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一种片上磁芯功率电感器的制备方法
本发明涉及一种片上磁芯功率电感器的制备方法, 包括:在晶圆上表面利用光刻和深反应离子刻蚀电感器端头绕组的硅槽和电感器中间绕组的硅槽;依次在电感器端头绕组硅槽和电感器中间绕组硅槽的槽壁处形成绝缘薄膜层、钛阻挡层和铜籽晶层;并通过电镀在电感器端...
封装横向半导体器件及其制造方法
本发明涉及一种封装横向半导体器件及其制造方法, 其中, 封装横向半导体器件包括一个电阻器, 该电阻器连接于器件衬底与封装接地端之间。相较于传统封装结构, 该封装器件减轻了浮置衬底带来的不利影响, 减少了衬底漏电流并提高了击穿电压。此外, 通...
铁电电容器结构
本发明公开一种铁电电容器结构, 包括第一电极、第二电极、第一铁电材料层与第一成核层。第二电极位于第一电极上。第一铁电材料层位于第一电极与第二电极之间。第一成核层接触第一铁电材料层。第一成核层的材料为β‑钨。
铁电电容器及其制备方法
本发明提供一种铁电电容器及其制备方法, 其中, 该铁电电容器包括从下至上依次设置的底电极、铁电层以及顶电极, 所述铁电层为通过原子层沉积方法制备的镧掺杂铪锆氧薄膜, 其中, 镧在所述镧掺杂铪锆氧薄膜中的掺杂浓度小于1at%。本发明能够解决现...
一种铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法
本发明提供一种铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法, 其中, 所述铁电薄膜为通过原子层沉积方法制备的镧掺杂铪锆氧薄膜, 且镧在所述镧掺杂铪锆氧薄膜中的掺杂浓度为1at%~5at%。本发明能够解决现有技术中HZO薄膜在电场循环中的高k值稳定性问题...
使用背面连接的去耦电容器
本文提供了用于形成在背面功率轨之间的使用到所述背面功率轨的背面接触部的一个或多个电容器的技术。在一个示例中, 电容器包括与第二多个板状电极交替的第一多个板状电极。背面接触部用于接触所述第一多个板状电极的底表面和所述第二多个板状电极的底表面。...
一种电容结构及其制备方法
本发明提供一种电容结构及其制备方法, 制备方法包括步骤:形成第一电容器结构, 第一电容器结构包括第一衬底、第一沟槽型电容器、第一层间介质层及第一电极结构, 形成第二电容器结构, 第二电容器结构包括第二衬底、第一沟槽型电容器、第二层间介质层及...
目标器件界面抗氧化方法、基于氮化物插层的抗氧化电容器及制造方法
本发明公开了目标器件界面抗氧化方法、基于氮化物插层的抗氧化电容器及制造方法, 涉及微电子器件设计技术领域。本发明提供了对氮化物与氧化物的界面进行抗氧化的方式, 通过在界面处设置保护插层、并利用保护插层内的氮化物插层来阻隔氧原子从氧化物向氮化...
一种铁电电容器及其制备方法、一种三维铁电存储器阵列
本发明属于微电子领域, 具体涉及一种铁电电容器及其制备方法、一种三维铁电存储器阵列, 铁电电容器包括由底至顶依次设置的衬底、底电极、铁电介质层、除氧层和顶电极;铁电介质层为Hf1‑xZrxO2层, 0
一种离子二极管膜器件及制备方法
本发明提供了一种离子二极管膜器件及制备方法该离子二极管膜器件包括:水凝胶层, 包括第一离子团;干态膜层, 位于水凝胶层上, 干态膜层包括第二离子团, 第二离子团能够解离出的离子浓度小于第一离子团能够解离出的离子浓度, 以在水凝胶层和干态膜层...
一种基于SiC材料的半导体器件及其制造工艺
本发明涉及半导体器件技术领域, 具体地说, 涉及一种基于SiC材料的半导体器件及其制造工艺。其包括N+型SiC衬底、设置在衬底上且具有浓度梯度的N型复合缓冲层、位于缓冲层之上的N型漂移区、以及由第一导电类型区和第二导电类型离子注入区构成的有...
一种高功率密度三极管及制备方法
一种高功率密度三极管及制备方法。涉半导体技术领域。包括以下步骤:步骤S100, 在外延片内制备第一重掺杂薄基区, 在第一重掺杂薄基区区域制备第一重掺杂厚基区;步骤S200, 在第一重掺杂厚基区内制备第二重掺杂发射区;步骤S300, 在外延片...
压接型IGBT电流自平衡的发射极信号回路结构和电路
本发明提供了一种压接型IGBT电流自平衡的发射极信号回路结构和电路, 涉及压接型IGBT芯片技术领域, 该回路结构包括IGBT芯片, 设置第一位置、第二位置和两个接线孔的驱动信号PCB板和发射极底座, 栅极通过第一位置与其中一个接线孔电连接...
半导体元件、半导体装置
本发明的目的在于提供能够使Cgc/Cge的比值变大的半导体元件和半导体装置。特征在于, 具有:发射极电极, 其形成于半导体基板之上;栅极电极, 其形成于该半导体基板之上;第1导电型的漂移层, 其形成于该半导体基板之中;第1导电型的源极层, ...
一种IGBT器件
本发明属于半导体功率器件技术领域, 具体公开了一种IGBT器件, 包括n型半导体层, 以及位于n型半导体层内的:若干个依次排列的屏蔽栅沟槽, 屏蔽栅沟槽内设有屏蔽栅结构;介于相邻的屏蔽栅沟槽之间的p型体区;每个p型体区与其一侧的屏蔽栅沟槽之...
IGBT器件
本发明属于半导体功率器件技术领域, 具体公开了一种IGBT器件, 包括:n型半导体层, 以及位于所述n型半导体层内的:若干个依次排列的屏蔽栅沟槽, 所述屏蔽栅沟槽内设有屏蔽栅结构;相邻的两个所述屏蔽栅沟槽之间设有p型体区, 一部分所述p型体...
一种适用于快速连续触发的可控硅器件及其制备方法
本发明提供一种适用于快速连续触发的可控硅器件及其制备方法, 属于可控硅技术领域, 包括:至少一个第一分立器件组, 包括多个第一分立器件, 每个第一分立器件均包括第一掺杂区以及第二轻掺杂区和第三重掺杂区, 第一掺杂区形成于衬底中, 第二轻掺杂...
栅控晶闸管以及内容可寻址存储器阵列
本发明提供一种栅控晶闸管与内容可寻址存储器阵列。栅控晶闸管包括:第一、第二与第三晶体管, 其分别具有控制端、第一端与第二端。第一与第三晶体管的控制端连接至搜寻线。第二晶体管的控制端连接至固定偏压, 第二端连接至第一晶体管的第一端。第三晶体管...
半导体装置与其制造方法
一种制造半导体装置的方法包含在漂移层中形成遮蔽区、阱与源极区, 其中源极区在阱上, 遮蔽区的顶部低于阱的底部, 且遮蔽区的至少一部分不与阱重叠, 在漂移层中形成沟槽, 沟槽暴露遮蔽区, 在沟槽的侧壁与底部形成栅极介电层, 其中沿着源极区的栅...
半导体结构的形成方法
一种半导体结构的形成方法, 包括:提供基底;在基底上形成凸立的沟道凸起结构, 沟道凸起结构包括含有第一元素的第一牺牲层, 以及位于第一牺牲层上的沟道叠层, 沟道叠层包括含有第二元素的第二牺牲层、以及位于第二牺牲层上的沟道层, 第一元素的化学...
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