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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本发明构思提供一种掩模处理装置及基板处理装置。该掩模处理装置可以包括:支承单元,其支承该掩模;及光辐照单元,该光辐照单元通过光辐照该掩模以调整形成于该掩模中图案的关键尺度,其中该光辐照单元包括产生该光的光源及光调制组件,该光调制组件调制由该...
  • 本申请公开了一种用于监控掩模版三维效应的对准标记及方法。其中,该用于监控掩模版三维效应的对准标记包括:至少一个标识单元;其中,所述标识单元包括多组标识棒对;所述多组标识棒对沿其对应的标识单元的扫描轴间隔排列,相邻组的标识棒对之间沿所述扫描轴...
  • 本实用新型公开了一种投影机镜头结构及投影设备,涉及投影设备技术领域,投影机镜头结构包括壳体,透镜组件以及反射镜组件,壳体具有进光口以及出光口,进光口和出光口错开设置,壳体内部形成有依次连通的三个光路通道,每相邻的两个光路通道的延伸方向相交,...
  • 本实用新型提供一种激光照射系统、激光加工系统以及曝光系统,能够抑制因掩模的自重造成的挠曲的影响而以高精度进行激光照射,而且也能够抑制灰尘向掩模面的附着。激光照射系统包括第一光学功能部与第二光学功能部,第一光学功能部包括激光光源,第二光学功能...
  • 本发明涉及一种耐刻蚀性复合硬掩膜的制备方法及其应用,包括以下步骤:S1、在待刻蚀的基底表面上旋涂负性光刻胶,经软烤后固化得到底层光刻胶层;S2、在底层光刻胶层上旋涂正性光刻胶,经软烤后固化得到顶层光刻胶层;S3、在顶层光刻胶层上覆盖具有预设...
  • 本发明提供了一种调焦调平装置及光刻机,扫描反射组件包括驱动单元及驱动单元,反射镜单元具有一个或至少两个周向分布的反射面,驱动单元通过驱动反射镜单元旋转以将投影光斑扫描成像在基底的表面,无需克服反射镜单元自身质量产生的惯性,通过提高旋转速度即...
  • 本发明公开了一种拼接式反光效果好的投影银幕,一种拼接式反光效果好的投影银幕,包括内框竖板,所述内框竖板的外侧抵触有内框横板,所述内框竖板与内框横板之间通过固定组件进行相连接。本发明通过内框竖板的内壁固定安装有内置板,使得人员可直接将内框横板...
  • 一种去除沟槽底部光刻胶的方法,包括:提供形成有若干沟槽的半导体衬底;在半导体衬底表面涂布光刻胶,光刻胶充满沟槽并在半导体衬底上形成第一光阻层;将曝光焦平面设置于沟槽底部之上H/2处,进行第一次曝光处理;将曝光焦平面设置于沟槽底部之上H/4处...
  • 在本发明的实施方式中公开了一种透镜驱动装置,透镜驱动装置包括:固定部分;移动部分,该移动部分布置在固定部分中并且能够沿光轴方向移动;驱动部分,该驱动部分包括线圈和第一磁体,线圈和第一磁体在与光轴方向垂直的第一方向上面向彼此并使移动部分移动;...
  • 本发明提供一种全息编码相位调制方法,所述方法包括:在空间光调制器中加载全息图,其中,所述全息图包括第一区域和第二区域;采用所述全息图的第一区域对偏振方向为45°的激光束在第一偏振方向上进行调制,以形成第一调制光束;将所述第一调制光束反射至所...
  • 本发明涉及投影显示技术领域,且公开了一种三色激光投影光源驱动及智能恒温控制系统,系统包括三色激光光源驱动模块、制冷器驱动模块、温度监控模块、智能恒温控制模块、微处理器集中控制模块。系统通过高效率光源驱动芯片单元实现三色激光光源的恒流驱动,本...
  • 本发明公开一种实现着色功能的感光性树脂组合物。在一方面,提供一种感光性树脂组合物,包含碱溶性树脂以及光活性化合物,该碱溶性树脂以及光活性化合物中的至少一个,在通过紫外‑可见光(UV‑Vis)光谱法进行测定时在400至550nm的波长下具有最...
  • 本发明涉及球场设施技术领域,提供一种用于匹克球场的裁判机器人,包括底板、摄像对位机构、驱动机构、轮胎机构、控制系统、第一视觉组件与第二视觉组件,分设于摄像对位机构的两侧,并能协同工作以覆盖整个球场。本申请中视觉组件用于获取运动员的追踪画面,...
  • 本实用新型属于投影用具技术领域,公开了一种折叠式投影仪。该折叠式投影仪包括投影模组和辅助模块,投影模组和辅助模块构成折叠结构,从而使该折叠式投影仪能够展开使用或者折叠收纳。通过上述设置,使得当折叠式投影仪折叠后,投影模组和辅助模块能够贴合连...
  • 本发明公开了一种双传片路径涂胶显影设备,包括至少两层进片液处理框架和至少两层回片液处理框架;至少两层进片热处理框架和至少两层回片热处理框架;进片热处理框架对应进片液处理框架设置;热处理模块用于对晶圆进行热处理工艺;接口模块,与热处理模块连接...
  • 本发明公开了一种涂胶显影设备及传片方法,包括片盒模块,具有上料区域、暂存区域、对称设置的搬运区域和转移区域;对称设置的液处理模块和对称设置的热处理模块,液处理模块设于转移区域并包括至少两层进片液处理框架和至少两层回片液处理框架;每个液处理模...
  • 本发明实施例提供一种车载摄像头,包括顶端设有安装孔的壳体以及以底端插入安装孔内的镜头,镜头的外侧壁沿径向凸起形成有外凸环,车载摄像头还包括插入安装孔内的连接筒以及设置于连接筒的外壁和安装孔的孔壁之间以将连接筒固定于安装孔内并密封外壁与孔壁之...
  • 本发明提供了一种PLC专用限幅电路,涉及电力线载波通信的技术领域,旨在解决现有PLC通信系统中AGC自动增益电路调节范围有限、信号识别失效及电路烧毁风险高的技术问题。本发明包括微控制单元MCU、限流电阻、光耦、PLC信号耦合电路和PLC芯片...
  • 本申请属于3D打印领域,具体涉及一种光刻胶及其制备方法、无支撑3D悬浮打印方法、应用。该光刻胶包括:高粘度树脂、光致产酸剂和增敏剂;所述高粘度树脂的粘度为10000 mPa·s以上,所述高粘度树脂的剪切变稀指数小于1。该光刻胶具有高粘度、自...
  • 本发明公开一种双重图形曝光的光掩模修正方法、光掩模修正装置与布局机器学习模型的训练方法。双重图形曝光的光掩模修正方法包括以下步骤。获得一光掩模布局目标图。分解光掩模布局目标图为两个光掩模布局子图。这些光掩模布局子图于一连结区域重叠。一布局机...
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