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一种光声检测系统及激光光斑校准方法
本发明涉及光声测量技术领域,具体提供一种光声检测系统及激光光斑校准方法,在现有膜厚光声测量装置中增设显微镜等光学器件对光路不同位置处的光斑特征参数进行数据采集,根据光斑影像获取泵浦光和探测光的光斑抖动幅值和抖动频率,通过主动调节光束调节器,...
一种薄膜厚度的检测方法及装置
本发明公开了一种薄膜厚度的检测方法及装置。薄膜厚度的检测方法包括:获取薄膜表面探测光的反射率随时间变化的数据,形成实验波形;建立理论回波模型,理论回波模型通过设置并调整可调参数,计算得到多个薄膜表面探测光的反射率随时间变化的理论波形;将实验...
测高方法、打标方法、系统、存储介质及程序产品
本申请公开了一种测高方法、打标方法、系统、存储介质及程序产品,涉及激光打标技术领域,包括:通过激光器发射第一激光,向被测物体表面投射预设第一数量的第一光斑;通过单目相机对第一光斑进行拍摄,得到第一光斑的中心在相机坐标系中的第一像素坐标;确定...
一种绝对光栅传感器
本申请公开了一种绝对光栅传感器,包括光源模块,用于产生部分相干光;光栅模块,包括设于所述光源模块出光路径的光栅尺,以将部分相干光调制为特征化条纹图样;光栅尺上交替设有多个透光单元和遮光单元,每个透光单元与其单侧相邻的遮光单元之间形成缝隙间隔...
一种激光位移传感器反装实时监测方法、介质及系统
本发明公开了一种激光位移传感器反装实时监测方法、介质及系统,方法包括步骤:S1、获取激光位移传感器的输出数据,检测输出数据的关键变量的完整性,并筛选满足预设功率阈值的有效数据;S2、基于步骤S1的有效数据,提取零通道与各采样通道的位移数据,...
基于外腔步进的EFPI传感器腔长确定方法及系统
本发明实施例公开了基于外腔步进的EFPI传感器腔长确定方法及系统。方法包括:控制步进机构以固定步长逐步移动反射面,每步进一次记录相应的干涉光谱数据;对干涉光谱数据进行FFT分析,提取主频率成分并计算对应的自由光谱范围,以得到FSR值;根据F...
一种裁床裁刀状态检测方法及装置
本发明属于裁床的技术领域,涉及一种裁床裁刀状态检测方法及装置,所述方法基于一检测系统实现,所述方法包括裁刀刀宽检测:S1‑1、控制所述砂柱磨刀机构推进,以使裁刀相对于所述对射式传感器组移动,通过所述对射式传感器组实时检测其光路是否被所述移动...
一种小角度法全自动监测系统及监测方法
本发明公开了一种小角度法全自动监测系统及监测方法,属于水利水电工程安全监测技术领域。该系统包括控制主机、总控制器、两台自动跟踪全站仪和多个可旋转棱镜机构,所述总控制器、两台所述自动跟踪全站仪分别与控制主机通讯连接,多个所述可旋转棱镜机构均与...
一种飞机发动机自动装配设备的位姿标定装置及方法
本发明涉及飞机装配技术领域,公开了一种飞机发动机自动装配设备的位姿标定装置及方法,位姿标定装置包括调姿平台上的第一测量标定靶球、飞机机体上的视觉识别靶标及靶标上的第二测量标定靶球,两靶球外均有靶球定位机构。定位机构有定位基座和定位罩,定位罩...
基于视觉感知的自由锻件在线尺寸检测与反馈方法及系统
本发明公开了基于视觉感知的自由锻件在线尺寸检测与反馈方法及系统,涉及自由锻件加工检测技术领域,包括:获取目标锻件对应的第一图像数据、热场数据以及光学观测数据;根据热场数据与预设的折射率映射关系生成表示第一图像数据中各像素点预期位移矢量的偏移...
