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最新专利技术
  • 超临界基板处理装置
    超临界基板处理装置_凯斯科技股份有限公司_202511209414.X
    本发明涉及一种超临界基板处理装置，其特征在于，包括：腔室，其设置有处理空间；基板支撑部，其对基板进行支撑；开闭部，其用于打开或关闭处理空间；搬出搬入部，其将基板搬入至基板支撑部或者将基板从基板支撑部搬出；检测部，其对搬出搬入部或基板进行检测...
    2026-03-22
  • 基板处理装置
    基板处理装置_芝浦机械电子株式会社_202511197682.4
    本发明提供一种能抑制在基板的面内产生温度偏差的基板处理装置。实施方式的基板处理装置包括：载置部，具有能够载置基板的载置台，能够使所载置的所述基板旋转；冷却部，能够经由冷却气体喷嘴向所述载置台与所述基板之间的空间供给冷却气体；以及液体供给部，...
    2026-03-22
  • 衬底处理装置及衬底处理方法
    衬底处理装置及衬底处理方法_株式会社斯库林集团_202511142668.4
    本发明提供一种衬底处理装置及衬底处理方法，能够降低排液配管堵塞的风险，且能够减少液体消耗量，从而有助于降低环境负荷及运转成本。本发明的衬底处理装置包含：膜片排出部，利用第1液体将从衬底的表面剥离的处理膜的膜片引导到排液配管；第2液体供给部，...
    2026-03-22
  • 晶圆型测量装置以及基板处理装置
    晶圆型测量装置以及基板处理装置_细美事有限公司_202510943877.2
    本发明公开了一种晶圆型测量装置以及基板处理装置。根据本发明实施例的晶圆型测量装置包括下装置以及安放于所述下装置的上装置，其特征在于，所述下装置包括：下基板；安放部，以凸出的状态连接于所述下基板上部；以及致动器部，相对于所述下基板升降或者旋转...
    2026-03-22
  • 基板处理装置以及基板处理方法
    基板处理装置以及基板处理方法_细美事有限公司_202510813021.3
    本发明公开了一种基板处理装置以及基板处理方法。根据本发明的一实施例的基板处理装置，其特征在于，包括：处理腔体，提供执行基板处理工艺的处理空间；气体供应单元，用于供应气体；喷头单元，用于将从所述气体供应单元供应的气体向所述处理空间供应；等离子...
    2026-03-22
  • 半导体制造装置及半导体装置的制造方法
    半导体制造装置及半导体装置的制造方法_铠侠股份有限公司_202510202506.9
    本公开提供在半导体基板的湿法蚀刻工序中能够抑制半导体基板上的图案的倒塌的半导体制造装置及半导体装置的制造方法。一实施方式的半导体制造装置具备贮存通过将调整pH的调整物质向第1液体添加而生成的第1流体的第1流体贮存部。第1流体供给部将第1流体...
    2026-03-22
  • 安装有加热单元的基板处理装置
    安装有加热单元的基板处理装置_株式会社迪佰世_202510082659.4
    本发明涉及安装有加热单元的基板处理装置，包括：基板保持单元，保持及旋转基板；处理液供给单元，向保持在基板保持单元的基板的上表面或下表面供给处理液；加热单元，在下部对基板加热；隔断板，设置在加热单元的上侧，可透射朝向基板的光，设置在基板保持单...
    2026-03-22
  • 闸门结构及具有此的腔室模块
    闸门结构及具有此的腔室模块_圆益IPS股份有限公司_202411885973.8
    本发明提出一种闸门结构，配置在具有形成有闸门的一个以上的闸门形成面的腔室，包括：第一部件，形成与在闸门形成面形成的闸门相对应的第一开口，并且固定结合于闸门形成面；第二部件，形成第二开口，第二开口与第一开口相对应并且被开关部件开关，针对于第一...
    2026-03-22
  • 使用固态二氧化碳粗糙化表面的方法
    使用固态二氧化碳粗糙化表面的方法_南亚科技股份有限公司_202411466634.6
    本发明提供一种使用固态二氧化碳粗糙化表面的方法。方法包括以下操作。生成固态二氧化碳，包括使二氧化碳从气瓶经由冷却喷嘴进入真空室中，其中固态二氧化碳在二氧化碳经由冷却喷嘴后形成，以及固态二氧化碳从冷却喷嘴出来的速度为1000m/s至3000m...
    2026-03-22
  • 晶圆翻转装置及晶圆清洗设备
    晶圆翻转装置及晶圆清洗设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202411270013.0
    本申请公开一种晶圆翻转装置及晶圆清洗设备，涉及半导体制备技术领域，所公开的晶圆翻转装置包括基座、旋转支架、第一驱动部、第一夹持机构和第二夹持机构；第一驱动部设于基座，且与旋转支架相连，以驱动旋转支架相对于基座进行翻转，第一夹持机构和第二夹持...
