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一种高密度的电极线路的制作方法
本发明属于集成电路技术领域,提供了一种高密度的电极线路的制作方法。本发明先取已完成开通孔的基板,在正反两面分别沉积Ti种子层,接着利用在相对高气压环境中具有高散射特点的等离子体轰击的方式,减薄基板表面的Ti种子层,高散射的palsma深孔轰...
一种晶圆测试设备及控制方法
本发明提供了一种晶圆测试设备及控制方法,涉及晶圆测试技术领域。本发明通过抓取机构分别从热沉料仓和晶圆料仓中抓取热沉和被测晶圆,并将热沉和被测晶圆放置在上下料机构的承载平台上,实现了被测晶圆和热沉的自动上料和下料。本发明还将装拆机构安装在晶圆...
一种热沉和晶圆的上下料装置
本发明提供了一种热沉和晶圆的上下料装置,涉及晶圆测试技术领域。本发明中承载平台具有用于承载热沉的承载结构,承载结构还设有缺口。推动机构安装于缺口处,且包括传动连接的第一驱动件和推杆,在第一驱动件的驱动下,推杆朝靠近热沉的方向移动,并推动热沉...
一种晶圆分选方法、系统、存储介质及电子设备
本发明提供一种晶圆分选方法、系统、存储介质及电子设备,该方法包括:获取实物扫描图档和晶圆坐标数据档,并将二者进行对点合图,以生成合成图档;将合成图档输入分选软件,根据合成图档生成实物扫描图页面、晶圆坐标数据页面、合成图页面,并生成细节图页面...
基板的填孔方法、基板和电子设备
本申请提供一种基板的填孔方法、基板和电子设备,涉及电子元器件技术领域,在对基板的通孔进行填孔的过程中,减少基板的表面存在的金属,降低对制作导电线路的影响。该方法包括:提供一基板,基板具有第一表面,及贯穿基板的通孔;在第一表面形成绝缘掩膜,绝...
薄膜缺陷的返工方法及SGT结构的制作方法
本发明提供一种薄膜缺陷的返工方法及SGT结构的制作方法,薄膜缺陷的返工方法包括对沉积有薄膜缺陷的薄膜进行化学机械研磨处理,所述薄膜缺陷包括成膜颗粒缺陷。进一步的,本发明提供的SGT结构的制作方法,在沉积多晶硅填充第一沟槽和/或第一沟槽以形成...
一种有效清洗去除碳化硅晶片表面硼元素残留的方法
本发明公开了一种有效清洗去除碳化硅晶片表面硼元素残留的方法,包括以下步骤:将碳化硅晶片转移至PFA卡塞上,进行上料;将碳化硅晶片进行SPM药液浸泡;将碳化硅晶片转移至纯水槽中;将碳化硅晶片进行APM药液浸泡;将碳化硅晶片转移至纯水槽中;至少...
一种用于降低背面缺陷的双抛外延工艺
一种用于降低背面缺陷的双抛外延工艺,先将硅片背面抛光后生长一层LTO层,然后将硅片正面抛光后对硅片进行RCA清洗,清洗后对硅片正面进行外延处理,外延处理后经目检、FTIR以及ADE后,依次采用HF清洗和RCA清洗。本发明用于大幅度提高双抛外...
一种提高空间分辨率的微通道板
本发明公开了一种提高空间分辨率的微通道板,包括输入电极、倍增通道和输出电极;所述的输入电极位于倍增通道的输入端,所述的输出电极位于倍增通道的输出端,其中:所述的输入电极为镍铬电极;所述的倍增通道采用具备二次电子发射性能的含铅玻璃;所述的输出...
一种样品密封转移装置及方法
本发明实施例公开了一种样品密封转移装置和方法,应用于扫描电子显微镜,该密封转移装置包括密封转移腔、密封组件和样品转移组件;密封转移腔的第一侧的表面开设有第一窗口和第二窗口,第二侧的表面开设有物料口;第一侧和第二侧相对设置;密封组件包括第一升...
