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利用整合工艺步骤的互连覆盖
一种用于形成互连结构的群集工具包括预清洁腔室;选择性化学气相沉积(CVD)腔室;等离子体增强CVD (PECVD)腔室;一或多个传送腔室,所述一或多个传送腔室耦接至所述预清洁腔室、所述选择性CVD腔室和所述PECVD腔室,并且被配置为在不破...
基座
本文描述的是基座、具有所述基座的处理腔室以及使用所述基座处理基板的方法。在一个示例中,提供了一种用于在处理期间支撑基板的基座。所述基座具有盘形主体,所述盘形主体包括围绕内部区域的边。所述内部区域凹陷以形成凹陷凹穴,所述凹陷凹穴配置为接收基板...
薄膜沉积装置集群
一种衬底处理系统(1900),包括:接收模块(1910),被配置为将衬底(130)装载到衬底处理系统(1900)并且从衬底处理系统(1900)卸载衬底(130),以及加热模块(1930),被配置为加热衬底(130),以及至少一个处理模块(1...
使用等离子体射流的半导体衬底的弯曲补偿
提供了使用等离子体射流的半导体衬底或晶圆的弯曲补偿的方法与装置。在某些实施方案中,该装置可用于衬底的背侧的表面改性,该衬底具有前侧,该前侧具有在其上面加工的电子设备特征。除了其他部件以外,该装置还可包含喷嘴,其被设置成将等离子体射流引导到该...
原子层沉积设备和用于对衬底进行涂覆的方法
本发明涉及一种原子层沉积设备和方法,其中,该设备包括:反应室(10);被布置成与顶壁(11)连接的电极组件(2);被布置成与电极组件(2)相对的对电极(3);形成在电极组件(2)与对电极(3)之间的反应区(15a);前驱体供应开口(4),前...
真空涂层系统
本公开文本涉及一种用于涂覆带型基板(5)的真空涂层系统,所述真空涂层系统(10)包括:‑ 第一模块(20),所述第一模块包括第一模块壳体(21),所述第一模块壳体(21)包括第一基板入口(22)和第一基板出口(23)中的至少一个;第二模块(...
用于金属前体合成及沉积的处理系统
公开了用于形成含金属前体及沉积纯金属膜的处理腔室。也公开了沉积方法,所述方法包括在单个处理腔室中形成含金属前体及在基板上沉积含金属前体以形成金属膜。
表面处理钢板
一种表面处理钢板,其具有:每个金属单面的镀层附着量为20~60g/m2的Zn‑Al‑Mg系镀覆钢板;以及配置于所述Zn‑Al‑Mg系镀覆钢板的至少一个主面的涂膜,所述涂膜包含粘结剂树脂、掺杂型氧化锌粒子以及防锈剂,所述涂膜的平均膜厚为0.5...
无取向性电磁钢板
一种对降低电动机的噪音、振动有效的无取向性电磁钢板,其具有含有以质量%计C:0.0050%以下、Si:2.0~5.0%、Mn:2.0%以下、P:0.20%以下、S:0.0050%以下、Al:2.0%以下、N:0.0050%以下、Ti:0.0...
合金材
提供一种能得到较高的蠕变强度、优异的耐焊接热裂纹性及热加工性的合金材。本公开的合金材以质量%计含有C:0.050~0.100%、Si:1.00%以下、Mn:1.50%以下、Cr:19.00~23.00%、Ni:30.00~35.00%、N:...
钢板、构件和它们的制造方法
本发明提供具有优良的延展性、扩孔性和化学转化处理性、拉伸强度为780MPa以上的钢板、构件和它们的制造方法。一种钢板,其具有含有以质量%计规定范围的C、Si、Mn、P、S、sol.Al、N、满足式(1)的成分组成以及使多边形铁素体的面积率等...
钢板、构件和它们的制造方法
本发明提供具有780MPa以上的拉伸强度(TS)、并且具有高的延展性和延伸凸缘性、并且轴向压溃特性优良的钢板、构件和它们的制造方法。一种钢板,其具有使C、Si、Mn、P、S、sol.Al、N为特定含量的成分组成,并且具有含有以面积率计由铁素...
双相不锈钢钢管
提供能够得到高强度和优异耐腐蚀性的双相不锈钢钢管。本发明的双相不锈钢钢管以质量%计含有C:0.030%以下、Si:0.20~1.00%、Mn:0.5~7.0%、P:0.040%以下、S:0.020%以下、Al:0.100%以下、Ni:4.0...
金属处理添加剂
一种用于处理铁水的金属处理添加剂,所述金属处理添加剂包含10至90重量%的活性剂和90至10重量%的载体。所述活性剂包含钡、铋和锆中的一种或多种作为主要成分,并且所述添加剂组合物包含少于0.5重量%的镁。所述添加剂适用于在铸造工艺中孕育铁水...
悬架构件及悬架构件的制造方法
一种悬架构件,由铝合金构成,所述铝合金具有以下的合金组成:含有0.3~0.5质量%的Cu、0.65~1.05质量%的Mg、0.9~1.25质量%的Si、0.4~0.6质量%的Mn、0.15~0.30质量%的Fe、0.09~0.25质量%的C...
铝合金锻造用坯料、铝合金锻造件及其制造方法
本铝合金锻造用坯料具有以下的合金组成:含有0.25质量%以上且0.55质量%以下的范围内的Cu、0.85质量%以上且1.25质量%以下的范围内的Mg、1.02质量%以上且1.4质量%以下的范围内的Si、0.55质量%以上且1.0质量%以下的...
Cr-Ni合金管
一种Cr‑Ni合金管,其中,Cr‑Ni合金管的管轴方向的拉伸屈服应力YSLT和压缩屈服应力YSLC、以及从Cr‑Ni合金管的壁厚中央位置以长度方向与前述管轴方向平行的方式采集并高频感应加热和骤冷后的试验片的拉伸屈服应力YSHT满足[0.80...
镍氧化物矿石的冶炼方法
提供一种能够提高得到的金属的品位,能够有效地制造高品质的金属的氧化矿石的冶炼方法。镍氧化物矿石的冶炼方法包括:将镍氧化物矿石和第一还原剂混合而得到混合物的混合处理工序;以及将混合物装入还原炉中,向还原炉投入第二还原剂,对混合物实施还原处理的...
金属萃取剂及使用该金属萃取剂的金属离子的分离回收方法以及化合物
一种化合物及金属萃取剂、使用该金属萃取剂的金属离子的分离回收方法,该金属萃取剂为将存在于水相中的金属离子萃取到油相中的金属萃取剂,该化合物及金属萃取剂具有由下述式(I)表示的结构且不具有氮原子。式(I)中,R1表示氢原子、金属原子或1价的取...
用于从电池废料再循环锂的系统和方法
本文的实施方案涉及用过的锂电池材料的再循环。在一些方面,方法可以包括将锂源悬浮在含有氧化试剂的溶剂中以提取锂,形成提取的锂溶液,将提取的锂溶液与锂源的残留固体分离,通过沉淀和过滤杂质来纯化提取的锂溶液,以及使锂在纯化的锂溶液中沉淀以生成碳酸...
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