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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
对细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变的监控方法
本申请提供一种对细微颗粒物造成的光刻机掩模版形变的监控方法,包括:步骤一,在掩模版两侧由上至下设置六对水平对准标记;步骤二,计算所述对准标记X和Y方向的线性形变,每对对准标记相应得到四组线性形变数据;步骤三,利用实施步骤二得到的数据计算掩模...
一种遮光罩自动翻转结构及智能拍照仪
本实用新型公开一种遮光罩自动翻转结构及智能拍照仪,遮光罩自动翻转结构包括:遮光罩组件、内支撑架、步进电机、下巴托和感应器,所述下巴托设置于所述内支撑架上,所述感应器设置于所述下巴托内,所述遮光罩组件与所述内支撑架转动连接,所述步进电机与所述...
用于高数值孔径穿缝源掩模优化的方法
本文描述了一种利用光刻投影设备进行源掩模优化的方法。光刻投影设备包括照射源和被配置为将掩模设计布局成像到衬底上的投影光学器件。该方法包括使用针对照射源、投影光学器件和掩模设计布局的多个可调谐设计变量来确定多变量源掩模优化函数。多变量源掩模优...
投影屏幕及投影系统
本发明提供一种投影屏幕及投影系统,投影屏幕包括显示膜片,显示膜片具有投影受光面;支撑结构,支撑结构包括蜂窝支撑板,蜂窝支撑板包括蜂窝芯,蜂窝芯的相对两端面均具有蒙皮层,蒙皮层包括第一蒙皮层,显示膜片固定连接于第一蒙皮层,第一蒙皮层面向显示膜...
一种无掩膜光刻设备对位与曝光运动标定方法及装置
本发明提供一种无掩膜光刻设备对位与曝光运动标定方法及装置,属于光刻设备对位与曝光技术领域。该无掩膜光刻设备对位与曝光运动标定方法包括如下步骤:S1:获取第一坐标转换关系,获取第二坐标转换关系;S2:获取第一待测坐标;S3:获取第二待测坐标,...
超大分辨率数图像在缩微胶片上的成像装置及成像方法
本申请涉及光学微缩成像技术领域,尤其涉及一种超大分辨率数图像在缩微胶片上的成像装置及成像方法,显示器以单色分四次显示待微缩图像提取出来的四张拆分图;镜头移动三次实现四次曝光,以将四张拆分图分别曝光在胶片上,形成高分辨率的微缩图,且镜头在一个...
投影系统及投影屏幕
本申请公开了一种投影系统及投影屏幕,属于投影技术领域。该投影系统包括:投影设备和投影屏幕,投影屏幕包括固定框架、光学屏幕、发声板、一个或多个激励器、盖板和多个弹性连接件;光学屏幕贴合在发声板的第一侧,一个或多个激励器固定在发声板的第二侧,盖...
一种重力动力机
本发明涉及动力设备技术领域,具体涉及一种重力动力机,包括:传动台,作为整个动力机的承载基础,呈水平设置;曲轴,至少三组且依次连接,多组曲轴的轴颈延伸方向呈环形圆周均布;转动套,与曲轴一一对应套设在轴颈上,转动套可绕轴颈相对转动;吊索,为柔性...
一种投影设备和投影系统
本申请公开了一种投影设备和投影系统,投影设备包括:壳体,壳体具有第一开口,壳体与第一开口共同形成腔体;成像组件,成像组件设置在腔体内;光源组件,光源组件设置在腔体内;镜头组件,镜头组件设置在第一开口处;以及,离子风机,离子风机与壳体连接,离...
一种非透明灯罩动态投影灯
本实用新型属于投影灯技术领域,具体公开了一种非透明灯罩动态投影灯,包括灯罩,灯罩呈非透明状,灯罩的顶部插设有调焦组件,灯罩内设有固定座和发光件,调焦组件伸至灯罩内并转动设置于固定座的顶部,发光件安装于固定座的底部,固定座和灯罩的侧面共同滑动...
