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  • 本申请公开了一种用于真空镀膜设备的离子源控制方法,涉及真空镀膜设备技术领域,该方法包括:获取镀膜关键参数,并基于镀膜关键参数,得到等离子体能量偏差与等离子体浓度偏差;镀膜关键参数至少包括:等离子体状态参数、环境干扰参数和真空镀膜设备运行参数...
  • 本申请涉及光学元件镀膜技术领域,具体公开了一种光学元件镀膜装夹装置及转运装置,装夹装置包括卡盘主体和非接触式装夹机构,卡盘主体设有径向位置可调的夹持机构,以适配不同尺寸的光学元件;非接触式装夹机构通过支撑杆连接支撑座与工件固定板,使光学元件...
  • 本发明公开了一种基于镁离子注入铁的改性涂层的制备方法,包括:将基体预处理后固定于离子注入机的靶盘上,将超纯镁靶材安装在离子注入机中,真空环境下设置离子注入参数,进行离子注入后在基体表面形成所述改性涂层,该制备方法简单环保、工艺参数精确可控,...
  • 本发明公开了一种高熵纳米合金薄膜及其制备方法,属于表面工程材料技术领域,包括:对衬底进行清洗和烘干;将衬底置于磁控溅射装置的真空腔体内,将TiVCrZrW靶材和C靶材安装在磁控溅射装置的靶位上;向真空腔体内通入Ar溅射气体,调整工作电流进行...
  • 本发明公开了一种半导体芯片铜互连封装结构及其制备方法,涉及半导体芯片技术领域。包括以下步骤:步骤1:将蚀刻晶圆表面依次进行溅射沉积铜、等离子体原子层沉积铜,形成铜种子层,得到晶圆A;步骤2:将晶圆A置于铜电镀液中,电镀铜,得到铜互连封装结构...
  • 本发明涉及一种提高带锯条真空镀膜质量的镀膜设备,包括镀膜腔室内设置的用于安装靶材的弧源座,弧源座和用于夹装待镀膜锯盘的夹具相对应布置,锯盘由卷绕成圆盘状的带锯条组成,弧源座口部的中心线和夹具的中心线相平行或重合布置,磁偏转装置位于夹具和弧源...
  • 本发明公开了一种用于固态电池的梯度功能化微孔铜箔及其制备方法,涉及固态电池制造技术领域。本发明核心技术方案包括:1.采用PLA与PBS共混体系,掺杂纳米黏土及马来酸酐接枝PLA作为原材料,经熔融挤出、双向拉伸、热定型制备基膜;2.对基膜进行...
  • 本发明涉及半导体材料领域,尤其是一种磁控溅射氧化镓薄膜的制备方法,针对现有技术中的氧化镓薄膜制备方法结晶度低、探测器响应度与响应速度相互制约和暗电流大的问题,现提出如下方案,其包括以下步骤:S1、靶材制备;S2、基片处理,将蓝宝石基片超声清...
  • 本发明公开了一种防脱落的铝镀层集流体及其制备方法、极片和电池,制备方法包括以下步骤:S1:对待镀金属基底进行打磨处理;S2:在待镀金属基底表面制备中间过渡层;S3:在待镀金属基底的中间过渡层表面电镀制备复合铝镀层;S4:进行退火后处理;S5...
  • 一种复合燃料棒包壳的制造方法及复合燃料棒包壳,属于核电领域。复合燃料棒包壳的制造方法包括以下步骤:以热中子宏观吸收截面小于10靶恩的稀土元素氧化物粉体与SiO22粉体按对应的稀土硅酸盐成分比例混合得到混合粉体,将混合粉体热压烧结为靶材;对S...
  • 本发明涉及先进有色金属材料领域中的热管理材料,具体公开了一种电子封装散热用金刚石/铜复合材料及其制备方法。所述金刚石/铜复合材料中金刚石和铜通过碳化物连接,碳化物层厚度小于50nm,金刚石粒径为300~500μm,金刚石体积占比为35~50...
  • 本发明公开了一种氧化锆靶材及其制备方法和应用,属于粉末冶金技术领域,以高纯电熔氧化锆为原料,利用固相法添加氧化钇作为稳定剂,通过一次球磨、煅烧、二次球磨、冷等静压、烧结、退火得到电熔氧化锆靶材,本发明制备的靶材成本低、杂质含量低,使用过程不...
  • 本发明公开了一种提高铝合金活塞耐磨性的方法及制备的活塞零件,属于机械制造技术领域。其技术方案为:通过物理气相沉积技术对活塞表面进行涂层处理以制备具有良好耐磨性的铝合金活塞,结合了AlMo、AlMoB、MoO33三种材料以及多层复合结构的优点...
  • 本发明提出了一种低各向异性粗糙度的钛箔双极板基材及其筛选方法,包括以下步骤:测量待选钛箔基材表面沿轧制方向RD的粗糙度RaRDRD和垂直轧制方向TD的粗糙度RaTDTD;计算RaTDTD与RaRDRD的比值;遴选同时满足RaRDRD≤65n...
  • 本发明公开一种多元素共掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法,所述薄膜材料为Bi1‑x1‑x(La0.20.2Nd0.20.2Sm0.20.2Gd0.20.2Lu0.20.2)xxFeO33,其中x=0.05、0.1、0.14、0.2。本发明采用...
  • 本发明涉及用真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆领域,尤其涉及一种用于制造光学镜片的镀膜工艺。镀膜工艺包括:对基材和真空室进行准备,准备内容包括:在基材放入真空室之前,采用离子清洗源对基材进行包括清洗和去静电的预处理;调...
  • 本发明题为“用于金属化装置的蒸发舟”。在一个方面,本发明提供蒸发舟,所述蒸发舟在一些实施方案中表现出对因暴露于熔融金属(包括铝)中而造成的腐蚀以及相关性能劣化的耐受性。本文所述的蒸发舟包括主体和蒸发器表面,所述主体包括氮化硼(BN)组分和T...
  • 本发明属于金属镀膜技术领域,具体涉及一种导电耐蚀的显卡膜层及其镀膜方法。导电耐蚀的显卡膜层的镀膜方法包括以下步骤:步骤一、制备钛铝合金靶材:所述钛铝合金靶材的原料包括钛粉、铝粉、Cr粉和V粉;步骤二、镀膜:使用钛铝合金靶材在显卡支架表面进行...
  • 本发明公开了一种用于甲醇汽车发动机表面改性的梯度多级多层B掺杂碳薄膜及其制备方法,属于表面处理技术领域。该梯度多级多层B掺杂碳薄膜包括用于在甲醇汽车发动机金属部件表面依次设置的Cr打底层、CrC过渡层、CrxxByyCzz梯度过渡层以及B掺...
  • 本发明公开了一种多层纳米耐蚀涂层、加长锚杆螺母及其在矿井下的应用,该螺母结构上采用非对称弧面楔形斜面与圆角螺纹牙型设计,通过将轴向振动能量转化为径向自锁分力,实现主动式防松,并显著降低应力集中,抑制疲劳裂纹萌生。螺母表面沉积有多层纳米耐蚀涂...
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