一种用作超级电容器的稻壳电容炭的制法及稻壳电容炭的用法
本发明公开了一种用作超级电容器的稻壳电容炭的制法及稻壳电容炭的用法,稻壳电容器的制法包括:(1)原料预混,将稻壳炭化料、低灰分沥青,活化剂进行破碎与混合,得到预混料。(2)活化造孔,将预混料活化处理,得到活化料;(3)酸洗除杂,将活化料依次...
一种电容器及其运行控制电路
本发明公开了一种电容器及其运行控制电路,用于充放电电路,涉及电容器技术领域,其中,多个受控开关与多个电容芯子连接形成串联和并联结合的电容结构;本发明通过充放电监测模块,用于监测所述电容器的充放电状态,并在确定所述电容器放电完成时,输出放电结...
一种电容器及其芯子控制电路
本发明公开了一种电容器及其芯子控制电路,涉及电容器技术领域,本发明实施例通过不断地监测和控制第二开关的导通或截止,可以实现第二电容器芯子与第一电容器芯子的不同组合,实现步进式微调,将第一电容器芯子的实际电容值与标定电容值的差值保持在预设精度...
一种变压器生产引线装配装置及其装配方法
本发明公开了一种变压器生产引线装配装置及其装配方法,涉及变压器生产技术领域,包括套筒和限位组件,所述套筒一侧设置有限位组件,所述限位组件包括插槽,所述套筒外壁开设有插槽,且插槽内设置有限位板,所述限位板一侧连接有螺纹套,且螺纹套内侧螺纹连接...
一种电感压制成型模具
本发明涉及一种电感压制成型模具。该电感压制成型模具包括上模、下模及中模,上模包括上型盖板及上型件,下模包括下型盖板及下型件,上型盖板设有上型通孔,下型盖板设有下型通孔,中模设有型腔;上型件包括第一上型部、第二上型部、第三上型部以及第四上型部...
整合式共模电感器及具有该电感器的交换式电源转换器
一种整合式共模电感器及具有该电感器的交换式电源转换器,包括铁芯、第一绕组、第二绕组以及第三绕组。铁芯包括中心导磁体、第一边柱导磁体与第二边柱导磁体。第一绕组绕设于第二边柱导磁体上,且绕设于第一边柱导磁体。第二绕组绕设于第二边柱导磁体上。第三...
一种用于变压器的散热机柜
本发明公开了一种用于变压器的散热机柜,包括柜体、转动件、盛放件、搅拌件、过滤机构和加热机构;本发明过滤机构对空气中的灰尘进行过滤,减少进入到柜体内部的灰尘,保证变压器的散热效果;盛放有干燥剂的盛放件转动到正对进风管结构的位置,干燥剂对空气中...
一种防水型的电压互感器及灌封方法
本发明公开了一种防水型的电压互感器及灌封方法,属于技术领域。本发明电压互感器的外壳上设置有动态平衡阀,且外壳之间的密封处,采用纳米疏水涂层与密封圈的组合型密封。本发明的电压互感器通过动态平衡阀及外壳之间的密封,能够使设备防水,确保设备在侵水...
一种静电卡盘专用导电浆料及其制备方法和应用
本发明涉及一种静电卡盘专用导电浆料及其制备方法和应用,所述导电浆料包括如下质量百分比的制备:钨粉80~85%、氧化钕0.4~0.8%、氧化铝1~1.5%、二氧化硅1~1.5%、有机载体10~16%、分散剂1.5~2.8%。本发明导电浆料通过...
基于文本情感计算的对话内容情景适配性智能评价方法
本发明公开了一种基于文本情感计算的对话内容情景适配性智能评价方法,属于对话情感检测技术领域。方法包括:语料库构建与情境标注阶段:由专家系统运用多层标注体系,对语料库的对话标注场景标签;情感计算模型构建阶段:采用KL散度与余弦相似度双指标评估...
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