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  • 本发明公开了一种缺陷检测设备及检测系统,包括:夹持装置,包括用于夹持晶圆的夹持机构和驱动夹持机构升降的Z轴模组;第一检测装置,位于夹持装置下方,包括视觉机构和驱动视觉机构移动的第一X轴模组,视觉机构包括安装架、设置于安装架上的相机模组和光源...
  • 本申请提供的一种光学系统及方法,通过设置于入射光照射至待检测晶圆边缘的光路中的照明数值孔径调节装置,根据待检测晶圆边缘上的感兴趣区域调整照明数值孔径以实现分辨率的调整,该技术方案通过引入可调节的孔径装置,通过孔径装置控制照明数值孔径,利用照...
  • 本发明公开了一种基于视觉检测的电芯贴胶用褶皱气泡检测机,涉及电芯贴胶视觉检测技术,包括检测机本体,以及固定安装于检测机本体正面的操作面板;还包括:所述检测机本体的上方设置有检测机构,且检测机构包含有检测相机组件,并且检测相机组件与上方的传输...
  • 本申请提供了一种应用于晶圆检测的空气净化设备和晶圆检测系统,包括机架和送风部,机架内设置有外防护腔、光路腔和检测腔,光路腔和检测腔设置在外防护腔内,送风部分别与外防护腔、光路腔和检测腔相连通,以分别向外防护腔、光路腔和检测腔内通入气流,检测...
  • 本发明涉及集成电路检测技术领域,其公开了一种集成电路用视觉检测设备,包括机架,机架上设置有供料组件、悬挂组件以及视觉检测组件,悬挂组件包括设置在机架上的固定上座,固定上座上设置有悬挂座以及用于驱使悬挂座发生移动的直线模组二,悬挂座的移动方向...
  • 本发明涉及滚珠丝杠技术领域,具体为一种针对重载滚珠丝杠表面损伤与变形的在机测量装置,包括滚珠丝杠,在所述滚珠丝杠上安装有丝杠螺母,所述丝杠螺母通过法兰盘连接测量端底座,在所述测量端底座的上端转动连接有测量端承载部,在所述测量端承载部上安装有...
  • 本发明涉及土工膜焊接技术领域,公开了一种HDPE土工膜焊接工艺及质量检测方法,包括:焊接过程动态控制步骤,多模态质量检测步骤,以及质量判定与定位步骤。本发明,通过焊接过程的实时监测与动态闭环控制,从源头上提升了焊缝形成的均匀性与一致性,有效...
  • 本发明公开了一种光纤缺陷检测设备,本光纤缺陷检测设备包括机架;检测机构,检测机构设置在机架上,光纤穿设在检测机构中,检测机构包括有第一检测工位和第二检测工位,第一检测工位包括第一光源和第一视觉检测件,第一视觉检测件用于拍摄光纤在背光状态下的...
  • 本发明属于PVC薄膜生产技术领域,具体为一种PVC薄膜外观瑕疵检测设备,包括机身,机身的内部设置有上料辊,上料辊的一侧于机身的内壁上转动设置有开幅辊,开幅辊的外圆面上对称滑动设置有开幅拨片,开幅拨片的外表面设置有增效槽,开幅拨片能够相互交错...
  • 本发明公开了一种基于线激光的焊缝缺陷扫描装置及其使用方法,属于焊缝检测技术领域,包括工作台,所述工作台其顶面所开设的槽内设有齿条,所述工作台顶端设有夹持组件,所述工作台顶面设有焊接组件,所述焊接组件一侧设有扫描组件,所述扫描组件包括安装杆,...
  • 一种斜拉索可视化监测与超声波除冰系统,包括索体(1)和护套管(2),其特征在于:所述索体(1)外表面的一侧与护套管(2)的内壁之间设置有滑动通道(3),滑动通道(3)内安装有一个或多个滑块(4),滑块(4)上安装有驱动缆绳(7),所述索体(...
  • 本公开提供了一种晶圆测试方法及装置。所述方法包括:获取载台上晶圆的扫描图像,所述晶圆包括多个晶粒;基于所述扫描图像,确定所述晶圆中的各个晶粒的状态,所述状态包括正常状态和异常状态;采用具有探针的检测设备对所述晶圆的各个晶粒进行测试,并在测试...
  • 本发明涉及晶圆检测技术领域,具体的说是一种晶圆蚀槽狭缝缺陷检测设备,包括支架、安装于支架上的转动机构、检测机构、下料机构、除尘机构、标记机构及其设于下料机构上的储存机构;所述滑板上开设有与下料口连通的放置口;在对晶圆缺陷检测的时候将晶圆码垛...
  • 本发明提供了一种球面镜表面检测装置及检测方法,该球面镜表面检测装置包括:检测成像单元用于获取球面镜的检测面图像;第二旋转组件包括用于固定球面镜并使球面镜的第二光轴与第一旋转轴线保持垂直的固定机构,以及驱动固定机构带动球面镜绕其第二光轴转动的...
  • 本发明涉及清洁度测试技术领域,公开了一种产品清洁度测试设备及充电保护方法,包括测试设备主体、摄像头、底板,所述测试设备主体与摄像头之间通过电线连接,所述底板的上端固定连接有底柱,所述底柱的上端设置有调整组件,所述调整组件的上端设置有安装杆,...
  • 本发明公开了一种波纹补偿表面缺陷检测装置及其方法,包括金属架,所述金属架的上端焊接有弹簧,使用时,将第一电动推杆与第二电动推杆驱动第一固定块与第二固定块插入工件端口,装夹后,将开启水泵向工件内注入清水,再启动加压泵输送高压气体模拟工件服役承...
  • 本申请公开核电管道内部液体渗透检测系统,包括移动平台和控制终端;移动平台上设置有位移驱动模块,移动平台前方设置有第一监测器,移动平台上部设置有机械臂,机械臂末端设置有执行模块和第二监测器,执行模块包括喷涂模块和擦拭模块,喷涂模块用于喷涂渗透...
  • 本发明公开了一种全开式烟盒的内部检测装置,涉及印刷品质量检测技术领域,包括机座一,所述机座一上安装有两个分别对全开式烟盒两端支撑的导轨,其中一个导轨外侧沿其轴线方向依次布设有与全开式烟盒抵拢的滚轮,另一个导轨的外侧设置有限制全开式烟盒盒盖的...
  • 本申请公开了一种极片检测装置及其检测方法、电池生产线,涉及电池生产设备技术领域,极片检测装置包括传输模块、张紧模块、照明模块、图像采集模块及图像处理模块;传输模块包括第一过辊和第二过辊,第一过辊和第二过辊被配置为传输极片;张紧模块设于第一过...
  • 本发明公开了一种基于视觉的工业现场产品表面缺陷检测装置,包括:支撑平台,其包括高度依次增加的第一至第三箱体;提升机,其支撑设置在第一箱体的一侧;振动输送机,其匹配设置在所述提升机的一侧;转动夹持机构,其可转动设置在第二箱体上;传送带;初检光...
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