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最新专利技术
  • 等离子体处理装置以及半导体装置的制造方法
    等离子体处理装置以及半导体装置的制造方法_铠侠股份有限公司_202510261541.8
    本发明涉及等离子体处理装置以及半导体装置的制造方法，在基板面内更均匀地进行等离子体处理。实施方式的等离子体处理装置具备：处理腔室，能够对基板进行处理；工作台，设置于处理腔室内，能够载置基板；等离子体生成部，使得在载置有基板的工作台的上方产生...
    2026-03-21
  • 等离子体蚀刻方法
    等离子体蚀刻方法_SPTS科技有限公司_202510774691.9
    本文公开了一种用于等离子体蚀刻含添加剂的氮化铝膜的设备和方法，所述含添加剂的氮化铝膜含有选自钪(Sc)、钇(Y)或铒(Er)的添加元素。所述方法包含以下步骤：将工件放置在等离子体腔室内的衬底支撑件上，所述工件包含具有安置于其上的金属膜的衬底...
    2026-03-21
  • 等离子体处理系统及排气系统
    等离子体处理系统及排气系统_株式会社荏原制作所_202511305600.3
    本公开提供一种具备能够不使用液体而除去气体中的粒子的过滤装置的等离子体处理系统和排气系统。等离子体处理系统具备：构成为对工艺气体进行等离子体处理和氧化处理以形成粉末的等离子体发生器；以及用于从含有粉末的气体中除去粉末的捕集装置，捕集装置具有...
    2026-03-21
  • 一种用于监测及调节等离子负载阻抗的装置及方法
    一种用于监测及调节等离子负载阻抗的装置及方法_江苏神州半导体科技股份有限公司_202511536095.3
    本发明公开了一种用于监测及调节等离子负载阻抗的装置，包括阻抗监测及调节装置，以及顺次连接的射频电源、匹配器和等离子体负载，阻抗监测及调节装置包括阻抗监测模块、可调阻抗网络以及控制模块，阻抗监测模块用于实时监测等离子体负载的阻抗值ZL；可调阻...
    2026-03-21
  • 一种等离子处理设备
    一种等离子处理设备_江苏天芯微半导体设备有限公司_202511784028.3
    本发明提供一种等离子处理设备，包括：基座、腔体；气体分配件设置于基座上；移动部沿着移动方向可移动地设置于腔体上方；被锁定装置设置于基座上；锁定装置设置于移动部，用于在第一维护状态下，锁定被锁定装置；或在第二维护状态下，与被锁定装置解除锁定；...
    2026-03-21
  • 用于等离子体半导体处理的多层聚焦环
    用于等离子体半导体处理的多层聚焦环_北京北方华创微电子装备有限公司_202511891968.2
    本发明总体涉及等离子体半导体处理以及相关的部件和工具。在示例中，聚焦环包括第一环形层和第二环形层。第二环形层的上表面构造成通过第一环形层的下表面接触该上表面来支撑第一环形层。下表面和上表面在周向上呈周期性结构，并且具有相同的周期长度。下表面...
    2026-03-21
  • 一种模块化的法拉第盘
    一种模块化的法拉第盘_中山大学_202511846976.5
    本发明涉及法拉第盘技术领域，具体公开一种模块化的法拉第盘，包括绝缘基板、法拉第盘基体、绝缘压盖和金属栅网；绝缘基板中部设置有阶梯槽；法拉第盘基体中部设置有容纳槽；绝缘压盖配置为与法拉第盘基体可拆卸连接；金属栅网被夹在法拉第盘基体和绝缘压盖之...
    2026-03-21
  • 离子抑制器与质谱仪联用系统
    离子抑制器与质谱仪联用系统_上海光通信有限公司_202411276014.6
    本申请提供一种离子抑制器与质谱仪联用系统，涉及离子检测设备技术领域，用于解决基于现有方式对流入质谱仪内的干扰物进行消除，干扰物的消除效果差的问题，该离子抑制器与质谱仪联用系统包括导入管路、质谱仪及离子抑制器，离子抑制器布置于导入管路上，离子...
    2026-03-21
  • 一种基于叠片簇电极的离子聚焦传输装置及其制备方法
    一种基于叠片簇电极的离子聚焦传输装置及其制备方法_复旦大学_202511805010.7
    本发明属于质谱分析技术领域，具体为一种基于叠片簇电极的离子聚焦传输装置及其制备方法。本发明装置包括由多个环形电极沿轴向交叉堆叠而成的电极组件，电极内径沿离子传输方向渐变缩小以形成聚焦通道；电极组件分成前、中、后三个区域；前段区域电极之间形成...
    2026-03-21
  • 一种电离增强型离子迁移谱仪
    一种电离增强型离子迁移谱仪_中国科学院大连化学物理研究所_202511879476.1
    本发明提供一种电离增强型离子迁移谱仪，涉及离子迁移谱分析技术领域，包括电离源、绝缘环、金属电极环、增强反射腔、离子门栅网、屏蔽栅网、法拉第盘、绝缘管和气泵等，其中在电离区及反应区内、外壁之间设置一个增强反射腔，内部采用多级反射镜对光源进行多...
