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最新专利技术
  • 一种在衬底表面制备氮化硅薄膜的方法
    一种在衬底表面制备氮化硅薄膜的方法_江苏邑文微电子科技有限公司_202511332527.9
    本发明涉及半导体技术领域， 提供了一种在衬底表面制备氮化硅薄膜的方法。所述方法包括：(1)在氮气气氛的第一腔体中， 提供具有工艺温度的热盘， 间隔第一距离， 预热衬底至预热温度；所述衬底的材质包括钽酸锂或铌酸锂；(2)将具有所述预热温度的衬...
    2025-12-10
  • 一种基于气相沉积法制备多孔镍钨氧化物薄膜的方法
    一种基于气相沉积法制备多孔镍钨氧化物薄膜的方法_上海半人马企业发展集团有限公司_202510966317.9
    本发明公开一种基于气相沉积法制备多孔镍钨氧化物薄膜的方法， 包括将反应物前驱体和基片加热前驱体转化为前驱气体；通入沉积气体在基片上进行等离子辅助气相反应沉积；通入选择性刻蚀气体和辅助气体进行刻蚀并循环；在保护气氛下退火处理即得。还公开了由该...
    2025-12-10
  • 一种提高TOPCon电池LPCVD炉管洁净度的方法
    一种提高TOPCon电池LPCVD炉管洁净度的方法_环晟光伏(江苏)有限公司_202411100125.1
    本发明提供了一种提高TOPCon电池LPCVD炉管洁净度的方法， 涉及太阳能电池技术领域。所述方法包括：向LPCVD炉管中通入气体进行吹扫处理， 再将双面抛光的硅片置于LPCVD炉管后进行吸杂处理。本发明通过吹扫步骤与双面抛光片高温吸杂步骤...
    2025-12-10
  • 化学源输送系统
    化学源输送系统_江苏微导纳米科技股份有限公司_202511038005.8
    本申请涉及一种化学源输送系统， 包括储存装置及输送装置， 储存装置具有输入口与输出口， 输送装置包括：输入管路， 连接于输入口；输出管路， 连接于输出口；以及连接管路， 连接输入管路与输出管路；其中， 输出管路包括第一输出阀， 第一输出阀为...
    2025-12-10
  • 一种固态前驱体钢瓶
    一种固态前驱体钢瓶_上海庆建廷科技有限公司_202511054448.6
    本发明涉及一种固态前驱体钢瓶包括：钢瓶主体、钢瓶底层、托盘、以及上盖， 所述托盘置于所述钢瓶主体内， 所述托盘内承载有固体前驱体源， 在每层所述托盘上密布有贯穿所述托盘及固体前驱体源的上行通孔， 所述上行通孔的上方设有上方弯头， 在所述托盘...
    2025-12-10
  • 卧式炉设备及其晶圆载具
    卧式炉设备及其晶圆载具_北京北方华创微电子装备有限公司_202410437434.1
    本申请提供一种卧式炉设备及其晶圆载具， 晶圆载具包括承载主体和承载件， 承载主体上设置有多个承载结构， 多个承载结构沿竖直方向间隔分布于承载主体上， 各承载结构用于支撑承载件；承载件承载于承载结构上， 承载件上设置有用于承载晶圆的承载槽。晶...
    2025-12-10
  • 一种气相反应设备
    一种气相反应设备_天府绛溪实验室_202511323044.2
    本发明涉及化学气相沉积领域， 特别涉及一种气相反应设备， 该气相反应设备通过将加热层内置于反应腔体， 缩短热传导路径， 加快响应速度， 实现快速升温， 提升加热效率。同时多层加热层间隔设置， 加热层包括多根间隔设置的加热丝， 且相邻加热层的...
    2025-12-10
  • 一种用于PECVD设备的可重构气体分布装置
    一种用于PECVD设备的可重构气体分布装置_无锡尚积半导体科技股份有限公司_202511226179.7
    本发明公开了一种用于PECVD设备的可重构气体分布装置， 属于半导体制造技术领域， 具有可转动机构的上层结构， 可转动机构上开设有第一进气口， 呈环形分布， 用于接受外部气源的工艺气体；具有气路板的下层结构， 气路板设置于可转动机构下方， ...
    2025-12-10
  • 一种可自动排液排气的表面处理装置
    一种可自动排液排气的表面处理装置_晋西工业集团有限责任公司_202510848135.1
    本发明公开了一种可自动排液排气的表面处理装置， 包括中心吊杆， 垂直固定在所述中心吊杆上部的横向杆， 对称固定在所述横向杆两端下方的两个限位筒， 滑动连接在所述限位筒下方的侧支撑杆， 固定在所述中心吊杆两侧侧壁的两组中心连接环， 固定在所述...
    2025-12-10
  • 一种用于消除曲轴磨削延迟裂纹的加工处理方法
    一种用于消除曲轴磨削延迟裂纹的加工处理方法_山西柴油机工业有限责任公司_202510740116.7
    本发明创造提供了一种用于消除曲轴磨削延迟裂纹的加工处理方法， 包括：对曲轴进行预处理；对曲轴进行第一次冷喷涂处理， 以使得曲轴的表面形成纯钛喷涂层；对曲轴进行第二次冷喷涂处理， 以使得曲轴的纯钛喷涂层外侧形成钛基自润滑喷涂层；对曲轴进行超声...
