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  • 本发明公开了一种晶圆边缘区域测量装置及方法,该装置包括:第一光路结构,用于从正面照明晶圆边缘的第一待测区域,第一待测区域包括EBR的铣边线;第二光路结构,用于从背面照明晶圆边缘的第二待测区域,第二待测区域包括边缘顶点,且第二待测区域与第一待...
  • 本发明涉及边坡工程监测工程技术领域,特别涉及高速公路边坡病害线性位移的监测预警方法及系统,用于解决现有技术中关于高速公路边坡病害监测现有方式对于图像的依赖性大,导致配置设备及系统部件多的技术问题,具体包括:选取预定的监测边坡区域进行监测测量...
  • 本申请提供一种基于多源数据融合的弱电管线沉降监测系统。该系统包括包括:地面传感器阵列,包括多个光纤光栅静力水准仪、应变传感光缆与多个MEMS三轴加速度计,依次用于采集水平位移、形变应力和垂直沉降量;卫星遥感模块,包括合成孔径雷达模块和GNS...
  • 本发明属于微机电系统技术领域,具体提供了一种MEMS惯性器件,包括依次堆叠键合的电路层、器件层和盖帽层;所述电路层与所述盖帽层之间合围形成有电路区;所述盖帽层设有多个第一凹槽;多个所述第一凹槽的底部均沉积有吸气剂层;多个所述第一凹槽与所述电...
  • 本申请提供一种轨迹校正方法、装置、设备及介质,其中,该方法包括:从目标对象的惯导轨迹上确定位于目标时间窗口中的多个目标惯导轨迹点,通过变换矩阵对各个目标惯导轨迹点进行变换得到变换轨迹点,确定变换轨迹点相对于目标对象的估计轨迹点的匹配误差,按...
  • 本发明提出了一种基于动态网格地图的视觉语言导航方法及系统,属于导航技术领域;包括:采用CLIP模型提取RGB全景图像的视觉语言特征;将视觉语言特征和深度图像的深度特征与网格单元的绝对坐标结合,构建网格地图;并根据网格单元与导航指令的语义相关...
  • 本发明公开了一种自适应调节智能载人移动机器人的控制方法,涉及载人移动机器人控制技术领域,该方法包括以下步骤:S1、建立地图模型和在地图模型中进行主路径规划;S2、将姿态数据结合图像数据对移动方向的斜坡进行定位分析;S3、将机械参数结合路面状...
  • 本发明公开一种多普勒计程仪标校惯性传感器的方法及系统,涉及水下组合导航技术领域,包括:根据IMU观测数据和DVL观测数据得到IMU预积分因子和DVL速度残差因子;将陀螺仪和加速度计的初始状态的先验信息作为先验因子,以先验因子、IMU预积分因...
  • 本发明提供基于FP‑WGM复合微腔的双参数光纤传感器及其制备方法,涉及光纤传感技术领域。该双参数光纤传感器包括:环形器、复合微腔柱、左锥形光纤和右锥形光纤;其中所述复合微腔柱包括串联熔接的:前端单模光纤C、空芯光纤B和后端单模光纤A;所述环...
  • 本发明公开了一种电气柜安全状态的智能监测与预警系统,属于电变量测量技术领域,其包括数据采集模块,用于获取电气柜的多源传感数据,多源传感数据包括电流波形参数、红外温度分布参数和机械振动频谱参数;健康特征评估模块,用于利用多源传感数据,生成电气...
  • 本发明公开了一种镀膜玻璃检测装置,涉及镀膜玻璃检测技术领域。具体包括:底座,底座的顶部沿长度方向分别对称设置有两个检测台,底座的顶部设置有外壳,外壳的两端分别开设有进口与出口,检测台位于外壳内,检测台的顶部间隔设置有若干个滚珠一;底座的顶部...
  • 本发明涉及图像数据处理技术领域,更具体地,本发明涉及基于红外热成像的体温异常检测方法,所述方法包括:首先,使用CLAHE算法按照不同分块尺寸对初始图像进行增强处理;然后,计算每个分块尺寸下增强图像中各像素点的方向一致度,并通过近邻范围内像素...
  • 本申请涉及压力传感器芯片技术领域,尤其涉及一种低应力硅基压力传感器芯片及加工方法,芯片包括:n型硅衬底、p型压力敏感电阻、钝化层、金属电极层以及键合件;p型压力敏感电阻设置在n型硅衬底顶部的电阻放置槽内;钝化层包括二氧化硅层和氮化硅层,二氧...
  • 本申请涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种低应力高温压力传感器芯片及加工方法,低应力高温压力传感器芯片包括碳化硅外延片、钝化层、金属电极层和碳化硅封接晶圆;碳化硅外延片中的n型碳化硅器件层、p型碳化硅隔离层和n型碳化硅衬底层由上到下依次连接...
  • 本申请公开了一种漏液检测装置、方法、电子设备、存储介质和程序产品,涉及散热技术领域,本申请使用基板管理控制器控制数模转换器输出基准电压的方式动态调节电压阈值,有效解决了漏液检测装置的灵敏度无法灵活调节,导致容易发生误告警或漏告警的问题,消除...
  • 本发明涉及氢燃料电池检测技术领域,具体是涉及一种氢燃料电池电堆气密性批量检测装置。包括输送机构和检测机构,所述输送机构具有多个承载位,每个承载位均设有能够同时容纳多个电池的下载体,所述检测机构包括上载体以及保压组件,在上载体与下载体闭合时,...
  • 本申请涉及一种液位测试台,属于检测设备技术领域。该测试台包括调节底座、设置于所述调节底座上的支撑台、设置于所述支撑台上且供产品安装的液位工装,所述调节底座由下到上依次包括第一调节组件和第二调节组件,所述第一调节组件和第二调节组件的调节方向垂...
  • 本发明公开了一种用于去除溶融液中草酸及草酸铁络合物的方法,该方法如下:S1、将含目标代谢小分子和草酸以及草酸铁络合物的溶液在不高于77K的低温下进行UV光照处理,随后放入dDNP谱仪中进行极化和溶融,得到溶融液;S2、向溶融液中迅速加入氢氧...
  • 本申请属于装配式结构技术领域,提供了一种分块夹心装配式混凝土试验构件及其施工方法。试验构件包括基础和构件主体;基础包含中基础部分、两个夹片边基础部分和两个拼接层,中基础部分位于构件主体下部并与构件主体相连,中基础部分与构件主体共同浇筑;两个...
  • 本发明涉及兼容SEM与CT的固体推进剂力学性能测试装置及方法,属于精密科学仪器与材料微观力学性能测试技术领域,解决现有技术因成像设备单一、图像质量因蠕变累积变差而导致的推进剂细观失效信息获取不完整、不准确的问题。在力学性能测试装置中,原位力...
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