一种可变ND滤镜
本实用新型涉及一种可变ND滤镜,包括底座和旋转镜框,底座上安装有第一CPL滤镜,旋转镜框上安装有第二CPL滤镜,旋转镜框转动安装在底座上,底座或旋转镜框中的一者设置有限位块,另一者开设有呈弧形的限位槽,限位块与限位槽滑动配合,限位槽的弧心角...
光学元件驱动机构
本实用新型提供一种光学元件驱动机构。光学元件驱动机构包括一第一光学元件、一固定部、一第一活动部、一第一驱动组件。第一活动部连接于第一光学元件。第一活动部可相对于固定部运动。第一驱动组件用于驱动第一活动部相对于固定部运动。固定部包括一固定部开...
光学元件驱动机构
一种光学元件驱动机构,包括活动部、固定部以及驱动组件。活动部用以连接具有光轴的光学元件。活动部可相对固定部运动。驱动组件用以驱动活动部相对于固定部运动。
一种滑槽式快速安装拆卸结构
本实用新型公开了一种滑槽式快速安装拆卸结构,所属摄影器件用安装组件技术领域,包括快装板固定座,快装板固定座的上侧插接有快装板上盖,快装板上盖的下侧设置有四个斜面槽,快装板固定座的下侧设置有底板,底板的上侧设置有按键主体,按键主体的一侧设置有...
一种冗余驱动多自由度运动台增益平衡容错控制方法
本发明公开了一种冗余驱动多自由度运动台增益平衡容错控制方法,所述方法针对冗余驱动多自由度运动台任意一个执行器完全失效的情况分别设计了对应的出力解耦矩阵
2025-06-17
一种光掩模修补方法及装置
本发明涉及光掩模生产领域,特别是涉及一种光掩模修补方法及装置,通过扫描待处理光掩模,得到光掩模图像信息;根据所述光掩模图像信息,确定风险颗粒缺陷;根据预设的寻址规则,确定各个所述风险颗粒缺陷对应的蚀刻区域;所述蚀刻区域位于所述风险颗粒缺陷相...
一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法
本发明公开了一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法,该装置包括照明系统、掩模、掩模台、温度与压强传感器、光刻物镜、夏克‑哈特曼传感器、传感器运动台、干涉仪和环境控制系统。沿所述照明系统激光照明方向依次是安装在掩模台上的掩模、带有温度与压...
一种材料填充保护光刻掩模及其制备方法
本公开提供了一种材料填充保护光刻掩模的制备方法,包括:S1,在掩模基底上沉积光刻掩模材料,制备掩模图形结构;S2,向掩模图形结构中填充透明介质材料;S3,对S2中所得掩模进行退火处理;S4,对S3中所得掩模的表面进行化学机械抛光,以显露出掩...
一种光刻胶的去胶方法
本发明公开了一种光刻胶的去胶方法,包括:提供表面设有金属层的处理对象;通过光刻和刻蚀,形成贯通所述金属层的开口图形;使用第一处理方法,在对所述金属层不产生刻蚀和氧化作用的情况下,对刻蚀后位于所述金属层上的光刻胶进行第一时间的第一次去除处理;...
一种高速路用光伏及噪音发电设备
本发明属于绿色发电装置技术领域,尤其涉及一种高速路用光伏及噪音发电设备,包括支撑组件,固定设置在路基两侧的护栏顶端,路基的中心设置有护栏;光能发电组件,设置在支撑组件顶端,光能发电组件与电网连接,光能发电组件用于将太阳能转换为电能;噪声发电...
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家居日用产品装置的制造及产品制作技术
休闲,运动,玩具,娱乐用品的装置及其制品制造技术
木材加工工具,设备的制造及其制品制作技术
纺织,织造,皮革制品制作工具,设备的制造及其制品技术处理方法
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家具;门窗制品及其配附件制造技术
水利;给水;排水工程装置的制造及其处理技术
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乐器;声学设备的制造及制作,分析技术
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有机化合物处理,合成应用技术
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