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最新专利技术
  • 一种在衬底表面制备氮化硅薄膜的方法
    一种在衬底表面制备氮化硅薄膜的方法_江苏邑文微电子科技有限公司_202511332527.9
    本发明涉及半导体技术领域， 提供了一种在衬底表面制备氮化硅薄膜的方法。所述方法包括：(1)在氮气气氛的第一腔体中， 提供具有工艺温度的热盘， 间隔第一距离， 预热衬底至预热温度；所述衬底的材质包括钽酸锂或铌酸锂；(2)将具有所述预热温度的衬...
    2025-12-10
  • 一种钯纳米粒子-石墨烯复合结构及其制备方法和应用、氢气传感器
    一种钯纳米粒子-石墨烯复合结构及其制备方法和应用、氢气传感器_哈尔滨工业大学_202511000222.8
    本发明属于氢气传感器技术领域， 具体涉及一种钯纳米粒子‑石墨烯复合结构及其制备方法和应用、氢气传感器。本发明在覆有石墨烯薄膜的基片上镀制钯纳米膜后依次进行热处理和活化处理， 或在石墨烯复合薄膜表面的聚合物微球阵列上镀制钯纳米膜后进行热处理，...
    2025-12-10
  • 一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备
    一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备_江苏派莱特光电科技有限公司_202511315917.5
    本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备， 包括：主体单元， 其包括镀膜机本体以及固定连接在镀膜机本体下表面的支撑座， 所述镀膜机本体下表面固定连接有L形座；本发明利用冷却轴杆， 使盛放盘配合放置板对产品进行放置或直接进行悬挂处理， ...
    2025-12-10
  • 一种叶片气相沉积涂镀抗氧化涂层遮蔽防护装置及防护方法
    一种叶片气相沉积涂镀抗氧化涂层遮蔽防护装置及防护方法_中国航发航空科技股份有限公司_202511003329.8
    本发明提供了一种叶片气相沉积涂镀抗氧化涂层遮蔽防护装置， 用于对待涂镀叶片的榫头进行防护， 属于航空发动机‑涡轮叶片制造加工技术领域， 所述防护装置包括：外层榫头遮挡块， 设置在外层对榫头进行遮挡；内层防护定位块， 置于外层榫头遮挡块内腔，...
    2025-12-10
  • 一种高精密强激光光学镜片的镀膜方法
    一种高精密强激光光学镜片的镀膜方法_吉林省巨程智造光电技术有限公司_202511318349.4
    本发明涉及光学元件领域， 具体涉及一种高精密强激光光学镜片的镀膜方法。镀膜方法包括以下步骤：步骤1、基底预处理；步骤2、表面活化；步骤3、准备阶段；步骤4、镀膜处理；步骤5、后处理。本发明的方法通过双等离子体协同和自适应梯度复合镀膜技术的融...
    2025-12-10
  • 磁控溅射机及其真空镀膜方法
    磁控溅射机及其真空镀膜方法_森松(江苏)重工有限公司_202511210610.9
    本申请提供了一种磁控溅射机及其真空镀膜方法， 包括真空镀膜腔和卷绕系统， 卷绕系统包括：卷绕辊， 设置于真空镀膜腔内， 卷绕辊包括放卷辊和收卷辊， 放卷辊和收卷辊之间形成基膜传输路径；辅助穿膜机构， 设置于真空镀膜腔内， 辅助穿膜机构形成辅...
    2025-12-10
  • 一种用于半导体设备运动部件的耐刻蚀润滑涂层
    一种用于半导体设备运动部件的耐刻蚀润滑涂层_华南理工大学_202511055854.4
    一种用于半导体设备运动部件的耐刻蚀润滑涂层， 包括以下步骤：在基体的表面上沉积金属钛层；在金属钛层的表面上钛碳梯度过渡层；在钛碳梯度过渡层的表面上沉积钛掺杂类金刚石碳涂层；向第二镀膜腔室内通入氩气和氢气， 通过线性离子源对氩气和氢气进行离化...
    2025-12-10
  • 一种Co-CoO单层非晶-纳米晶交换偏置薄膜及其制备方法
    一种Co-CoO单层非晶-纳米晶交换偏置薄膜及其制备方法_西安交通大学_202511002891.9
    本发明属于磁性功能材料技术领域， 具体涉及一种Co‑CoO单层非晶‑纳米晶交换偏置薄膜及其制备方法。包括以下步骤：提供一衬底；以300K～573K的加热温度对衬底进行加热， 以金属Co为靶材， 利用磁控溅射， 在衬底上溅射沉积形成Co‑Co...
    2025-12-10
  • 耐高温耐辐照AlN基压电涂层材料及其制备方法和应用
    耐高温耐辐照AlN基压电涂层材料及其制备方法和应用_武汉大学_202510925195.9
    本发明公开了一种耐高温耐辐照AlN基压电涂层材料及其制备方法和应用， 涉及超声压电涂层材料技术领域。本发明提供的压电涂层材料的制备方法包括：采用AlScCrTaTi合金靶材通过磁控溅射在基体表面形成AlScCrTaTiN压电涂层。通过调控A...
    2025-12-10
  • 一种基于高能脉冲磁控溅射技术的涂层制备方法
    一种基于高能脉冲磁控溅射技术的涂层制备方法_广东仕诚塑料机械有限公司_202510747100.9
    本发明涉及涂层制备技术领域， 具体公开一种基于高能脉冲磁控溅射技术的涂层制备方法， 其包括步骤：对基底进行预处理；采用高能脉冲磁控溅射技在基底表面沉积涂层， 调节脉冲功率为1‑10kW之间， 脉冲频率为20‑500Hz， 脉冲宽度为50‑1...
