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一种光掩膜版光刻胶的去除方法及装置
本发明公开了一种光掩膜版光刻胶的去除方法及装置,包括如下步骤:采用UV光源对图形蚀刻后光掩膜版表面剩余的光刻胶进行照射曝光;曝光完成后,采用TMAH溶液去除剩余光刻胶。本发明对蚀刻后光掩膜版表面的整个剩余光刻胶层进行均匀且足量的紫外光照射,...
一种半导体芯片用掩模版蚀刻装置及其方法
本发明公开了属于刻蚀设备技术领域的一种半导体芯片用掩模版蚀刻装置及其方法。包括有底座,所述底座固接有箱体,所述箱体内固接有连接板,所述连接板固接有外胆,所述外胆设置有第一孔洞,所述外胆内转动连接有内胆,所述内胆设置有第二孔洞,所述箱体密封滑...
一种掩模板图案的制作方法
本发明提供一种掩模板图案的制作方法,涉及半导体技术领域。掩模板图案的制作方法包括如下步骤:提供晶圆的尺寸数据、芯片图形及与晶圆对应的初始曝光区域的尺寸数据;逐渐减小初始曝光区域的面积,获得多个中间曝光区域;根据中间曝光区域的面积计算晶圆的尺...
一种光罩存储机台的控制系统
一种光罩存储机台的控制系统,其包括设备机架,移料机构,储料机构。所述设备机架包括上下料窗口。所述移料机构的夹爪上设置有多个传感器。所述储料机构的每个料仓均包括内圈,外圈,储位,出料口。每个所述储位上还设置有一个示教机构。与现有技术相比,本发...
碳纳米结构体的涂覆自立膜
公开了一种结构体,其包括附接至支撑件的经涂覆的自立膜。所述自立膜是碳纳米结构体的自立膜,并且在所述自立膜上提供厚度为5‑200nm的聚对二甲苯涂层。
掩模版的优化方法、装置及曝光设备
本发明涉及计算光刻技术领域,公开了一种掩模版的优化方法、装置及曝光设备,该方法包括:采集掩模图形转移设备的照明光束的波前像差参数;根据波前像差参数计算照明光束的波前像差;基于所述波前像差和预设的初始透射率函数计算位于成像面的像面波前矩阵;根...
用于改善掩模图案生成一致性的方法
本文中描述了一种确定待印制在衬底上的目标图案的掩模图案的方法。该方法包括:参考目标图案上的给定位置,将包括目标图案的设计布局的一部分划分成多个单元;在多个单元中的特定单元内分配多个变量,特定单元包括目标图案或目标图案的一部分;以及基于多个变...
一种基于扩散策略的SRAF图形优化方法及系统
本发明公开了一种基于扩散策略的SRAF图形优化方法及系统,所述方法包括:采集样本数据,所述样本数据包括目标布局的图形、目标布局的初始SRAF图形和SRAF图形优化数据;将采集到的训练数据输入到预先设定的扩散模型中进行训练,得到SRAF优化模...
掩膜图案生成方法、装置、存储介质及电子设备
本申请公开了一种掩膜图案生成方法、装置、存储介质及电子设备,其中,该掩膜图案生成方法包括构建光学系统的频域成像内核,并获取原始设计图案;根据频域成像内核和原始设计图案,计算得到光学系统下的目标掩膜频谱分布图;基于原始设计图案,利用第一Lev...
一种纳米卤化银乳剂的制备方法及应用
一种纳米卤化银乳剂的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:S1、将去离子水、溴化钠、成核助剂、稳定剂、明胶在带有盘式搅拌的容器中充分溶解后混合均匀,制成初胶液;将硝酸银与去离子水混合均匀,制成硝酸银溶液;将溴化钠、碘化钾与去离子水混合均匀,制...
一种环保型印刷用新型丝印晒版机
本申请涉及一种环保型印刷用新型丝印晒版机,涉及印刷设备的技术领域,包括壳体,还包括:升降机构,所述升降机构设置于壳体的内壁中;盖板,所述盖板铰接在壳体的顶端外壁,所述壳体的前端外壁铰接有挡板;光源主体,所述光源主体通过安装机构设置于壳体的内...
一种基于节目开发包装用的多媒体装置
本发明公开了一种基于节目开发包装用的多媒体装置,本发明涉及投影技术领域,包括基座,所述基座内腔的右侧活动连接有调节组件,调节组件的顶部设置有调节座,两个涡轮的底部对称传动连接有蜗杆,双向丝杆的外壁螺纹连接有活动座,活动座的内腔中转动连接有连...
氛围影像投影装置
一种氛围影像投影装置包括光源组件、第一投影机构;所述第一投影机构包括显示屏和第一光路模组,所述显示屏播放的内容在所述第一光路模组的引导下形成动态影像,并投射在空间中;所述光源组件包括第一光源和聚光元件;所述第一光路模组包括光学镜头和若干个透...
光源装置及光学系统
本申请公开了一种光源装置及光学系统,光源装置包括激发光光源、荧光模组和光机中继模组。激发光光源包括激发光发生器和多个光学器件,多个光学器件用于形成至少两个整形单元,至少两个整形单元中的其中一个可选择地位于激发光发生器产生的第一激发光所在的光...
一种车灯模组、控制车灯的方法、车灯系统和交通工具
本申请提供一种车灯模组、车灯系统和控制车灯的方法,能够应用于智能驾驶领域,例如智能驾驶汽车上。本申请提供的车灯模组能够兼顾高亮度照明和高清晰度投影,能够提升智能驾驶汽车的性能,从而提升用户体验。车灯模组包括:光源模块、照明模块和投影模块。其...
调节组件、光机机构及投影仪
本公开实施例公开一种调节组件、光机机构及投影仪。调节组件包括支架、阻尼块及调节件。支架包括本体和设置于本体的转轴。阻尼块套设于转轴。调节件至少部分套设于阻尼块,并能够相对阻尼块绕转轴旋转,通过相对转轴旋转实现对光机机构及投影仪的调焦,并且通...
投影装置
本申请公开了一种投影装置,包括第一壳体、投影模组、电性组件、第一电性部以及第二电性部;第一壳体设有容置槽;投影模组位于容置槽内;电性组件位于第一壳体且电性连接投影模组;第一电性部电性连接于电性组件且沿第一壳体周向延伸;第二电性部电性连接于投...
一种具有投影组件的便携式智能终端
本发明公开了一种具有投影组件的便携式智能终端,包括智能终端本体,智能终端本体具有光纤扫描投影组件,光纤扫描投影组件与智能终端本体内的主板电连接,光纤扫描投影组件包括通过光纤连接的光纤扫描投影单元和光源单元,所述的光纤扫描投影单元包括成像镜头...
一种智能散热3D相机
本发明涉及相机设备技术领域,且公开了一种智能散热3D相机,包括相机机壳,相机机壳上设置有进风口和热出风口,相机机壳内部安装有半导体制冷片,半导体制冷片的散热面侧部安装有热风扇,相机机壳内设置有一对导热板,一对导热板中设置有冷却板,半导体制冷...
可变光圈模块及影像撷取装置
本发明提供一种可变光圈模块,包含底座,载体,多个叶片以及驱动组件。底座具有开口。载体能转动地设置于底座上。多个叶片能位移地设置于载体上。驱动组件连接载体以带动载体转动,且驱动组件包含多个导向件,第一带动元件及第二带动元件。多个导向件设置于载...
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