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最新专利技术
  • 一种三轴珩磨加工机床及其使用方法
    一种三轴珩磨加工机床及其使用方法_西安沅泓机床科技有限公司_202511122481.8
    本发明公开了一种三轴珩磨加工机床及其使用方法， 涉及加工机床领域， 包括底座， 立柱固定连接于底座的顶部， 立柱的正面设置有安装板， 珩磨机构设置于安装板的正面， Z轴驱动机构安装于珩磨机构和安装板之间， X轴驱动机构安装于安装板和立柱之间...
    2025-11-29
  • 探针用磨针治具及其研磨装置
    探针用磨针治具及其研磨装置_美博科技(苏州)有限公司_202510967371.5
    本申请实施例公开了一种探针用磨针治具及其研磨装置。其中， 治具包括安装头、安装台和连接台。通过本申请实施例， 在研磨新探针时， 可以通过安装头的设计能够实现同时研磨单根或多根新探针， 从而提高研磨效率， 同时避免整卡更换， 大幅降低了更换成...
    2025-11-29
  • 一种一体成型电感的电极研磨装置及研磨方法
    一种一体成型电感的电极研磨装置及研磨方法_江西大有科技有限公司_202510998236.7
    本发明公开了一种一体成型电感的电极研磨装置及研磨方法， 涉及半导体制造技术领域， 所述装置包括：导引机构、压制机构、研磨机构以及薄胶板；导引机构包括导引盘以及摇料组件， 导引盘用于承载待研磨的一体成型电感， 通过将导引盘置于薄胶板上， 再通...
    2025-11-29
  • 一种阀芯阀座研磨机构及研磨工艺
    一种阀芯阀座研磨机构及研磨工艺_浙江东信机械有限公司_202511113526.5
    本发明涉及研磨设备技术领域， 公开了一种阀芯阀座研磨机构及研磨工艺， 所述机构包括：机体；研磨膏涂抹组件， 其滑动安装于顶壳体上；精研膏涂抹组件， 其滑动安装于底壳体上；推出组件；以及收回组件；通过两次不同高度的上升过程， 分别带动研磨膏涂...
    2025-11-29
  • 半导体芯片小角度高精度研磨结深装置
    半导体芯片小角度高精度研磨结深装置_西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司_202511143513.2
    本发明公开了一种半导体芯片小角度高精度研磨结深装置， 包括磨角头及其附属件和研磨盘装置。其中磨角头及其附属件包括：磨角头；压力块；水平器；提手；研磨盘装置包括：研磨盘；围档；复位皮筋；固定弹簧；最下端是使研磨盘装置产生水平振荡的圆周运动装置...
    2025-11-29
  • 一种用于箱包壳体的加工工装
    一种用于箱包壳体的加工工装_上海润米科技有限公司_202511286796.6
    本发明属于箱包生产制造技术领域， 具体涉及一种用于箱包壳体的加工工装， 包括：机架；活动平台， 沿第一方向与机架活动连接；定位模具， 安装于活动平台， 定位模具用于固定注塑箱包壳体， 所述定位模具包括用于与所述圆角部的内壁贴合的角块， 所述...
    2025-11-29
  • 杠杆式连续加压研磨抛光设备及方法
    杠杆式连续加压研磨抛光设备及方法_浙江工业大学_202511287917.9
    本申请提供了一种杠杆式连续加压研磨抛光设备， 包括工作台和控制柜；工作台上设有上研磨装置、下研磨装置以及无极加压装置；上研磨装置包括A驱动装置和上研磨盘；下研磨装置包括下研磨盘和B驱动装置；无极加压装置包括基座和杠杆组件；杠杆组件包括安装架...
    2025-11-29
  • 晶圆加工方法及装置
    晶圆加工方法及装置_北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司_202410413107.2
    本申请提供一种晶圆加工方法及装置， 包括：预约加工产品晶圆；生成产品晶圆对应的晶圆组信息；根据晶圆组信息， 生成预约搬送指令；在接收到待加工晶圆的晶圆送达信号时， 获取待加工晶圆所属的晶圆组信息；如果待加工组序列值为预置序列标识， 待加工组...
    2025-11-29
  • 主轴姿态调控方法、系统及减薄机
    主轴姿态调控方法、系统及减薄机_江苏京创先进电子科技有限公司_202410415340.4
    本发明揭示了主轴姿态调控方法、系统及减薄机。主轴姿态调控方法， 包括如下步骤：获取晶圆要达到的饱满度和凹凸度；根据凹凸度确定连接在主轴的支撑盘的第一位置的姿态调整机构的第一调整参数；根据第一调整参数调整连接在第一位置的姿态调整机构；根据饱满...
