子体， 感应耦合等离子体源靠近介电管的外...
    2025-11-27
  • 进气装置、工艺腔室及半导体工艺设备
    进气装置、工艺腔室及半导体工艺设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202510944997.4
    本申请公开一种进气装置、工艺腔室及半导体工艺设备， 所公开的进气装置包括配气腔室和匀流件；配气腔室具有第一内腔、第一流入孔和多个第一匀流孔， 第一流入孔和多个第一匀流孔均与第一内腔连通， 多个第一匀流孔均设于配气腔室的底壁；匀流件设于第一内...
    2025-11-27
  • 一种双物镜结构、电子显微镜以及其使用方法
    一种双物镜结构、电子显微镜以及其使用方法_屹东光学技术(苏州)有限公司_202510930385.X
    本发明公开了一种双物镜结构、电子显微镜以及使用方法， 属于电子显微镜领域， 第一、第二以及第三延伸部均呈锥形， 第一延伸部末端与第三延伸部末端形成开口， 第二延伸部末端伸入开口， 浸没模式时， 第二线圈、第二以及第三极靴工作， 磁场从第二间...
    2025-11-27
  • 一种多模式切换物镜以及其使用方法
    一种多模式切换物镜以及其使用方法_屹东光学技术(苏州)有限公司_202510930378.X
    本发明公开了一种多模式切换物镜以及其使用方法， 属于电子显微镜领域， 线圈形成聚焦电子束所需要的磁场， 内极靴底部与外极靴底部之间形成径向开口， 径向开口朝下并且环绕电子通道， 下极靴可拆卸地安装于内极靴和/或外极靴， 下极靴未安装时， 磁...
    2025-11-27
  • 一种电子束阻断与聚焦的控制方法
    一种电子束阻断与聚焦的控制方法_深圳中科飞测科技股份有限公司_202510896922.3
    本发明涉及一种电子束阻断与聚焦的控制方法， 包含静电透镜， 静电透镜包括沿电子束路径依次设置的上极片、电子束阻断器和下极片， 所述电子束阻断器被配置为静电透镜的中间极片， 所述电子束阻断器包括左瓣电极和右瓣电极， 包括以下操作模式：阻断模式...
    2025-11-27
  • 阵列式摆动阳极及分布式X射线源
    阵列式摆动阳极及分布式X射线源_清华大学_202510755392.0
    本发明涉及X射线技术领域， 提供一种阵列式摆动阳极及分布式X射线源， 阵列式摆动阳极包括冷却部件、阳极靶片和驱动部件。冷却部件包括冷却体、导向组件和安装组件， 冷却体的内部构造有冷却通道， 冷却体的两端均设有导向部；导向组件与相应的导向部活...
    2025-11-27
  • 阵列式旋转阳极及分布式X射线源
    阵列式旋转阳极及分布式X射线源_清华大学_202510755391.6
    本发明涉及X射线技术领域， 提供一种阵列式旋转阳极及分布式X射线源， 阵列式旋转阳极包括冷却部件、环形的阳极靶片和驱动部件。冷却部件包括冷却体和安装组件， 冷却体的内部构造有冷却通道， 冷却体的两端均设有安装部；安装组件位于冷却体的两端， ...
    2025-11-27
  • 一种产气灭弧材料及其制备方法和应用
    一种产气灭弧材料及其制备方法和应用_东莞市竞沃电子科技有限公司_202510907636.2
    本发明公开了一种产气灭弧材料及其制备方法和应用， 包括H2产气材料和N2产气材料， H2产气材料包括储氢材料和包覆于储氢材料表面的第一高分子膜， N2产气材料包括吸附有N2的分子筛活化粉和包覆于吸附有N2的分子筛活化粉表面的第二高分子膜， ...
    2025-11-27
  • 一种结构紧凑的小型断路器
    一种结构紧凑的小型断路器_张进_202511026856.0
    本申请涉及电力保护设备领域， 公开了一种结构紧凑的小型断路器， 包括绝缘外壳， 所述绝缘外壳两端均设置有接线端子， 所述绝缘外壳内部中心固定连接有旋转主轴， 所述旋转主轴外部套设并转动连接有动触头部件， 且两者之间通过储能扭簧相连接， 其中...
    2025-11-27
  • 一种梯度开缝抑制弹跳的断路器弧触头结构及其设计方法
    一种梯度开缝抑制弹跳的断路器弧触头结构及其设计方法_上海西电高压开关有限公司_202511122386.8
    本发明涉及断路器技术领域， 具体的说是一种梯度开缝抑制弹跳的断路器弧触头结构及其设计方法。一种梯度开缝抑制弹跳的断路器弧触头结构， 包括断路器弧触头， 其特征在于：在断路器弧触头上纵向设有若干条开缝， 若干条开缝包括短缝、中缝、长缝， 所述...
    2025-11-27
  • 一种融合开关
    一种融合开关_上海良信电器股份有限公司_202511271555.4
    本发明提供了一种融合开关， 涉及电气设备技术领域。融合开关包括壳体以及设置于壳体的第一手柄、第二手柄、第一限位件和第二限位件。第一手柄具有合闸状态和分闸状态， 以控制主回路导通或分断；第二手柄具有合闸和分闸状态， 以控制次回路导通或分断；第...
    2025-11-27
  • 一种塑壳断路器
    一种塑壳断路器_浙江德菱科技股份有限公司_202511261564.5
    本发明公开了一种塑壳断路器， 包括壳体， 壳体内设置有电动操作机构， 电动操作机构包括具有转块和拨杆的动触头动作组件、滑动设于壳体上并可带动拨杆拨动的滑动块、可带动滑动块滑动并具有操作孔位的操作轴以及可驱动操作轴转动的电机减速组件， 操作轴...
    2025-11-27
  • 一种快速闭合机构及断路器
    一种快速闭合机构及断路器_北京北元电器有限公司_202511054239.1
    本发明公开了一种快速闭合机构及断路器， 包括手柄、手轮、触头支持、锁扣、跳扣、和动触头， 所述手柄安装在所述手轮上， 所述手柄与所述手柄同轴转动， 所述锁扣和跳扣均安装在所述触头支持上， 所述跳扣与所述手轮通过连杆连接， 所述动触头通过第一...
    2025-11-27
  • 可热插拔连接装置以及包括其的断路器
    可热插拔连接装置以及包括其的断路器_库柏(宁波)电气有限公司_202511224395.8
    提供一种可热插拔连接装置以及包括其的断路器。可热插拔连接装置包括：包括第一安装侧以及第二安装侧的绝缘外壳， 其中第二安装侧包括至少一个容纳部， 容纳部具有在第二安装侧的第一开口以及与第一开口相对的第二开口；设置在所述外壳内的至少一个连接组件...
    2025-11-27
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