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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 提供一种制造电子器件的水溶液,其能抑制缺陷。提供了一种制造电子器件的水溶液,其包含:具有特定结构的磺酸衍生物(A)、含有水的溶剂(B)以及具有特定结构的羟基衍生物(C)。
  • 本公开的一个观点的电子器件的制造方法包含以下步骤:根据在晶片的扫描场内被形成的图案求出作为与扫描方向正交的扫描宽度方向上的畸变成分的倍率;在扫描场内的多点计测晶片高度,求出扫描宽度方向的晶片高度的平均值;求出在基于晶片高度的平均值的对焦位置...
  • 本公开的实施例涉及一种用于光刻仿真的方法、设备和介质。在此提出的方法包括:将待仿真的光刻胶区域划分为多个光刻胶单元;基于光刻胶区域中的光刻胶的力学性质、光刻胶单元之间的平衡距离和用户设置的用于近邻相互作用的截断半径,确定与光刻胶势能相关联的...
  • 本发明公开了一种运动摄像机主动散热机构,属于运动相机技术领域,包括支架以及设置于支架顶端且用于安装运动相机的相机壳体,相机壳体上装配有散热器,相机壳体上开设有与散热器相配合的圆形孔,圆形孔内固定设置有第二孔板,第二孔板的外侧贴合设置有第一孔...
  • 本发明有关于用于半导体光刻的投射曝光设备(1、101)的模块,包含加热装置,其具有至少一个辐射源(53),用于发射电磁加热辐射以加热模块的部件(Mx、117)的至少多个区域。在本文中,加热装置包含至少一个加热元件(51),其内建于部件(Mx...
  • 本实用新型提供了一种轻便式卡盘柔光箱,包括卡盘本体,卡盘本体上限位安装有用于连接柔光布的第一支撑杆,卡盘本体沿周向方向设置有滑动槽,滑动槽内滑动安装有用于连接柔光布的第二支撑杆,第二支撑杆可相对第一支撑杆沿周向方向转动打开或者收折,滑动槽一...
  • 本公开实施例提供一种光刻机的能量校准方法及装置。所述方法包括:利用温度传感器测量得到光刻过程中的温度参数;根据预设关系模型,得到所述温度参数对应的能量转换系数;所述预设关系模型为能量转换系数与温度参数的关系模型;基于所述能量转换系数对光刻机...
  • 本发明属于属于航空机电技术领域,涉及一种双余度控制器的主备通道判别方法。基于硬件平台支持通道间CCDL通信、NVM非易失性存储器和FPGA现场可编程门阵列进行设计,通过CCDL通信获取对方通道的通道类型数据、NVM存储大小码值、随机数,判别...
  • 本文公开了一种光致抗蚀剂组合物,其包含:通过自由基聚合形成的第一聚合物,所述第一聚合物包含由包含烯属不饱和双键和酸不稳定基团的单体形成的聚合单元;光酸产生剂;具有式(1)的淬灭剂:
  • 一种提升光刻工艺窗口的方法包括步骤:S1,提供两张光刻流程前的产品片;S2,涂胶,获得两张涂胶片,针对两张产品片,采用不同粘度的胶且旋涂匀胶后的厚度相同,其余涂胶参数相同;S3,曝光,涂胶后的各涂胶片采用沿X方向和Y方向二维阵列分布的晶粒构...
  • 本发明公开了一种优化光源的方法,包括:步骤一、采用初始光源进行SMO优化得到输出光源。步骤二、采用输出光源进行仿真得到工艺窗口。当工艺窗口满足要求时,输出光源作为最终输出光源。当工艺窗口偏小时,进行后续步骤三。步骤三、选出位于工艺窗口的边界...
  • 一种碱性显影型树脂组合物、干膜、固化物和具有该固化物的电子部件。碱性显影型树脂组合物由至少双组分体系的树脂组合物构成,碱性显影型树脂组合物含有:(A)环氧树脂、(B)含羧基乙烯基酯树脂、(C)光聚合引发剂、(D)感光性单体、(E)无机填料和...
  • 本申请公开了一种母管制机组的协调控制方法、装置、电子设备和存储介质,该方法和装置应用于电子设备,具体为基于高压蒸汽母管的多个历史压力值和蒸汽阀的多个历史开度值进行计算处理,得到第一控制器输出值;基于每台汽机的可调节裕度、发电量偏离值和第一控...
  • 本申请提供一种工作模胶,应用于纳米压印技术中,由以下组分组成:具有层状晶体结构的物质含量为1%~50wt%;丙烯酸酯的含量为20%~90wt%;甲基丙烯酸酯的含量为5%~20wt%;以及光起始剂的含量为1%~10wt%;其中,各组分的含量总...
  • 本申请提供一种光场分辨方法和系统,涉及超快光场成像技术领域。所述光场分辨方法包括:将参考光束进行延时处理,得到延时参考光束;将探针光束进行延时处理,得到延时探针光束;将所述延时探针光束经过超快事件场景,得到调制探针光束;将所述调制探针光束和...
  • 本申请涉及光刻机技术领域,更为具体地说,涉及一种光刻机的曝光剂量计算方法,提供了一种光刻机的曝光剂量计算方法,该光刻机的曝光剂量计算方法包括:在匀光系统两端的第一分光棱镜和第二分光棱镜处分别设置第一反射率传感器和第二反射率传感器以获得光源发...
  • 公开由热能生成电力或氢气的方法和系统。该方法包括通过选择性渗透膜将第一盐溶液与第二盐溶液分离,通过第一盐溶液和/或第二盐溶液接收来自热源的热能,以及使第一盐溶液与第二盐溶液以受控制的方式混合,随着第一盐溶液与第二盐溶液之间的盐度差减小,捕获...
  • 本发明提供一种无源增益调整电路、方法、装置及存储介质,包括:输入端、输出端和调整单元;调整单元包括m个双开关电容子单元,m为正整数;每个双开关电容子单元包括第一开关、第二开关和电容,第一开关的一端与第二开关的一端、电容的一端共接,第一开关的...
  • 本申请公开一种自动驾驶系统的冗余控制方法及相关设备,涉及自动驾驶技术领域,所述方法包括:所述自动驾驶系统包括:域控制器和多个子系统,所述域控制器通过第一通信链路与所述子系统通信连接,以及通过第二通信链路与所述子系统通信连接,所述多个子系统包...
  • 本实用新型公开了一种高精度焦面补偿装置,包括光源、光线整形单元、投影镜头、掩膜版,还包括设置于所述光线整形单元和投影镜头之间的纠偏组件,所述纠偏组件包括焦面纠偏机构和掩膜安装机构,所述掩膜版安装于所述掩膜安装机构,所述掩膜安装机构竖直安装于...
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