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一种石英容器的镀膜装置及镀膜方法
一种石英容器的镀膜装置及镀膜方法,该镀膜装置包括:用于容纳石英容器的管式炉,所述管式炉为密封结构,内部设置有用于定位所述石英容器的支承架,以使所述石英容器的中心轴线与所述管式炉的中心轴线同轴;加热机构,其至少覆盖所述管式炉上的容纳有所述石英...
一种外延片的ITO膜层磁控溅射方法
本发明公开了一种外延片的ITO膜层磁控溅射方法,包括:将外延片置于镀膜腔,在所述镀膜腔中通入氩气,并在磁控溅射ITO机台处于第一溅射功率和第一镀膜转速时,在所述外延片上制备ITO膜层的粘附层;在所述镀膜腔中通入氩气和氧气,并在磁控溅射ITO...
一种带熔池稳定机构的多电子枪真空镀膜装置
本发明属于真空镀膜装置技术领域,特别涉及一种带熔池稳定机构的多电子枪真空镀膜装置,包括底架;所述底架的顶部一侧安装有坩埚组件,且所述坩埚组件的顶部一侧安装有基片支架,所述底架的一侧设置有机械泵,所述坩埚组件的外壁且靠近机械泵的一侧安装有分子...
一种基于反向包辊结构的真空卷绕镀膜设备
本发明涉及真空镀膜领域,特别是涉及一种基于反向包辊结构的真空卷绕镀膜设备,包括设备本体、两个转动杆、可变形支架、限位杆件和夹持件;设备本体内部设置为镀膜腔,镀膜腔的相对两端设置有设备腔,镀膜腔侧面设置有蒸发件,用于对靶材进行蒸发,设备腔内设...
一种高精度靶材位移控制的镀膜装置
本发明涉及高精度靶材位移控制的镀膜装置,包括支撑底座、靶位移控制装置、固设于支撑底座支撑面上的镀膜腔体,靶位移控制装置包括支撑支架、安装于支撑支架上的且整体悬空内置于镀膜腔体内的靶位移控制机构;支撑支架非接触式的被容置于支撑底座内部;还包括...
一种半导体晶体用真空沉积设备
本发明公开了一种半导体晶体用真空沉积设备,涉及真空沉积技术领域,包括箱体;箱体内部的工作台上固定安装有多边形壳体;多边形壳体的内部设置有旋转上料组件;旋转上料组件包括旋转盘;旋转盘底部与旋转撑杆固定安装;旋转撑杆远离旋转盘的一端通过安装轴承...
一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备
本实用新型涉及一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备,包括蒸镀腔、设于蒸镀腔的下部中心的蒸发源、设于蒸镀腔的上部的移动机构、由移动机构驱动移动的载板以及设于蒸镀腔外的真空泵;蒸镀腔以载板的输送面为分界面分为上腔和下腔,真空泵通过安装法兰连接在...
在薄膜沉积工艺中从金属卤氧化物前体中除去氧的试剂
一种用于在衬底表面上气相沉积金属或金属氮化物膜的方法包括:使金属氧或金属卤氧化物前体与亲氧试剂在容纳有该衬底的反应器中反应以使该金属氧或金属卤氧化物前体脱氧,和通过气相沉积工艺在该衬底上形成该金属或金属氮化物膜。将该衬底同时或依次暴露于该金...
一种高效率碳陶刹车盘立式沉积炉及其加热方式
本发明属于碳陶刹车盘生产技术领域,具体涉及一种高效率碳陶刹车盘立式沉积炉及其加热方式,包括一种高效率碳陶刹车盘立式沉积炉,包括:水冷炉壳、水冷铜电极、石墨电极、料柱、电极连接板和智能电源;所述水冷铜电极一端穿过水冷炉壳的底部和保温层延伸至水...
复合金层、结构件和电子设备
本申请实施例提供一种复合金层、结构件和电子设备,该复合金层包括依次设置在基材表面的金属打底层、底层仿金层、复合层叠层和面金层;复合层叠层包括层叠设置在所述底层仿金层上的至少三层膜层,所述至少三层膜层包括中间纯金层、中间仿金层和中间混金层中的...
