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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本申请公开了一种多级冗余伺服控制系统及控制方法,控制系统包括:余度控制模块、舵机控制模块和位置采集模块。余度控制模块的各个余度控制器相互通信,基于第一选定机制确定某一余度控制器为主余度控制器,确定其他余度控制器为从余度控制器;主余度控制器根...
  • 本申请公开了一种增益调节电路、方法和电子设备,涉及射频领域,能够通过减少LNA的导通数量,实现在低功耗LNA的基础上调节增益。该增益调节电路中的每个LNA的第一端、第二端、偏置端、控制端、接地端均分别与LNA模组的第一端、第二端、偏置端、控...
  • 本发明提供了一种基于双MCU的电池簇管理系统的故障检测方法及系统,该方法中首先进行主MCU和从MCU之间的通讯检测,之后进行主MCU的任务监督故障检测;主MCU执行BMS的关键任务,从MCU负责监控各任务的执行状态,当任务出现堵塞或者逻辑错...
  • 本发明公开了一种改善光刻图形与掩模版上图形的偏差的方法,包括以下步骤:步骤S1,建立PW OPC模型,收集曝光辅助图形主要参数的安全范围,并利用模型及OPC结果检查程序,将得到的工艺波动带宽值用作工艺窗口大小的评判标准;步骤S2,选出测试图...
  • 一种可变光圈装置(1000),包括基座(10)、转动件(20)、叶片组(40)和驱动单元(30)。转动件(20)被构造为能够产生相对于基座(10)的转动。叶片组(40)包括多个叶片(41),其被可转动地安装于基座(10)和被可滑动地连接于转...
  • 本发明属于半导体器件的加工工艺,涉及属于其所用材料,具体涉及一种适用多种结构的水性剥离液及其制备方法和应用。本发明的剥离液,其包括以下重量份的组分:有机胺化合物9~10份、有机溶剂60~70份、缓蚀剂0.5~1份、改性EDTA复合物0.5~...
  • 本申请公开一种基于倏逝波场强衰减特性调制式的光学邻近效应校正方法及装置,涉及光刻分辨率增强技术领域。方法包括:通过对光刻胶内倏逝波的场强衰减特性进行建模分析,确定近场光学邻近效应对目标图形的有效作用范围;将目标图形作为表面等离子体光刻的输入...
  • 本发明涉及光学元器件加工技术领域,尤其涉及一种EUV光刻机光源系统中凹面镜表面钆去除装置及方法。装置包括:反应池的侧壁和底部分别设有注液口和排液口;凹面真空载台通过载台支架伸入反应池的内槽;凹面真空载台包括带有气孔的凹面真空吸盘和硅胶复合膜...
  • 公开了一种从样本的临界尺寸对缺陷概率进行建模以改进故障率预测的方法,更特别地公开了一种使用sigmoid函数对缺陷概率进行建模以改进故障预测的方法。sigmoid函数可以被用于解释一系列可以准确地预测样本中的故障和缺陷的形成的临界尺寸。
  • 本发明提供一种提升成像对比度的光学邻近效应修正方法,提供目标图形,光学修正目标图形得到光罩图形,获取光罩图形的曝光后图形,使得曝光后图形与目标图形的边缘放置误差小于第一阈值;形成切线,判断切线两侧的曝光后图形的空间图像对比度是否大于第二阈值...
  • 本实用新型公开了一种无接触式掩膜版放版装盒装置,涉及掩膜版放版技术领域,包括装置外壳,装置外壳上设置有放版操作窗口,放版操作窗口处安装有密封门;装置外壳的竖直壁上安装有升降结构,升降结构上连接有放版部件,放版部件正下方的装置外壳底部安装有限...
  • 本发明提供一种双数字阀冗余控制系统,包括第一通道数字阀、第一通道开关元件、第一通道执行元件、第二通道执行元件、第二通道开关元件、第二通道数字阀、Master主机、Slave1从机和Slave2从机;本发明通过差异化模型设计,实现了结构冗余和...
  • 本发明提出一种激光传输缆线及其激光投影机。激光传输缆线包含至少一第一光纤、第二光纤、光信号发射装置及光信号接收装置。第一光纤配置以自激光光源接收激光,并传输激光。第二光纤与第一光纤并列设置,并具有相对的第一端及第二端。光信号发射装置设置在第...
  • 本申请公开了一种激光投影系统及散热设备,属于投影显示技术领域。该激光投影系统包括:激光投影主机和散热设备。散热设备中的散热器位于激光投影主机外,且该散热设备中的散热控制组件能够基于导热管路的第一端和第二端中的至少一端的温度,以及待散热器件的...
  • 本发明涉及一种视觉光源。目的是提供一种倾角可调节的环形视觉光源,该环形视觉光源应能根据需要灵活调节倾角,并具有打光效果好、使用方便的特点。技术方案是一种倾角可调节的环形视觉光源,包括顶面敞口而底面开有圆孔的筒状外壳;其特征在于:所述外壳内固...
  • 本发明提供一种确定SRAF曝光时的光强阈值的方法,方法包括:于测试版图中选出添加有SRAF的目标图形;设定光刻机曝光时的能量‑焦距矩阵,对测试版图掩膜版进行曝光以得到曝光图形矩阵;判断曝光图形矩阵中是否存在曝光所述SRAF的第一曝光图形,若...
  • 本发明涉及一种气浮装置,所述气浮装置通过在板体表面开设气流通道,控制气流通道的出气端的出气压力接近,即任意两个所述气流通道的出气端的出气压力的差值的绝对值为0~1Mpa,从而在板体上方形成一个由多个气柱组成的气浮式气垫,基体可放置于气浮式气...
  • 一种光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质,光学邻近修正方法包括:获取第一版图层,包括多个第一设计图形,任意两个第一设计图形之间的距离为第一间距,至少一个第一间距小于可光刻最小间距;进行版图层拆分处理,将第一版图层拆分为多个子版图层...
  • 本申请公开了一种电压转换速率控制方法,用于在需要时提供运算放大器的电压转换速率,包含:比较该运算放大器的输入信号OP_IN与该输出信号OP_OUT;当该输入信号OP_IN大于或小于该输出信号OP_OUT时,导通分别与该运算放大器的一个以上的...
  • 本发明公开了一种机械调制的光学加密系统以及动态全息图像切换方法,系统包括依次设置的光源、复合相位板、凸透镜及图像采集装置,复合相位板包括两个并列设置的相位板,两个相位板上编码有涡旋相位信息,在其中一个相位板增加图像相位,至少其中一个相位板连...
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