    2025-12-10
  • 一种燃机热端部件的固态修复方法
    一种燃机热端部件的固态修复方法_中国联合重型燃气轮机有限公司_202511020066.1
    本发明属于燃气轮机维修技术领域， 具体涉及一种燃机热端部件的固态修复方法， 包括如下步骤：S1、获取待修复基体表面的损伤信息；S2、对待修复基体表面的损伤区域进行粗糙化处理， 并对粗糙化处理后的损伤区域进行电化学活化处理；S3、对处理后的损...
    2025-12-10
  • 一种液压支架的激光熔覆处理设备
    一种液压支架的激光熔覆处理设备_榆林通派装备科技有限公司_202511184593.6
    本发明涉及液压支架加工设备技术领域， 公开了一种液压支架的激光熔覆处理设备， 包括机体， 所述机体的内顶壁固定连接有电动滑台， 所述电动滑台的滑块底端固定连接有U形的安装架， 所述安装架的一侧固定连接有气缸一， 所述气缸一的驱动端转动连接有...
    2025-12-10
  • 落料模具镶块刃口的加工方法
    落料模具镶块刃口的加工方法_一汽模具制造有限公司_202511214209.2
    本发明提供了落料模具镶块刃口的加工方法， 涉及模具加工方法的技术领域， 包括对落料模镶块基体的刃口待熔覆区域进行预处理， 得到中间基体；将中间基体进行加工凹槽， 得到处理后基体；选取金属粉末作为熔覆材料；设置激光熔覆参数， 激光熔覆参数包括...
    2025-12-10
  • 纳米级氧化镓薄膜及其制备方法和应用
    纳米级氧化镓薄膜及其制备方法和应用_中国科学技术大学_202510800543.X
    本发明提供了一种纳米级氧化镓薄膜及其制备方法和应用， 属于半导体材料制备技术领域。该纳米级氧化镓薄膜的制备方法包括：将液态金属镓滴至衬底表面， 将柔性盖片覆盖于液态金属镓表面， 对柔性盖片施加均匀外力以去除多余的液态金属镓， 得到衬底‑氧化...
    2025-12-10
  • 具有毛刺清理功能的风机齿轮加工装置
    具有毛刺清理功能的风机齿轮加工装置_国电投(兴安)风电有限公司_202511111304.X
    本发明涉及齿轮加工技术领域， 且公开了具有毛刺清理功能的风机齿轮加工装置， 包括支撑架， 包括：安装筒部， 所述安装筒部设置在支撑架内， 所述安装筒部用于对带动溶液转动加速对齿轮上毛刺的处理；转动部， 所述转动部设置在安装筒部内， 所述转动...
    2025-12-10
  • 一种低坡度角的铝钼蚀刻液
    一种低坡度角的铝钼蚀刻液_湖北兴福电子材料股份有限公司_202510862348.X
    本发明提供一种低坡度角的铝钼蚀刻液， 所述的蚀刻液成分包括占蚀刻液总重量55‑65%的磷酸、5‑10%的硝酸、12‑20%的醋酸、0.5‑2%的乙酸盐， 0.05‑0.5%的表面活性剂， 1‑3%的缓冲剂， 剩余为去离子水。本发明所述的铝钼...
    2025-12-10
  • 一种酸性腐蚀液及其制备方法
    一种酸性腐蚀液及其制备方法_上海大学_202410383857.X
    本发明公开了一种酸性腐蚀液， 用于揭示碲化镉/碲锌镉延展性缺陷。包括氢氟酸， 硝酸， 去离子水， 乳酸、硝酸银或硫酸银中的一种， 所述氢氟酸， 所述硝酸， 所述去离子水和所述乳酸的体积比是氢氟酸：10％， 硝酸：35％， 去离子水25％～3...
    2025-12-10
  • 一种复合金属层蚀刻液及其制备方法与应用
    一种复合金属层蚀刻液及其制备方法与应用_浙江奥首材料科技有限公司_202510825322.8
    本发明涉及一种复合金属层蚀刻液， 按照重量份计算， 包括如下组分：无机酸40‑60份；有机酸20‑40份；金属过氧化物1‑10份；钼酸盐1‑5份；酚类化合物1‑10份；超纯水20‑40份。本发明还公开上述蚀刻液的制备方法与应用。本发明的金属...
    2025-12-10
  • 金属构件的多分支内流道化学抛光装置和方法
    金属构件的多分支内流道化学抛光装置和方法_上海空间推进研究所_202510853482.3
    本发明提供了一种金属构件的多分支内流道化学抛光装置和方法， 通过加压泵将酸液从酸液桶引出， 经塑料多通接头分配至内流道的多个入口， 并通过剩余流道口由另一多通接头将废液汇集后， 导回酸液桶循环使用。本发明通过控制酸液流量及循环时间， 结合特...
    2025-12-10
  • 金属缓蚀剂及其应用
    金属缓蚀剂及其应用_祝世兰_202410446257.3
    本发明提供了一种金属缓蚀剂及其应用， 所述金属缓蚀剂为双(氧氮杂环己烷基)乙烷。本发明金属缓蚀剂对所有金属均具有优异的缓蚀效果。
    2025-12-10
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