    2025-12-10
  • 一种基于磁控溅射技术的高性能多层涂层及其制备方法
    一种基于磁控溅射技术的高性能多层涂层及其制备方法_广东仕诚塑料机械有限公司_202510747098.5
    本发明涉及涂层制备技术领域， 具体公开一种基于磁控溅射技术的高性能多层涂层及其制备方法， 其中， 制备方法包括：对基材进行预处理， 包括清洗、抛光和离子清洗；采用磁控溅射技术在基材表面依次沉积过渡层、功能层和保护层， 形成多层交替结构， 在...
    2025-12-10
  • 一种镀膜装置和生产系统
    一种镀膜装置和生产系统_宁德时代新能源科技股份有限公司_202410448675.6
    本申请公开了一种镀膜装置和生产系统， 该镀膜装置用于制备镀膜产品， 镀膜产品包括基材以及金属膜， 镀膜装置包括：冷却组件包括用于提供磁场的至少一个磁场生成部件；和电流生成组件， 用于使电流经过镀膜产品， 以使镀膜产品在磁场中受到的安培力方向...
    2025-12-10
  • 一种真空镀膜机及其镀膜方法
    一种真空镀膜机及其镀膜方法_成都友臻科技有限公司_202410433668.9
    本发明涉及真空镀膜技术领域， 具体涉及一种真空镀膜机及其镀膜方法。一种真空镀膜机， 包括真空镀膜室， 在所述真空镀膜室的外壁上固定安装有控制装置， 在真空镀膜室内的顶部固定安装有工件伞架， 在所述工件伞架上设置有多个镀膜基片， 在工件伞架的...
    2025-12-10
  • 自动绕碳绳组件及真空蒸镀设备
    自动绕碳绳组件及真空蒸镀设备_深圳市速普仪器有限公司_202511316532.0
    本申请涉及自动绕碳绳组件及真空蒸镀设备， 碳绳卷可转动地设置于旋转盘上， 碳绳卷向碳绳电极组件供给碳绳， 以使各碳绳电极顺序通过碳绳与碳绳卷相连；旋转盘以碳绳电极组件为中心可转动设置， 带动碳绳卷相对于碳绳电极组件转动， 以将碳绳接触于至少...
    2025-12-10
  • 基于等离子加热的金属化薄膜蒸镀系统及其方法
    基于等离子加热的金属化薄膜蒸镀系统及其方法_安徽赛福电子有限公司_202511203821.X
    本发明公开了基于等离子加热的金属化薄膜蒸镀系统及其方法， 包括真空腔室；等离子发生模块， 设置于真空腔室内， 等离子发生模块设有离子发生器， 能够通过射频、直流放电或微波等方式将工作气体电离产生等离子体， 且可调节等离子体的功率、密度和分布...
    2025-12-10
  • 一种用于蒸镀连续金属的多级台阶结构及其制备方法
    一种用于蒸镀连续金属的多级台阶结构及其制备方法_浙江大学嘉兴研究院_202511197492.2
    本发明公开了一种用于蒸镀连续金属的多级台阶结构及其制备方法， 包括至下而上的衬底， 下包层， 波导层， 上包层， 掩模层, 以及在上包层上由于开设多层槽所形成多级台阶， 多级台阶包括第一层槽形成的台阶， 第二层槽形成的台阶和第三层槽形成的台...
    2025-12-10
  • 适用于对负极基体进行处理的装置及方法、负极基体及钠离子电池
    适用于对负极基体进行处理的装置及方法、负极基体及钠离子电池_中国原子能科学研究院_202510999186.4
    本申请的实施例涉及非水电解质蓄电池的电极制造领域， 特别涉及一种适用于对负极基体进行处理的装置及方法、负极基体及钠离子电池。通过将金属钠先行净化处理， 使加热获得的金属钠蒸汽处于高纯状态， 使负极基体上能够沉积高纯度的钠；在惰性气体环境下，...
    2025-12-10
  • 适用于在离子电池材料表面形成钠膜的装置及方法
    适用于在离子电池材料表面形成钠膜的装置及方法_中国原子能科学研究院_202510999159.7
    本申请的实施例涉及非水电解质蓄电池的电极制造领域， 特别涉及一种适用于在离子电池材料表面形成钠膜的装置及方法。该装置通过金属钠蒸汽供应组件提供预定温度的金属钠蒸汽， 使得金属钠蒸汽保持预定温度， 防止凝结；通过风机组件向成膜件输送金属钠蒸汽...
    2025-12-10
  • 适用于在离子电池材料表面形成钠膜的装置及方法
    适用于在离子电池材料表面形成钠膜的装置及方法_中国原子能科学研究院_202510999148.9
    本申请的实施例涉及非水电解质蓄电池的电极制造领域， 特别涉及一种适用于在离子电池材料表面形成钠膜的装置及方法。该装置通过设置金属钠蒸汽净化和供应组件对金属钠先行净化， 以使由此转化成的金属钠蒸汽处于高纯状态， 有利于稳定地产生钠蒸汽， 进而...
    2025-12-10
  • 温度监测装置及镀膜设备
    温度监测装置及镀膜设备_深圳金美新材料科技有限公司_202510782716.X
    本发明公开了一种温度监测装置及镀膜设备， 该镀膜设备中设置有温度监测装置， 温度监测装置至少用于监测薄膜的温度， 温度监测装置包括第一信号接收模块、检测模块、第二信号接收模块以及信号处理模块。其中， 第一信号接收模块包括设置于第一供电回路上...
    2025-12-10
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