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研磨方法及研磨装置
本发明提供研磨方法及研磨装置。在该研磨方法中, 能够使由闪光光源发出的光的强度稳定, 并且能够一边在更多的测定点处测定膜厚一边研磨基板。在研磨方法中, 在光学传感器头(7)横穿基板(W)而移动的期间, 使第一闪光光源(44A)以及第二闪光光...
一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备
本申请涉及一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备, 涉及打磨工具技术领域。该刀头结构包括耗材固定模组和夹持模组。耗材固定模组包括耗材和锁紧刀柄, 耗材固定于锁紧刀柄上。夹持模组包括夹持轴、锁紧套、限位珠和弹性固定件, 夹持轴朝向锁紧刀柄的...
一种磨床内部用调节立柱
本发明公开了一种磨床内部用调节立柱, 属于磨床技术领域, 包括立柱主体和传动齿轮, 所述立柱主体内开设有两个安装腔, 驱动组件, 设置于立柱主体内, 所述驱动组件包括活动卡接于立柱主体内的传动齿轮;本发明中在安装腔内均设置可上下滑动的齿板,...
铝带劈刀端部斜角磨削用定位夹具
本发明提供铝带劈刀端部斜角磨削用定位夹具, 涉及定位夹具领域, 包括安装支架, 升降定位架上下滑动设置在安装支架下方;安装支架与升降定位架之间设置有升降调节机构;角度调节支架采用连接轴铰接在升降定位架下端;角度调节机构设置在升降定位架与角度...
轧辊辊型加工方法、数控系统及设备
本申请实施例提供一种轧辊辊型加工方法、数控系统及设备。所述方法包括:根据待加工轧辊所需的目标辊型, 从预先生成的各个垂度补偿表中确定出目标垂度补偿表。目标垂度补偿表用于描述待加工轧辊轴向上不同点位所对应的垂度补偿值, 垂度补偿值用于描述待加...
厚度测量方法、抛光终点检测方法及设备
本发明提供一种厚度测量方法、抛光终点检测方法及设备。应用于高精度测量领域。该方法包括:获取多介质层晶圆在抛光前的第一实测光谱曲线及多介质层晶圆相关的初始理论库;将所述第一实测光谱曲线分别与初始理论库中的理论光谱曲线进行匹配, 确定所述多介质...
边缘线生成装置以及轨迹生成装置
本公开提供边缘线生成装置以及轨迹生成装置。边缘线生成装置具备:显示器;手动指定部, 由操作人员操作而将显示于显示器的工件图像的轮廓线上或轮廓线附近指定为指定点;存储部, 构成为存储示出工件图像的轮廓线并作为多个边缘检测点的集合的边缘检测数据...
一种成形砂轮磨齿机砂轮修整器
本申请实施例提供一种成形砂轮磨齿机砂轮修整器, 涉及砂轮磨齿机技术领域。一种成形砂轮磨齿机砂轮修整器, 包括安装架, 所述安装架的两侧均固定连接有固定盒, 且安装架靠近固定盒的顶部倾斜固定有控制面板;所述安装架上设置有与磨齿机砂轮位移匹配的...
一种用于木材粉尘的湿式回收除尘设备
本发明公开了一种用于木材粉尘的湿式回收除尘设备, 包括, 打磨台, 其顶端设有支撑板, 打磨台内部安装有位于支撑板内部的抬升垫板, 支撑板内壁上设置有与抬升垫板呈垂直设置的降尘吸附板, 降尘吸附板两端设置有固定导轨, 固定导轨上活动设有限位...
一种用于快速调温的化学液输送单元及化学机械平坦化设备
本发明公开了一种用于快速调温的化学液输送单元, 包括:输液管, 内部形成输液通道;半导体电热模组, 设于输液管外侧, 与输液管外壁贴合;热量流动单元, 流动有热量载体, 与半导体电热模组相贴合, 用于提供半导体电热模组所需热量, 或者, 用...
