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最新专利技术
  • 一种匀胶显影机台及匀胶显影方法
    一种匀胶显影机台及匀胶显影方法_物元半导体技术(青岛)有限公司_202511605680.4
    本申请提供了一种匀胶显影机台及匀胶显影方法，所述机台至少包括涂布装置和显影装置，该显影装置配置超声单元，以在显影阶段向晶圆施加频率可调的超声波；其中涂布装置和显影装置均具有喷嘴，喷嘴自其中心点沿侧壁呈环形阵列划分为若干个分区，每个分区均配置...
    2025-12-30
  • 光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法
    光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法_长电集成电路(绍兴)有限公司_202511302465.7
    本公开涉及一种光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法。该光刻胶涂布设备包括：多光谱目标监测装置、控制装置和分区滴胶装置。多光谱目标监测装置配置为实时监测光刻胶涂布层，获取光刻胶涂布层的多维度数据。控制装置与多光谱目标监测装置连接，配置为：基于所述多...
    2025-12-30
  • 基片处理方法和基片处理装置
    基片处理方法和基片处理装置_东京毅力科创株式会社_202510744300.9
    本发明的技术问题在于改善金属氧化物抗蚀剂图案的表面粗糙度。其解决方案在于一种基片处理方法，其包括：工序(A)，准备基片；工序(B)，将金属氧化物抗蚀剂材料和包含金属的抑制剂供给至上述基片，其中，上述金属氧化物抗蚀剂材料包含三维地结合有金属的...
    2025-12-30
  • 一种彩色液晶显示用蓝色光刻胶组合物
    一种彩色液晶显示用蓝色光刻胶组合物_阜阳欣奕华新材料科技股份有限公司_202511618647.5
    本申请提供一种彩色液晶显示用蓝色光刻胶组合物，涉及光刻胶领域。彩色液晶显示用蓝色光刻胶组合物包括23‑26重量份的蓝色颜料液、8‑13重量份的碱溶性树脂、4‑6重量份的不饱和单体、0.3‑0.40重量份的添加剂、0.5‑0.7重量份的光敏剂...
    2025-12-30
  • 感光树脂组合物、固化膜和彩色遮光层
    感光树脂组合物、固化膜和彩色遮光层_武汉柔显科技股份有限公司_202511340603.0
    本发明公开了一种感光树脂组合物，所述感光树脂组合物包括热敏化合物(b)、着色剂(d)和热交联剂(e)。其中，热敏化合物(b)包括至少含有两个酚羟基的化合物，着色剂(d)在490nm～800nm处任一范围具有最大吸收波长，所述最大吸收波长下的...
    2025-12-30
  • 一种高附着性感光性树脂组合物
    一种高附着性感光性树脂组合物_浙江铭天电子新材料有限公司_202511298118.1
    本发明提供一种高附着性感光性树脂组合物及其制备方法和应用，所述高附着性感光性树脂组合物包含有(1)碱可溶性丙烯酸树脂；(2)光固化单体，所述光固化单体包括有通式(I)含氮杂环的丙烯酸单体：(3)光引发剂及助剂；(4)额外加入的溶剂；其中，R...
    2025-12-30
  • 化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的复合基板的制造方法及电镀成形体的制造方法
    化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的复合基板的制造方法及电镀成形体的制造方法_奇美实业股份有限公司_202510698133.9
    本发明涉及化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的复合基板的制造方法及电镀成形体的制造方法。化学增幅型正型感光性树脂组成物，包含酸解离性树脂(A)、碱可溶性树脂(B)、光酸产生剂(C)及溶剂(D)。溶剂(D)包括沸点为150℃至190℃的...
    2025-12-30
  • 光掩模白边宽度的测量方法
    光掩模白边宽度的测量方法_合光光掩模科技(安徽)有限公司_202511726354.9
    本发明提供了一种光掩模白边宽度的测量方法，包括：提供一光掩模，获得光掩模中一图案的二次电子信号曲线；获得二次电子信号曲线的突变点，突变点包括白边起始点和白边终止点；根据白边起始点和白边终止点设置第一阈值范围和第二阈值范围，并根据若干个第一阈...
    2025-12-30
  • 一种光刻掩膜版清洁设备
    一种光刻掩膜版清洁设备_杭州翼菲机器人智能制造有限公司_202511380889.5
    本申请公开了一种光刻掩膜版清洁设备，包括机体，以及设于机体的取料模块、转运模块与清洁模块；取料模块设有用于放置掩模版承载器具的放置位；转运模块包括转运机器人，转运机器人具有可伸缩的转运件，转运机器人能够相对机体运动以带动转运件将掩模版在取料...
    2025-12-30
  • 微透镜层掩膜版及其OPC方法
    微透镜层掩膜版及其OPC方法_豪威半导体(上海)有限责任公司_202511578298.9
    本发明提供一种微透镜层掩膜版及其OPC方法，包括：提供微透镜层版图；在每个微透镜上设置十字图形区域进行OPC修正；根据每个微透镜的首席射线角CRA调整每个微透镜各自的十字图形区域的偏移量p；每个微透镜各自的十字图形区域几何中心均往靠近微透镜...
