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最新专利技术
  • 一种MEMS晶圆的信号过渡方式
    一种MEMS晶圆的信号过渡方式_黄山顺景科技有限公司_202511815945.3
    本发明公开了一种MEMS晶圆的信号过渡方式，包括MEMS晶圆和PCBA载体，MEMS晶圆的信号输出点连接有晶圆一次打线，晶圆一次打线远离MEMS晶圆的一端连接晶圆焊盘，MEMS晶圆、晶圆一次打线、晶圆焊盘的四周压合有封装物，晶圆焊盘处开设有...
    2026-04-16
  • 一种微纳功能器件及其制备方法
    一种微纳功能器件及其制备方法_苏州苏大维格科技集团股份有限公司_202610199233.1
    本发明公开了一种微纳功能器件及其制备方法。所述微纳功能器件包括基材层及设置在基材层上的结构层，结构层上设有图形化分布的凹槽，凹槽内包括至少一层致密层，所述致密层与凹槽共形，所述致密层的孔隙率小于10%。其制备方法包括：先在基材层上涂布胶层；...
    2026-04-16
  • MEMS器件及其制备方法
    MEMS器件及其制备方法_北京大学_202610170093.5
    本公开涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种MEMS器件及其制备方法，MEMS器件包括沿第一方向依次邻接的衬底、器件层及封帽层；衬底内包括沿第二方向交替排布的空腔凹槽、支撑柱；封帽层包括基片及沿第一方向贯穿基片的多个半导体柱，半导体柱与基片之...
    2026-04-16
  • 封装基板及其制备方法
    封装基板及其制备方法_北京大学_202610169802.8
    本公开涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种封装基板及其制备方法，封装基板包括衬底及相互隔离的两个隔离环；衬底包括相背的键合面及底面；两个隔离环沿垂直衬底的方向延伸并贯穿键合面、底面，在键合面上限定出顶面低于键合面的中部可动空腔，以及环绕两个...
    2026-04-16
  • 一种用于高精度二维光子晶体腔光力加速度计的真空热隔离封装结构
    一种用于高精度二维光子晶体腔光力加速度计的真空热隔离封装结构_电子科技大学_202511950725.1
    本发明公开了一种用于高精度二维光子晶体腔光力加速度计的真空热隔离封装结构，包括管壳底座、热电制冷器TEC、带有隔热槽的绝缘热沉、绝缘垫块、半导体激光器芯片LD、SOI基片、管壳围框和管壳盖板，在SOI基片上集成了加速度计传感器和片上光电探测...
    2026-04-16
  • 一种微机械结构器件、方法以及传感器
    一种微机械结构器件、方法以及传感器_星昱传感科技(嘉兴)有限公司_202511912843.3
    本申请公开了一种微机械结构器件、方法以及传感器，该器件包括具有器件区和密封区的衬底，密封区围绕设置于器件区外。释放层形成于密封区的一侧。至少一组谐振组件形成于器件区的一侧，并与释放层之间具有间距。信号端子形成于器件区的一侧，信号端子与释放层...
    2026-04-16
  • 一种键合结构、MEMS器件和键合方法
    一种键合结构、MEMS器件和键合方法_中芯集成电路(宁波)有限公司_202511824437.1
    本发明提供一种键合结构、MEMS器件和键合方法，其中，键合结构包括：第一晶圆，第一晶圆的表面设有凸起，凸起表面设有多个相互间隔设置的第一键合金属层；第二晶圆，第二晶圆表面与凸起对应位置设有多个相互间隔设置的第二键合金属层；第二晶圆与第一晶圆...
    2026-04-16
  • 一种微电子机械传感器及其制备方法
    一种微电子机械传感器及其制备方法_杭州士兰集昕微电子有限公司_202511724964.5
    公开了一种微电子机械传感器及其制备方法，微电子机械传感器包括：基底，所述基底中具有从基底的第一表面延伸至其内部的凹槽；第一介质层，覆盖所述基底的第一表面，并且覆盖所述凹槽的底部和侧壁；埋层，位于所述凹槽中，经由所述第一介质层与所述基底隔离；...
    2026-04-16
  • 一种MEMS压电器件
    一种MEMS压电器件_成都纤声科技有限公司_202610181595.8
    本发明提供一种MEMS压电器件，涉及半导体技术领域，包括电极层，电极层包括底电极和中电极，或者电极层包括底电极、中电极和顶电极，底电极和中电极之间、中电极和顶电极之间设置有压电层；当顶电极设置有通孔结构时，在层叠方向上，通孔结构的下方对应有...
    2026-04-16
  • 一种芯片封装结构及其封装方法
    一种芯片封装结构及其封装方法_麦克传感器股份有限公司_202511942486.5
    本申请公开一种芯片封装结构及其封装方法，属于微电子封装技术领域。该封装结构包括烧结基座和绝缘罩，烧结基座中的柯伐座承载面形状与芯片底部应力感应区适配且面积更小，柯伐座与基座胚料之间设绝缘层实现电绝缘；绝缘罩的限位孔用于容纳定位芯片并与柯伐座...