    2025-11-29
  • 基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法
    基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法_青岛嘉星晶电科技产业园有限公司_202511001276.6
    本发明涉及研磨设备故障检测技术领域， 尤其涉及基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法， 包括：基于晶圆研磨前后的设备研磨垫与晶圆的接触图像信息以及设备吸盘与晶圆的接触图像信息， 对研磨设备与晶圆的接触协调性进行预测；基于设备研磨垫与晶...
    2025-11-29
  • 一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法
    一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法_亿威盛半导体科技(上海)有限公司_202511046812.4
    本发明提供了一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法， 属于深度学习的半导体加工监测技术领域；首先， 采集碳化硅研磨过程中的工件接触面应力数据、研磨区域温度数据、研磨液电导率数据和研磨电机振动信号数据；然后， 构建研磨装置状态特...
    2025-11-29
  • 一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法
    一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法_安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司_202511174283.6
    本发明涉及半导体技术领域， 具体而言， 涉及一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法， 公开了一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法， 旨在解决现有技术中因待加工晶圆初始厚度波动， 导致抛光工艺适应性差、生产效率低下及...
    2025-11-29
  • 一种超精密蓝宝石晶体光学基板的加工方法
    一种超精密蓝宝石晶体光学基板的加工方法_苏州徕因光学科技有限公司_202511221070.4
    本发明属于精密光学器件加工技术领域， 具体涉及一种超精密蓝宝石晶体光学基板的加工方法。针对现有技术不足及蓝宝石晶体加工难点， 提出优化方案：以快速研磨抛光提升效率；通过高温精密退火与酸蚀， 消除快速加工产生的机械应力、材料结构应力及亚表面损...
    2025-11-29
  • 一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法
    一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法_杭州中欣晶圆半导体股份有限公司_202510961110.2
    本发明涉及半导体材料加工技术领域， 具体涉及一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法， 包括：S1、在抛光后对pad表面进行刷洗， 然后用高压水枪进行分区域冲洗， 去除抛光残留物；S2、使用修整轮每隔一定时间对pad表面进行修整， 去除结晶化合...
    2025-11-29
  • 一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备
    一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备_华海清科股份有限公司_202510947184.0
    本发明公开了一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备， 所述吸盘工作台的制造方法包括：将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转；将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置， 以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序；根据螺栓安装顺序...
    2025-11-29
  • 一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备
    一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备_华海清科股份有限公司_202510947185.5
    本发明公开了一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备， 所述吸盘工作台的制造方法包括：将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转；将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置， 以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序；根据螺栓安装顺序...
    2025-11-29
  • 一种鼓刹工件单侧研磨装置
    一种鼓刹工件单侧研磨装置_常州左达自动化设备有限公司_202511289182.3
    本发明公开了一种鼓刹工件单侧研磨装置， 包括研磨盘、环形分布的工装座、压盘、横向伺服直线移动模组和纵向伺服直线移动模组。本发明中， 通过第一气缸及其连接的压盘以微伸缩量以及套装有弹簧的导杆在位于孔盘上的孔结构内上下移动， 使得位于工装座上的...
    2025-11-29
  • 研磨方法及研磨装置
    研磨方法及研磨装置_株式会社荏原制作所_202510394527.5
    本发明提供研磨方法及研磨装置。在该研磨方法中， 能够使由闪光光源发出的光的强度稳定， 并且能够一边在更多的测定点处测定膜厚一边研磨基板。在研磨方法中， 在光学传感器头(7)横穿基板(W)而移动的期间， 使第一闪光光源(44A)以及第二闪光光...
    2025-11-29
  • 一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备
    一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备_上海追知工程科技有限公司_202510975249.2
    本申请涉及一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备， 涉及打磨工具技术领域。该刀头结构包括耗材固定模组和夹持模组。耗材固定模组包括耗材和锁紧刀柄， 耗材固定于锁紧刀柄上。夹持模组包括夹持轴、锁紧套、限位珠和弹性固定件， 夹持轴朝向锁紧刀柄的...
    2025-11-29
  • 一种磨床内部用调节立柱
    一种磨床内部用调节立柱_南通迅通金属制品有限公司_202511091409.3
    本发明公开了一种磨床内部用调节立柱， 属于磨床技术领域， 包括立柱主体和传动齿轮， 所述立柱主体内开设有两个安装腔， 驱动组件， 设置于立柱主体内， 所述驱动组件包括活动卡接于立柱主体内的传动齿轮；本发明中在安装腔内均设置可上下滑动的齿板，...
    2025-11-29
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