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  • 本申请涉及光学检测技术领域,具体涉及一种干涉测量方法和干涉测量系统。由于采用待测物和标准模块同时进行干涉测量,在实现获取待测物目标参数的数据同时,还能够利用标准模块的干涉测量数据监控干涉仪系统的误差,这样在测量待测物时不需要反复进行标定,减...
  • 本发明提供了一种带反射标靶的同轴激光干涉仪收发装置,其能在无需改变透镜焦距和发射光束孔径的前提下,控制平面镜对反射角度敏感的问题。其结构包括发射/接收波导、准直透镜、平面镜,发射/接收波导发出的光由准直透镜准直后射向平面镜,平面镜安装在被测...
  • 本发明属于激光干涉仪校准技术领域,公开了一种用于激光干涉仪的安装误差的校准方法,包括以下步骤:环境准备:设置激光干涉仪校准环境的温度、湿度及振动参数;光学元件清洁:使用无水乙醇、镜头纸擦拭光学元件,具体包括激光发射器、接收器和反射镜;激光波...
  • 本发明提供了一种装配式飞轮刻度盘装置及电子监测方法,其装置包括:脉冲式传感器和TDC传感器分别设置于飞轮刻度盘的边缘位置,并分别与数据处理单元信号连接,数据处理单元与智能显示单元连接;飞轮刻度盘包括:定距管、自锁螺母、螺柱和整圈刻度盘,整圈...
  • 本申请公开了一种圆形工件定位方法,该方法包括:扫描圆形工件表面,获取包含形状信息的散点数据;将所述散点数据转换到统一坐标系,并计算各散点到虚拟圆心的距离;基于所述计算的距离,采用四分位数法对散点数据进行滤波,剔除其中的异常点;对滤波后的数据...
  • 本发明公开了一种半导体误差检测用全光谱散射成像融合测量系统及方法,为成像和散射测量提供照明的照明光路,以及测量波长覆盖检测光谱200‑1600nm范围的显微物镜成像系统,所述显微物镜成像系统按照200‑400nm、400‑850nm以及85...
  • 本发明属于焊接结构检测领域,提供了一种复杂管板焊接结构尺寸自调整检测方法及系统。其中,复杂管板焊接结构尺寸自调整检测方法包括根据工艺参数库和质检参数库对复杂管板焊接结构进行预调修;对预调修后的复杂管板焊接结构执行一次检测,生成初版检测报告并...
  • 本发明公开了一种双圆柱体对中位置测量装置以及测量方法,涉及圆柱体测量技术领域,其技术方案要点是:包括支架, 所述支架内侧底部设有2个支撑结构,所述支架内设有两组传感器组,所述每组传感器含有3个传感器,所述3个传感器依次分布于支架内侧顶部和2...
  • 本发明涉及储能设备检测技术领域,公开了储能设备钣金外壳智能检测方法及系统。该方法从生产线实时采集包含三维激光扫描数据、表面缺陷图像数据及应力分布时序数据的多模态检测数据集合;分别对三类数据执行空间拓扑特征解析、多尺度纹理特征提取、动态异常模...
  • 本发明涉及传感器技术领域,提供一种光栅位置传感器,扫描组件与光源模块保持相对固定,扫描组件内部设置有入射光阑和增量探测器,增量探测器在空间上被划分为至少两个用于探测第一相位增量信号分量的第一探测器区域和至少两个用于探测第二相位增量信号分量的...
  • 本发明涉及光学工程技术领域,提供一种反射式投影物镜的位置测量装置及调节系统,该测量装置包括测量单元和处理单元,测量单元包括三个光栅干涉仪,三个光栅干涉仪分别设置于反射镜的三个侧面,光栅干涉仪用于测量反射镜的位置信息并输出相应的测量信号;处理...
  • 一种适用于气浮台的平面定位方法与系统,平面定位方法包括:完成设备安装;完成多个光敏传感器和激光发射器信号同步,开启激光发射器,在一个激光发射周期内,部分光敏传感器接收到激光,计算该部分光敏传感器的当前角度;多个激光发射周期内分别选取三个传感...
  • 本发明公开了一种用于纳米坐标测量机的非接触式测头装置和测量方法,所述测头装置包括激光全息测量模块、光学显微成像模块和信号处理模块,激光全息测量模块包括半导体激光器、距离半导体激光器近的直条纹光栅和距离半导体激光器远的全息光栅、分别位于半导体...
  • 本发明提供了一种空间曲线焊缝相似度测量方法,涉及自动化焊接技术领域,所述方法包括以下步骤:以工件模型中提取的均匀采样空间离散点或对待焊接工件焊缝使用3D视觉传感器进行扫描、拟合处理并均匀采样得到的离散点作为模板数据;采集空间曲线焊缝数据进行...
  • 本发明涉及精密测量设备技术领域,更具体地说,涉及一种高精度CCD视觉闪测仪装置,该测仪装置包括支撑机构,所述支撑机构包括机台,所述机台上设置有壳体,且壳体上设置有观察窗;安装结构,所述安装结构置于支撑机构内,且安装结构包括检测工作面,所述检...
  • 本发明涉及保持架检测装置技术领域,公开了一种基于机器视觉的塑料保持架尺寸精度的坐标检测装置,本装置包括工作台,被用做保持架的检测场所;限位组件,设置在所述工作台上,用于对T字型保持架的肩部进行限位夹持工作;升降组件,与所述工作台连接,用于对...
  • 本发明提供了一种闭环力控尺寸测量装置和测量方法,所述测量装置包括固定架、力传感器、置物台和压板,所述固定架内底侧设置有第一垂向移动机构,所述第一垂向移动机构包括移动部和与所述固定架连接的固定部,所述移动部可沿垂向相对所述固定部往复移动,所述...
  • 本发明公开了一种基于快速定位功能的工程审计用比对分析装置,涉及检测分析设备技术领域,包括分析车,所述分析车由驱动底盘、驾驶室和中控单元组成,比对分析装置还包括红外测量仪、支撑装配板、反馈组件和四个支撑组件,所述红外测量仪设置在驾驶室上,所述...
  • 本申请提供一种转站方法、转站系统、电子设备及存储介质。所述方法包括:在转站时,移动光学跟踪设备之后,获取光学跟踪设备对扫描设备进行跟踪测量得到的第一跟踪数据;基于第一跟踪数据,确定扫描设备上的靶座在光学跟踪设备的坐标系下的第一靶座坐标;获取...
  • 本发明属于保温层测量技术领域,具体是指一种建筑保温材料测量设备,包括检测架、自锁轮、支撑架、旋切机构和集料机构,所述自锁轮转动设于检测架底部,所述支撑架设于检测架内侧,所述旋切机构设于检测架与支撑架之间,所述集料机构设于检测架底部,所述旋切...
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