    2026-04-16
  • 自适应三维网型结构
    自适应三维网型结构_清华大学_202511770265.4
    本公开提出了一种自适应三维网型结构，其前驱体包括：多个径向延伸部，采用柔性聚合物制成，被配置成沿一圆形基准面的径向由外周向中心延伸，且具有预制的蜿蜒形态；多个环形延伸部，采用柔性聚合物制成，被配置成在径向上间隔分布，并将多个径向延伸部连接为...
    2026-04-16
  • 一种羽绒负压充绒房
    一种羽绒负压充绒房_坦博尔集团股份有限公司_202511788417.3
    本发明公开了一种羽绒负压充绒房，包括上绒模块、地吸模块、加湿模块、回绒模块、自动供袋与绒种识别模块、动态感应按需吸绒模块、精准加湿与分区调控模块、回绒分级与溯源模块及智能决策与联动控制模块；所述智能决策与联动控制模块分别与上绒模块、地吸模块...
    2026-04-16
  • 一种氨溶液药箱抽药装置
    一种氨溶液药箱抽药装置_华能甘肃能源开发有限公司范坪分公司_202511731175.4
    本发明公开了一种氨溶液药箱抽药装置，包括用于阻止氨气在抽药时扩散的连接组件；用于存储氨溶液的药桶；在运输时用于装载氨溶液的存储桶；所述药桶连接有连接管来与存储桶相互连接，所述连接组件套接于连接管上；所述连接组件设置于存储桶出口处，且所述连接...
    2026-04-16
  • 卸油系统
    卸油系统_中国航空油料有限责任公司成都分公司_202610098332.0
    本申请提供一种卸油系统。卸油系统包括卸油设备、感应开关及控制装置。卸油设备具有相应的复位位置，感应开关设置于复位位置，当卸油设备与复位位置之间的距离小于距离阈值时，感应开关闭合，当卸油设备与复位位置之间的距离大于等于距离阈值时，感应开关断开...
    2026-04-16
  • 一种鹤管末端执行器自主定位与对接控制系统及方法
    一种鹤管末端执行器自主定位与对接控制系统及方法_江苏君昱合流体设备科技有限公司_202511975348.7
    本发明公开了一种鹤管末端执行器自主定位与对接控制系统及方法，涉及流体装卸自动化技术领域，该系统包括：全局感知单元固定安装于鹤位上方，用于扫描罐车整体轮廓以获取车辆全局位姿数据；局部感知与执行单元集成于末端执行器，用于采集罐口区域图像与三维点...
    2026-04-16
  • 分布式自助加油设备
    分布式自助加油设备_正星科技股份有限公司_202512014909.3
    本发明公开了一种分布式自助加油设备，旨在解决现有自助加油机使用友好性差的技术问题。其包括设有计控面板的加油主机、分别与所述加油主机通过输油管对应连通的若干加油从机；所述加油主机内设有数量与所述加油从机数量相匹配的计控单元；所述加油从机包括移...
    2026-04-16
  • 一种基于地外天体密封罐的展开式记忆合金防尘漏斗
    一种基于地外天体密封罐的展开式记忆合金防尘漏斗_中国科学院空间应用工程与技术中心_202610108199.2
    本发明涉及一种基于地外天体密封罐的展开式记忆合金防尘漏斗，展开式记忆合金防尘漏斗包括环形基体、多片记忆合金片和防尘薄膜，环形基体轴向一端端面开设有环形插接槽，环形插接槽与环形基体同轴布置，多片记忆合金片依次间隔固定在环形基体的内环侧壁上，防...
    2026-04-16
  • 一种血液制品的注液设备
    一种血液制品的注液设备_华润博雅生物制药集团股份有限公司_202512030932.1
    本发明公开了一种血液制品的注液设备，包括工作台，其上横向的设置有输送台，所述输送台上设置有感应组件，所述感应组件用于感应其上的容器的位置；升降组件，其设置在所述工作台上，且所述升降组件位于输送台的顶部；所述升降组件具有两个伸缩端，其中一个伸...
    2026-04-16
  • 一种液体维生素预混合饲料用自动灌装设备
    一种液体维生素预混合饲料用自动灌装设备_江苏中牧倍康药业有限公司_202610182304.7
    本发明涉及自动灌装领域，具体为一种液体维生素预混合饲料用自动灌装设备，包括分装机构，用于混合液的分开或者统一灌装处理；换头机构，用于注入料液和清理料液的转换处理；液压杆，用于驱动所述分装机构向下移动，以使料液灌装得以进行；杆座，所述杆座的中...
    2026-04-16
  • 人源性制剂无菌分装系统及方法
    人源性制剂无菌分装系统及方法_河南方舟医疗器械有限公司_202610163035.X
    本发明属于人源性制剂无菌分装系统及方法；包括若干个人源性制剂分装瓶，若干个人源性制剂分装瓶之间采用连接软管串联连接，前一人源性制剂分装瓶的出口通道与后一人源性制剂分装瓶的进口通道相连；首端人源性制剂分装瓶的进口通道通过连接软管与穿刺套件相连...
    2026-04-16
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