一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉
一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉,属于沉积炉设备技术领域;通过在传统的沉积炉中设置多样品沉积工装,多样品沉积工装通过多条沉积室可以通过载物台单独存放多种工件,利用设置的下通道,将原材料均匀的通向单独的沉积室中进行沉积,此种结构结合了竖...
磁控溅射靶材组件
本实用新型涉及靶材技术领域,公开了磁控溅射靶材组件,具体包括底座、基座、靶材安装座和靶材,所述底座顶部的中部设有凹槽,所述凹槽的内腔设有升降结构,所述基座通过升降结构与底座连接;所述升降结构包括滚珠丝杆、与滚珠丝杆连接的升降管和与升降管一侧...
基于数据分析的蒸镀过程监控方法、系统及介质
本申请涉及蒸镀过程监控技术领域,公开了一种基于数据分析的蒸镀过程监控方法、系统及介质。该方法包括:对蒸镀腔体内传感器采集数据,经滤波标准化处理获得工艺参数数据;对工艺参数数据进行时频分析和相关性计算,提取关键参数特征;基于关键参数特征设定动...
感光材料板基板氧化装置
本发明涉及感光材料板技术领域,是感光材料板基板氧化装置,包括装置架,在装置架下面安装有氧化槽,所述的升降部件连接有横板,所述的升降部件连接控制装置,在横板的左侧具有竖直设置的固定板,这个固定部是左固定板,在左固定板上安装有朝向右侧的夹具,这...
一种特殊形貌AZO薄膜的制备方法
本发明涉及一种特殊形貌AZO薄膜的制备方法,其特征在于:(1)采用特殊形貌的玻璃或不锈钢材料作为衬底材料,对衬底材料进行清洗处理;(2)采用磁控溅射法直接在衬底上制备出具有特殊形貌的AZO薄膜。本发明具有如下优点:本发明以特殊形貌的材料为衬...
一种BC组件高抗氧汇流带的生产方法
本发明提供一种BC组件高抗氧汇流带的生产方法。涉及光伏组件技术领域,BC组件高抗氧汇流带的生产方法,包括;S1、基材预处理:选取无氧铜带作为基材,依次进行脱脂、酸洗、水洗和烘干处理;S2、超声波清洗:将S1中烘干后的基材放入超声波清洗槽,采...
一种奶酪及其制备方法和在制备奶酪制品中的应用
本发明提供一种奶酪及其在制备奶酪制品中的应用,涉及乳制品技术领域。本发明提供的奶酪至少具有如下TPA质构指标之一:表面硬度为0.5~0.7N、松弛弹性为34~46%、表面黏附能量为0.09~0.220N.mm;延展力为4.2~5.4N,延展...
一种新型锅炉分离器结构
本实用新型涉及锅炉分离器,尤其是一种新型锅炉分离器结构。一种新型锅炉分离器结构,包括外壳,外壳的一侧开有入口,入口进入到外壳内的风道形成前高后低的引导板,外壳的底部为固体排出口,上端为气体排出口。这种新型锅炉分离器结构前后左右下倾时就将靶区...
一种燃料电池金属极板及其镀层加工工艺
本发明涉及燃料电池金属极板技术领域,具体涉及一种燃料电池金属极板及其镀层加工工艺,包括如下步骤:(1)在燃料电池金属极板表面沉积Me,形成Me打底层;(2)在Me打底层上沉积MexC1‑x,形成第一功能层;(3)对燃料电池金属极板的反应区进...
掩膜板及显示面板
一种掩膜板及显示面板。掩膜板包括掩膜条。掩膜条沿第一方向延伸,且包括至少两个掩膜图案结构,至少两个掩膜图案结构沿第一方向排列;其中,掩膜条包括在厚度方向上相对设置的第一表面和第二表面,厚度方向与第一方向相交;掩膜条还包括凸起结构,凸起结构的...
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