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  • 本发明涉及光波导技术领域,具体公开了光波导端面耦合器的制造方法及光波导端面耦合器,在制造光波导端面耦合器的过程中,在硅质的衬底晶圆上通过CMOS工艺中的CVD法沉积介质材料:氮氧化硅或碳氧化硅,在制造过程中可与电子器件的制造流程衔接,最终制...
  • 本公开提供了性能提升的半导体装置及其制造方法、光子集成电路芯片和光子计算设备。所述方法包括以下步骤:提供一具有硅层的衬底;对所述硅层进行图形化以形成硅波导,并在所述硅波导的顶部保留研磨停止层;形成第一氧化硅层以包覆所述硅波导及所述研磨停止层...
  • 本申请涉及光子集成芯片技术领域,涉及一种基于晶圆键合的大厚度氮化硅波导制备方法,包括:S1.选取至少两片所需尺寸的氮化硅晶圆;S2.对氮化硅晶圆进行清洗;S3.对氮化硅晶圆进行等离子活化处理;S4.对活化处理后的氮化硅晶圆进行键合;S5.去...
  • 本申请公开了飞秒激光直写光波导的方法、光波导和集成光子器件。一种飞秒激光直写光波导的方法,包括:在对接耦合的光学器件之间的互联区域填充溶胶,所述溶胶包括硅氧化物;识别对接耦合的所述光学器件的端面波导位置的坐标;根据所述坐标,计算得到光波导的...
  • 本发明属于集成光学技术领域,其公开了一种基于硅波导的偏振不敏感端面耦合器件、制备方法,包括了沿第三方向有衬底层、下包层、硅波导层、上包层;其中硅波导层沿第一方向依次包括模场绝热演化段、第一模式转换段、第二绝热演化段、第三绝热演化段、第四模式...
  • 本申请公开了一种中介层、光电共封装结构及其制备方法,中介层包括:基底,所述基底包括玻璃基底或石英基底;第一波导层,所述第一波导层设置在基底上,且第一波导层中设置至少一个第一波导结构;第一波导结构包括第一光波导;第二波导层,第二波导层设置在第...
  • 本发明涉及半导体技术领域,公开了一种偏振无关且绝热的光功率分配器及其设计方法,包括:衬底层和波导芯层;波导芯层包括:输入直波导及其一端连接的输入锥形波导;第一输出锥形波导和第二输出锥形波导,分别位于输入锥形波导在长度方向的两侧,并与输入锥形...
  • 本发明公开了一种片上调制器与二硒化钯光电探测器集成芯片制备方法,其特点是采用MZ干涉仪构型的铌酸锂强度电光调制器与基于二硒化钯材料的片上光电探测器,通过铌酸锂波导连接,将高性能电光调制器与高灵敏度PdSe2探测器单片集成,在片上实现电信号转...
  • 本发明公开了一种光漂白的全聚合物光波导光栅传感器及其制备方法,属于聚合物光波导光栅传感器技术领域。该制备方法如下:将基底薄片通过热压印得到带有凹槽的基底薄片;在基底薄片上旋涂光刻胶,形成光刻胶芯层;对光刻胶芯层通过双光束干涉进行光刻,得到带...
  • 本发明公开了一种台阶结构掺稀土光纤、光纤制备方法及测试用激光器,属于光纤激光器领域,包括由内至外依次设置的稀土掺杂纤芯、台阶层和包层;台阶层具有非圆形的横截面外轮廓,其折射率介于稀土掺杂纤芯与包层的折射率之间并小于稀土掺杂纤芯的折射率;台阶...
  • 本发明涉及一种适于车载光通信系统的多模光纤,包括有芯层和包层,所述的芯层包括有主芯层和包覆其外的辅助芯层,主芯层半径为21.0~26.0μm,主芯层折射率剖面呈渐变型折射率分布,α为1.80~2.20,主芯层最大相对折射率差值△n1为0.5...
  • 本发明公开了一种保偏空芯光纤,包括空芯区域(101)、外包层(301)、多个包层管(201)、单元壁(601)和单元空间(701)。所述多个包层管(201)包括第一类包层管和第二类包层管,第一类包层管的单元空间(701)内设置有至少一层嵌套...
  • 本发明公开了一种弦接式空芯光纤及光传输系统,属于光纤技术领域。该光纤包括:空芯区域(101);外包层(301);多个负曲率介质单元(201),围绕空芯区域分布,位于外包层内侧;单元壁(601);单元空间(701),由负曲率介质单元与单元壁共...
  • 本发明提供一种多高阶模式耦合基模的横向级联光纤光栅及其制作方法,在光纤横向不同方位角的位置为起点,沿光纤轴向逐线刻写不同长周期光纤光栅,不同高阶模式的模场直径不同,有效折射率也不同,对应于不同的径向位置以及轴向光栅周期,构成横向级联长周期光...
  • 本发明涉及抗辐照光纤技术领域,提供一种光纤掺氘协同光漂白的抗辐照增强方法及抗辐照光纤,包括:获取掺氘光纤,所述掺氘光纤的纤芯中含有OD基团且含量不低于30ppm;基于掺氘光纤搭建全光纤激光振荡器并将其置于电离辐射环境中;对电离辐射期间或电离...
  • 本发明提供一种错环包层空芯反谐振光纤及其制造方法,属于光纤技术领域。所述光纤包括由空气构成的纤芯区域、环绕纤芯区域周期性排列的多个反谐振管单元、以及覆盖于外部的保护外包层。每个反谐振管单元包括外包层管、设置于该外包层管内部的多角星形内支撑结...
  • 本公开提供了一种全彩光波导显示结构及其制备方法、增强现实显示设备,该结构包括:光波导本体以及设置在光波导本体表面的耦入区、扩瞳区和耦出区;本公开基于高折射率材料制备的光波导本体配合具有不同占空比的非对称光栅齿的耦入光栅,实现信息光中不同颜色...
  • 本申请实施例提供了一种用于衍射波导的输入耦合器、衍射波导及近眼显示设备;其中,所述输入耦合器设置于波导基底的表面,所述输入耦合器包括:耦入光栅、金属膜层以及第一介质膜层;所述金属膜层覆盖于所述耦入光栅远离所述波导基底的一侧;所述第一介质膜层...
  • 本申请涉及一种面光源系统及显示器。面光源系统包括激光发射器、耦合器和至少两个光纤束;激光发射器包括至少两个激光模组,每一激光模组发射的第一光束的颜色不同;耦合器设置于至少两个激光模组的出光侧,耦合器用于将不同颜色的第一光束合束为第二光束,以...
  • 本发明提供了一种太赫兹电介质光栅偏振器及其设计方法,包括二氧化硅掩埋层、锗光栅层、锗衬底,所述锗光栅层与锗衬底位于二氧化硅掩埋层两侧,所述锗光栅层包括多个平行等距间隔设置的栅条,所述锗光栅层为亚波长光栅,所述锗光栅层的光栅周期为50μm,所...
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