一种基于智能控制的激光器辅助定位系统及方法
本申请提供了一种基于智能控制的激光器辅助定位系统及方法,通过采集目标定位区域表面反射的偏振图像;根据偏振图像中各个偏振子图像的偏振态分布和空间畸变特征生成激光器投射过程中多维的特征描述矩阵;依据多维的特征描述矩阵识别出的不同偏振通道下激光投...
基于背面基准的正面测量元素评价方法、设备及介质
本发明涉及精密机械技术领域,提供一种基于背面基准的正面测量元素评价方法、设备及介质,控制相机根据所述基准点和的二维坐标建立背面坐标系,测量并获得在背面坐标系的第一坐标和在背面坐标系的第二坐标;控制待测产品进行翻转;控制相机机器坐标系测量并获...
一种汽车座椅五金冲压件成型尺寸自动化检测方法及系统
本申请涉及光学计量技术领域,具体涉及一种汽车座椅五金冲压件成型尺寸自动化检测方法及系统,该方法包括:采集汽车座椅五金冲压过程中工件的三维点云数据集和应变数据;利用每个数据采集时刻应变数据、三维点云数据集与标准点云数据集之间的异常偏差特征,获...
一种基于视觉的晶圆尺寸检测装置
本发明公开了一种基于视觉的晶圆尺寸检测装置,旨在解决现有晶圆直径检测中旋转倾斜、中心偏移导致的精度低、检测时间长及硬件疲劳影响的问题。该装置包括成像模块,含至少三个面阵相机、适配远心镜头、可调节滑轨及背向光源、标定模块,含棋盘格标定板及映射...
基于点激光的螺纹在线测量装置及测量方法
本发明提供了一种基于点激光的螺纹在线测量装置及测量方法,包括:激光发射模块安装于多轴运动平台上,通过多轴运动平台实现激光束对螺纹轮廓的螺旋扫描;螺纹定位工装兼容不同规格螺纹工件,用于确保被测工件在测量过程中不发生位移或变形;数据采集系统集成...
一种基于激光测量的精密影像测量设备及方法
本发明公开了一种基于激光测量的精密影像测量设备及方法,涉及激光测量领域,所述测量设备包括:多轴运动平台、测量探头和控制系统;所述测量探头,为可深入被测内腔的探针状结构,安装在所述多轴运动平台的Z轴末端,内部集成有:共焦激光传感器和侧向显微视...
一种大角度晶片边参考界面精度测量装置及使用方法
本发明公开了一种大角度晶片边参考界面精度测量装置及使用方法,属于半导体晶片测量技术领域,其包括基准平台;参考基准平面垂直设置于基准平台的一侧;安装于基准平台上,且自动升降平台的一侧与参考基准平面铰接,另一侧与基准平台之间设置顶升机构,通过顶...
一种空间多自由度位姿视觉超精密测量系统与方法
本发明公开了一种空间多自由度位姿视觉超精密测量系统与方法,该系统主要由多目成像系统和位姿测量算法组成,在多目成像系统中,镜头选择低畸变的远心镜头,辅助工业相机分布在主工业相机周围,从而差分成多组双目系统,以扩大测量范围,在位姿测量算法中,将...
一种高精度的风洞洞体测量的方法
本发明提供一种高精度的风洞洞体测量的方法,属于风洞洞体测量技术领域,本发明通过启动与传感器数量匹配的CUDA流,建立三层子线程网格分别执行数据预处理、空间几何重构和几何参数计算,采用基于ViT架构的三维点云重构网络实现精确的洞体三维建模,将...
一种模拟指针式数显比较仪
本发明公开了一种模拟指针式数显比较仪,包括夹持套筒和表壳体,夹持套筒中部贯穿设置有可沿其轴向移动的测杆;测杆的第一端延伸至表壳体内部,测杆的第二端延伸至夹持套筒的外部并套设有测量头;测杆的第一端固定连接有光栅尺;表壳体内部固定设置有电路板;...
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