    2026-03-21
  • 一种基于3D打印的新型离子迁移谱仪
    一种基于3D打印的新型离子迁移谱仪_中国科学院大连化学物理研究所_202511879477.6
    本发明提供一种基于3D打印的新型离子迁移谱仪，涉及离子迁移谱分析技术领域，包括电离源、外筒、3D打印绝缘骨架、金属电极环、离子门栅网、屏蔽栅网和法拉第盘等，其中3D打印绝缘骨架采用复杂结构一体化成型，减少了制造成本，减少了组装误差，有效的提...
    2026-03-21
  • 一种基于软电离技术的质谱离子源装置
    一种基于软电离技术的质谱离子源装置_江苏谱策科学仪器有限公司_202511772473.8
    本发明涉及一种基于软电离技术的质谱离子源装置，包括依次连接的紫外灯、第一电极、第二电极、第三电极、第一透镜、第二透镜、第三透镜、偏转电极、与第三电极固定连接的固定座，所述偏转电极的离子输出侧设有板体或罩体，所述板体和罩体上均开设有狭缝。本发...
    2026-03-21
  • 一种具备高效散热能力的VUV灯电离源装置
    一种具备高效散热能力的VUV灯电离源装置_中国科学院大连化学物理研究所_202511840008.3
    本发明涉及分析仪器电离源技术领域，特别是涉及一种具备高效散热能力的VUV灯电离源装置。该装置包括VUV灯、散热单元、VUV灯驱动电极、驱动电路和离子引导聚焦单元。散热单元通过风扇对VUV灯及脉冲变压器协同散热，解决温升导致的信号衰减与器件老...
    2026-03-21
  • 多反射质谱仪
    多反射质谱仪_塞莫费雪科学(不来梅)有限公司_202511287719.2
    一种多反射质量分析仪，包括一对相对设置的离子光学镜，所述离子光学镜沿居中延伸穿过质量分析仪的纵轴线性地拉长，同时所述离子光学镜彼此大致平行排列，并且一个或两个离子光学镜由一系列间隔开的电极组成。每个电极沿纵轴拉长。所述一系列电极在横切于纵轴...
    2026-03-21
  • 利用地聚合物碱激发材料的电极和电池
    利用地聚合物碱激发材料的电极和电池_武汉理工大学_202511695806.1
    本发明公开了一种利用地聚合物碱激发材料的电极材料，将粉磨后的地聚合物粉体、过渡金属氧化物粉末、导电剂按质量比(3~100)：(3~30)：2均匀混合得到正极混合物；所得正极混合物与溶剂和碱激发剂充分混合得到电极浆料，在模具中水化反应成型得到...
    2026-03-21
  • 用于形成电极板接线片图案的设备和方法
    用于形成电极板接线片图案的设备和方法_三星SDI株式会社_202511258698.1
    公开了用于形成电极板接线片图案的设备和方法。该设备包括：传送部分，被配置用以在第一方向上传送涂覆有活性物质的电极板；第一图案形成部分，被配置用以在电极板上形成第一接线片图案；以及第二图案形成部分，被配置用以在电极板上形成与第一接线片图案间隔...
    2026-03-21
  • 电极干燥装置
    电极干燥装置_三星SDI株式会社_202511303268.7
    本公开涉及一种电极干燥装置，包括：外壳单元；电极传送单元，被配置以在第一方向上在外壳单元的内部传送电极；空气供应单元，被配置以将空气供应至外壳单元中；以及光源单元，设置在电极与空气供应单元之间。根据本发明，与利用高温的热空气干燥电极的传统干...
    2026-03-21
  • 一种苯四甲酸锂包覆的高镍正极材料及其制备方法和应用
    一种苯四甲酸锂包覆的高镍正极材料及其制备方法和应用_山东海化集团有限公司_202511636873.6
    本发明提供一种苯四甲酸锂包覆的高镍正极材料及其制备方法和应用，属于锂离子电池正极材料的制备技术领域。本发明通过将高镍三元前驱体与氢氧化锂混合，在纯氧气氛下分段烧结，得到高镍正极材料；将高镍正极材料加入到均苯四甲酸与乙二醇的混合溶液中，搅拌反...
    2026-03-21
  • 一种利用激光加热极片的方法及系统
    一种利用激光加热极片的方法及系统_安徽得壹能源科技有限公司_202511732877.4
    本发明公开了一种利用激光加热极片的方法及系统，方法包括以下步骤 : 获取待加热极片图像并对图像进行处理，识别极片的总宽度、涂覆区的宽度以及留白区的宽度，以确定涂覆区和留白区的位置；利用连续激光器结合激光整形装置形成与涂覆区尺寸匹配的光斑对涂...
    2026-03-21
  • 一种带有支撑框的正极片的制备方法和全固态电池
    一种带有支撑框的正极片的制备方法和全固态电池_中国第一汽车股份有限公司_202511782252.9
    本申请提供一种带有支撑框的正极片的制备方法和全固态电池，涉及电池制造技术领域。制备方法包括：制备支撑框浆料，并通过正极间歇涂布的方式在正极料区四周增加空箔空间，通过涂布边涂的方式将所述支撑框浆料设置在纵向料区的两侧；放卷后进行横向点胶和干燥...
    2026-03-21
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