    2026-03-22
  • 晶圆升温装置、升温方法、以及半导体工艺设备
    晶圆升温装置、升温方法、以及半导体工艺设备_上海凯世通半导体股份有限公司_202411268314.X
    一种晶圆升温装置、升温方法、以及半导体工艺设备，所述晶圆升温装置包括：升温腔；晶圆承载支架，位于所述升温腔内，所述晶圆承载支架能够承载多片晶圆；升温处理模块，用于向所述升温腔内提供加热环境，以能够对多片所述晶圆进行升温处理。本发明实施例提供...
    2026-03-22
  • 清洗腔室及半导体清洗设备
    清洗腔室及半导体清洗设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202411246642.X
    本申请公开了一种清洗腔室及半导体清洗设备，属于半导体加工技术领域。清洗腔室包括腔室本体、旋转卡盘、喷淋固定件和喷淋组件，旋转卡盘设置于腔室本体内并用于承载晶圆；喷淋固定件设置于腔室本体内并与腔室本体的侧壁连接，喷淋固定件位于旋转卡盘的上方，...
    2026-03-22
  • 基板干燥装置及基板干燥方法
    基板干燥装置及基板干燥方法_盛美半导体设备(上海)股份有限公司_202411239194.0
    本申请提出了一种基板干燥装置和方法。该装置包括腔室、流体供给单元、减压单元、检测单元和控制单元，所述控制单元被配置为：在开启所述减压单元后，控制所述检测单元实时获取所述检测数据，判断所述检测数据是否低于预设的阈值，若所述检测数据低于预设的阈...
    2026-03-22
  • 一种用于监测退火设备晶圆传出温度的方法
    一种用于监测退火设备晶圆传出温度的方法_上海光通信有限公司_202411238973.9
    本申请公开了一种用于监测退火设备晶圆传出温度的方法。方法包括：提供样片晶圆，样片晶圆具有衬底、过渡层及金属层，过渡层制备于衬底与金属层的中间；测量退火前的金属层的反射率，得到第一反射率值；将样片晶圆放入监控的退火设备中，在退火设备中对样片晶...
    2026-03-22
  • 工艺腔室、半导体器件的加工设备及方法
    工艺腔室、半导体器件的加工设备及方法_拓荆科技股份有限公司_202411226810.9
    本发明提供了工艺腔室、半导体器件的加工设备及加工方法。所述工艺腔室包括晶圆支撑机构、喷淋头及旋转升降机构。所述晶圆支撑机构位于所述工艺腔室的内部，用于支撑晶圆的边缘，并暴露所述晶圆的背面。所述喷淋头位于所述晶圆支撑机构的下方，以向所述晶圆的...
    2026-03-22
  • 工艺腔室，以及半导体器件的加工设备及方法
    工艺腔室，以及半导体器件的加工设备及方法_拓荆科技股份有限公司_202411226800.5
    本发明提供了一种工艺腔室，以及一种半导体器件的加工设备及加工方法。所述工艺腔室包括晶圆支撑机构、喷淋头、升降机构及旋转机构。所述晶圆支撑机构位于所述工艺腔室的内部，用于支撑晶圆的边缘，并暴露所述晶圆的背面。所述喷淋头位于所述晶圆支撑机构的下...
    2026-03-22
  • 片环承载装置及晶圆贴膜设备
    片环承载装置及晶圆贴膜设备_华海清科(北京)科技有限公司_202411226352.9
    本申请实施例提供了一种片环承载装置及晶圆贴膜设备。其中，片环承载装置包括：承载平台，用于与晶圆贴膜设备相连接；移动机构，可移动地设置于承载平台；放置机构，连接于所述移动机构，用于放置片环；锁定机构，连接于所述承载平台，用于在所述移动机构移入...
    2026-03-22
  • 一种半导体器件的加工设备
    一种半导体器件的加工设备_江苏鲁汶仪器股份有限公司_202411221271.X
    本发明公开一种半导体器件的加工设备，包括：工艺腔组件，包括第一主体部、第一盖板、介质窗和进气部件；配件腔组件，包括第二盖板和射频线圈；驱动组件，驱动组件和第一盖板以及第二盖板均相连，驱动组件具有第一驱动状态和第二驱动状态，在第一驱动状态下，...
    2026-03-22
  • 基板处理装置
    基板处理装置_盛美半导体设备(上海)股份有限公司_202411204300.1
    本申请公开了一种基板处理装置，包括腔室、流体供应部、流体供应管线、多个硬件端、流体排出管线、检测系统和第一采样管线，腔室用于处理基板，流体供应部用于向腔室供应流体，流体供应管线连接流体供应部和腔室并将流体输送至腔室，多个硬件端设置于流体供应...
    2026-03-22
  • 药液循环系统及湿法设备
    药液循环系统及湿法设备_盛美半导体设备(上海)股份有限公司_202411204289.9
    本申请公开了一种药液循环系统及湿法设备，药液循环系统包括喷嘴、储液槽、供液管路以及气体吹扫组件，喷嘴用于向基板供应药液；储液槽用于储存药液；供液管路连接储液槽的出液口和喷嘴；气体吹扫组件包括吹扫管路和调节元件，吹扫管路与供液管路连接，调节元...
    2026-03-22
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