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  • 本发明提供一种半导体结构及其制备方法,通过两次光刻和阻挡层的沉积,将氮化硅层完全包覆,有效缓解氮化硅层和金属材料间的应力差异,减少因应力过大导致的介质层开裂问题;具有阻挡层的半导体结构可以避免在测试过程中氮化硅层中氢元素的析出,从而提高半导...
  • 本发明提供了晶圆承载传输系统及晶圆盒自动传输方法。所述晶圆承载传输系统包括从上至下分布的上固定载台、多层暂存载台系统、下固定载台;所述多层暂存载台系统包括上层和下层;其中,所述上层包括左右两个暂存载台,所述下层包括左右两个暂存载台,每个所述...
  • 本发明公开了一种多工位高效率共晶机及其工作方法,该共晶机包括机体,机体上设有上下料机构、贴片机构和多工位机构;上下料机构包括托盘和上下料模组,托盘上用于放置物料,上下料模组用于将待处理的物料放置到多工位机构上,并将多工位机构上处理好的物料重...
  • 本发明公开了一种半导体晶圆表面预处理装置,属于半导体晶圆处理领域。一种半导体晶圆表面预处理装置,包括晶圆存放盒,还包括:清洗箱,设置在晶圆存放盒的正下方,所述清洗箱用以对半导体晶圆预处理;支撑板,设置在清洗箱的正上方,所述支撑板的顶部转动连...
  • 本申请提供一种用于晶圆清洗单元的转速测定装置、晶圆清洗单元及晶圆处理设备。转速测定装置包括:固定轴,设置有液体通路;转动单元,包括转动部和轴承组件,转动部形成容纳腔,固定轴部分伸入容纳腔并与转动部通过轴承组件形成连接,转动部用于与旋转的晶圆...
  • 本发明涉及一种提升电致热转辐射总成之辐射功率密度的装置作为半导体制造程序的光热辐射加热源,利用其柱状辐射结构,于其高度平滑的电致热转辐射元件之光热辐射透射单元的表面于一或多组电致热转光热辐射元件之支撑座的对立面保持其原本之高光热辐射透射率本...
  • 本发明提供了一种缺陷检测设备的优化方法、装置、设备、程序产品及介质,属于半导体技术领域。包括:确定缺陷检测设备中光源的目标位置;在所述光源位于所述目标位置的情况下,基于所述缺陷检测设备,对至少一个晶圆样片进行缺陷检测,获得所述至少一个晶圆样...
  • 本发明涉及离子输运技术领域,具体公开了一种纯直流平面型离子漏斗,包括:直流电源和由N个环形电极,N个所述环形电极从内向外同圆心堆叠而成,并构成平面型结构,每个所述环形电极的壁厚相同,N个所述环形电极的半径从内向外逐渐增大,构成一圈圈同心圆结...
  • 一种氧化锆种植体表面改性处理系统及透明电极制备方法,该系统玻璃管的上端连接有气动接头,气动接头通过管路连接真空泵;透明电极喷涂在玻璃管的外壁,棒状电极固定在玻璃管的下端内侧中心;氧化锆种植体倒置于棒状电极的上方并贴紧棒状电极;透明电极在玻璃...
  • 本发明涉及开关技术领域,具体公开了一种真空接触器,包括第一导电板、第二导电板、操动机构、第一绝缘支撑杆、第二绝缘支撑杆、真空灭弧室、导向杆和导向套;第一导电板、第二导电板和操动机构依次间隔设置;真空灭弧室设于第一导电板和第二导电板之间;真空...
  • 本发明属于电力系统技术领域,公开了一种隔离开关及环网柜。该隔离开关用于设置在环网柜的柜体上,具体包括接通静触头、接地静触头和动触头,接通静触头和接地静触头均固定于柜体,动触头第一端转动设置于柜体,动触头具有与接通静触头接触的接通位置、与接地...
  • 本发明涉及磁体系统,具体公开了一种电子加速器的次级线圈的生产工艺,包括以下步骤:配置绕线工装:将内屏蔽环套入绕线工装,连同绕线工装组装成型,将绕线工装装配至电机轴;绕线:在内屏蔽环的外侧面铺设云母带作为底层;在底层云母带上进行漆包线的绕制,...
  • 本发明提供一种平面耦合电感的制备方法及平面耦合电感,涉及电感器技术领域,制备方法包括:构造多个电感线圈,将电感线圈通过上下层叠的方式进行堆叠;在堆叠的电感线圈的底部和顶部分别设置一个背部磁芯;将堆叠的最底部的电感线圈与底部的背部磁芯紧贴,并...
  • 本发明提供了一种线圈,涉及无线充电技术领域,线圈包括:磁芯和柔性电路板,柔性电路板的第一面上设有多个沿着磁芯延伸的第一方向排列分布的第一线路,柔性电路板的第二面上设有多个沿着第一方向排列分布的第二线路,柔性电路板缠绕在磁芯上,多个第一线路与...
  • 本发明属于磁流变智能材料技术领域,更具体的,涉及一种干式磁流变液材料及其制备方法。本发明提供的干式磁流变液材料,按质量百分比计,原料包括:羰基铁粉92‑99.75%和气相二氧化硅0.25‑8%,通过将羰基铁粉和气相二氧化硅混合,进行湿法球磨...
  • 本发明涉及电缆生产技术领域,具体涉及一种绝缘电缆生产方法及装置,包括两个安放座、多个滚轮、底部移动单元和安装组件,两个安放座上分别安放有绝缘层和线芯;安装组件包括多个穿刺杆、多个卡块和多个滑轮,线芯头部通过多个滑轮与绝缘层内壁接触,不断伸入...
  • 本发明公开了一种深海通讯设备的机械连接技术,旨在提供一种用于扁平线缆的承重铰链及其制造方法,其技术方案要点是包括:铰链主体,由两块不锈钢316L金属板通过螺钉固定而成,确保结构的强度和耐腐蚀性;铰链接口,设置于铰链主体的前端,起到承重作用,...
  • 本发明属于中子源技术领域,更具体的,涉及一种高压倍增的可控同位素中子源。本发明利用α粒子带电极易被吸收阻挡的特性,通过优化斩波器(中子开关)的开孔设计及转动速度,控制α放射源释放的α粒子的阻断与穿过,建立连续、关闭、脉冲三种发射模式的可控中...
  • 本申请的实施例涉及运输器械技术领域,具体涉及一种转移中子源的装置、小型反应堆的启动装置以及判断中子源到达预定位置的方法。第一方面,本申请的实施例提供一种转移中子源的装置,该装置用于在小型反应堆与中子源屏蔽罐之间转移中子源,其包括:气源、管路...
  • 本发明提供一种通过智能计算中心算力实现医学影像诊断模型的开发方法,涉及算力基础设施技术领域,该方法包括:步骤S1:将预先配置的训练集输入至少一个第一候选模型中,对每一个所述第一候选模型进行训练,得到至少一个第二候选模型;其中,所述第一候选模...
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