    2025-12-30
  • 光学临近修正方法、装置、掩模版、半导体结构及其制备方法
    光学临近修正方法、装置、掩模版、半导体结构及其制备方法_福建省晋华集成电路有限公司_202511562952.7
    本发明提供的光学临近修正方法、装置、掩模版、半导体结构及其制备方法中，包括：提供待处理图案，待处理图案中的各图案相互分离，待处理图案中的部分图案之间的间距小于掩模规则检查的最小间距值；根据待处理图案生成合并图案，将待处理图案中的一部分图案合...
    2025-12-30
  • 光学邻近修正方法及修正装置、掩膜版、设备和存储介质
    光学邻近修正方法及修正装置、掩膜版、设备和存储介质_无锡华润上华科技有限公司_202410785317.4
    本申请涉及一种光学邻近修正方法及修正装置、掩膜版、设备和存储介质。所述方法包括：从原始修正图形中确定修正受限图形；其中，修正受限图形为触发了边缘放置误差限制的图形，原始修正图形为光刻设计图形进行第一光学临近修正后得到的图形；基于修正受限图形...
    2025-12-30
  • 一种阵列式隧道口水幕投影装置和方法
    一种阵列式隧道口水幕投影装置和方法_武汉中交交通工程有限责任公司_202511706331.1
    本申请涉及水幕投影放映技术领域，具体涉及一种阵列式隧道口水幕投影装置和方法，该方法包括：获取隧道口风速、隧道口水幕的供水压力及水幕投影的水幕点云数据集；通过水幕点云数据集中点云数据的局部离群程度获取各点云数据的水滴飞溅特征值，并根据各采集时...
    2025-12-30
  • 一种隐藏式智能投影幕墙
    一种隐藏式智能投影幕墙_江苏晶天建设工程有限公司_202511586135.5
    本申请公开了一种隐藏式智能投影幕墙，涉及投影幕墙的技术领域，其包括安装壳、安装于安装壳外侧壁的安装板、安装于安装壳内的幕布、安装于安装壳用于对幕布进行收卷的收卷机构、滑移设置于安装壳内的移动架、安装于移动架的投影机构以及安装于安装壳用于驱动...
    2025-12-30
  • 对焦补偿方法及其投影设备
    对焦补偿方法及其投影设备_苏州佳世达光电有限公司_202410782574.2
    本发明提供一种应用于投影设备的非定焦镜头的对焦补偿方法。该非定焦镜头具有变焦模组与对焦模组。该对焦补偿方法包含有利用该变焦模组获得该非定焦镜头的变焦角度，获得该变焦角度和该非定焦镜头的对焦角度的转换关系，依据该转换关系获得该非定焦镜头的对应...
    2025-12-30
  • 照明系统及投影装置
    照明系统及投影装置_中强光电股份有限公司_202410773785.X
    一种投影装置及照明系统，照明系统用以提供照明光束，照明系统包括光源模块、波长转换元件、导光模块以及聚光元件。光源模块包括第一至第三激发光源，分别用以发出第一至第三激发光束。波长转换元件用以时序性地将第一激发光束转换为转换光束。导光模块包括第...
    2025-12-30
  • 一种往复式无需清洁的投影仪
    一种往复式无需清洁的投影仪_夏单科技(珠海)有限公司_202511668266.8
    本发明公开了一种往复式无需清洁的投影仪，属于投影仪技术领域，包括投影仪壳体，所述投影仪壳体顶部卡合连接有顶盖，所述投影仪壳体内部固定连接有镜头模组，所述投影仪壳体内部固定连接第一散热器和第二散热器，本发明中，气流中转模块伸入处于中部位置的散...
    2025-12-30
  • 投影装置
    投影装置_中强光电股份有限公司_202410792862.6
    本发明提供一种投影装置，包括光源模块、光调制模块、致动模块以及投影镜头。光源模块用以提供波长分布不同的第一色光以及第二色光，光调制模块用于将第一色光和第二色光分别转换为第一影像光和第二影像光。致动模块用以接收第一影像光以及第二影像光且包含致...
    2025-12-30
  • 单部件会聚机构
    单部件会聚机构_美国科视数字系统股份有限公司_202510804345.0
    提供一种用于投影仪的光调制器的单部件会聚机构。所述单部件会聚机构包含：板；在所述板处的光调制器安装位置；在所述板中的一对狭槽弹簧机构，所述一对狭槽弹簧机构在所述光调制器安装位置的相对侧上；以及在所述板中的一对连接狭槽，所述一对连接狭槽接合所...
    2025-12-30
  • 可调尺寸的相机兔笼
    可调尺寸的相机兔笼_深圳市唯迹科技股份有限公司_202511425688.2
    本发明涉及一种可调尺寸的相机兔笼，包括矩形框体，矩形框体围合形成用于安装相机的兔笼空间，矩形框体包括首尾顺次连接的第一边框、第二边框、第三边框与第四边框。其中，四条边框皆设有包括伸缩杆的伸缩结构，第一边框与第三边框平行相对且能够同步伸缩，以...
    2025-12-30
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