一种碳纤维增强复合材料表层无损清除的方法
本发明公开了一种纤维增强复合材料表层无损清除的方法, 根据纤维和聚合物材料力学性能的差异, 利用高压空气将碳酸氢钠磨料喷射至纤维增强复合材料待清除区域表面, 通过磨料颗粒持续的切削和撞击作用, 实现聚合物材料在超过许用应力后被去除。本发明能...
一种两相颗粒流混合磨料水射流冷切割调整方法和装置
本发明设计冷切割技术领域, 一种两相颗粒流混合磨料水射流冷切割调整方法包括:确定加工设备的工作模式;根据加工设备的工作模式调整设备辅助传感器的工作状态;当待加工物料定位且刀具移动时, 以刀具驱动设备录入的加工坐标为切换刀具切换工作状态的数据...
一种加热盘用晶圆支撑部件的喷砂方法
本发明涉及一种加热盘用晶圆支撑部件的喷砂方法, 所述加热盘用晶圆支撑部件包括至少三个分区, 所述分区包括第一喷砂区、第二喷砂区和非喷砂区;所述喷砂方法包括如下步骤:(1)将预处理后的加热盘用晶圆支撑部件进行分区抛光;(2)所述分区抛光后, ...
一种激光切割设备
本发明涉及激光切割技术领域, 具体为一种激光切割设备, 包括车床机构和喷砂机构;车床机构设于地面上并连接有转接柱;转接柱上连接有激光切割器;喷砂机构包括转动架、承载板、下料组件、高压气泵、外壳、内壳、电机a、伸缩部件a、喷嘴和回收组件;转动...
射流研磨设备和方法
本发明公开了一种射流研磨设备和方法, 属于精密磨削抛光技术, 现有丝杠螺纹研磨抛光生产效率低、人工代价大、作业环境差, 本发明由罩壳限定内腔并配置喷射缺口, 内腔底部有用于蓄存流体研磨剂的蓄存区, 喷射缺口高于蓄存区;并将驱动轮置于内腔内,...
表面处理装置及表面处理方法
本发明公开了一种表面处理装置及表面处理方法, 其中表面处理装置包括:输送机构, 包括喷砂治具和下输送组件, 产品具有待喷侧面, 待喷侧面具有待喷凸部和/或待喷凹部;表面处理模块, 用于对喷砂治具上的产品喷砂, 包括主喷机构和辅喷机构, 主喷...
喷嘴结构和喷砂设备
本申请属于喷砂设备技术领域, 提供一种喷嘴结构和喷砂设备。喷嘴结构包括喷枪、喷砂嘴、连接组件和两个移动件, 喷枪中具有的第一通道;喷砂嘴包括安装部和与安装部连接的支撑部, 安装部和支撑部沿长度方向排布, 安装部插设于第一通道, 连接组件插设...
一种回收砂料设备
本发明属于半导体制造喷砂机用砂料回收技术领域, 公开了一种回收砂料设备, 包括旋风分离器、隔断接料箱, 砂料回收机构、旋转出砂机构和柜体;所述隔断接料箱、砂料回收机构、旋转出砂机构由上到下依次设置在柜体内部;所述旋风分离器底部为漏斗型并伸入...
一种环保型抛丸系统及其磨料回收方法
本发明涉及金属表面处理技术领域, 公开了一种环保型抛丸系统及其磨料回收方法, 包括框架, 所述框架的外部设置有输送滚筒, 所述框架的底部设置有输送机构, 所述框架的顶部安装有分离机构, 所述输送机构的顶部安装有吸尘机构, 所述框架的顶部安装...
一种用于亚高频超声辅助磨削强耐磨超硬砂轮
本发明公开了一种用于亚高频超声辅助磨削强耐磨超硬砂轮, 该砂轮包括, 经过结构设计的过渡段和多槽基体骨架, 槽内钎焊一定粒径的金刚石磨粒。其中, 过渡段结构由亚高频超声振动特性决定, 通过结构设计并仿真获得合适的过渡段结构, 达到合适的频率...
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