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最新专利技术
  • 一种移动式光纤研磨机用光纤夹持机构
    一种移动式光纤研磨机用光纤夹持机构_北京航天光华电子技术有限公司_202511969140.4
    本发明公开了一种移动式光纤研磨机用光纤夹持机构，包括：固定架、手动式三维位移台和光纤夹具；其中，所述固定架安装于光纤研磨机的机体上；所述手动式三维位移台安装于固定架的顶部；所述光纤夹具安装于所述手动式三维位移台的滑块顶端，所述光纤夹具用于夹...
    2026-03-21
  • 用于半导体混合键合的抛光垫及其半导体器件的制备方法
    用于半导体混合键合的抛光垫及其半导体器件的制备方法_恩普士有限公司_202511216471.0
    本发明根据实施方案公开了一种抛光垫和使用该抛光垫制备半导体器件的方法。该抛光垫包括抛光层，该抛光层具有在预定范围内的抛光选择性，该抛光选择性取决于待抛光物体的热膨胀系数。在抛光过程中控制半导体基板的碟陷，以减少半导体器件的表面缺陷和键合失效...
    2026-03-21
  • 一种双层孔结构抛光垫及制备方法和应用
    一种双层孔结构抛光垫及制备方法和应用_万华化学集团股份有限公司_202512019415.4
    本发明公开了一种双层发泡多孔抛光垫及其制备方法和应用，本发明涉及一种双层孔结构化学机械抛光垫，抛光垫的抛光层上部为紧密分布的指型孔道，平均内径为0.17mm～0.25mm，指型孔孔壁厚度为15μm～20μm；抛光层下部为海绵孔层，平均内径为...
    2026-03-21
  • 基于匀化光纤的激光辅助化学机械抛光装置及方法
    基于匀化光纤的激光辅助化学机械抛光装置及方法_山东大学_202610180838.6
    本发明属于半导体材料激光加工技术领域。提出了一种基于匀化光纤的激光辅助化学机械抛光装置及方法，包括激光发生器、光路设计单元、扫描振镜、精抛光单元及二维运动平台；光路设计单元通过匀化光纤对脉冲激光匀化整形，获得方形平顶光斑，扫描振镜与二维运动...
    2026-03-21
  • 一种环件内阶柔性对旋研磨站
    一种环件内阶柔性对旋研磨站_中国航发贵州黎阳航空动力有限公司_202511993333.3
    本发明公开了一种环件内阶柔性对旋研磨站，包括移动负载及其上设置的若干研磨单元。每个研磨单元由柔性升降台、可调压紧台及支撑转台自上而下共轴设置。柔性升降台通过直线模组驱动，并设有包含主动轴、从动轴、抱紧器及弹簧的轴向弹性缓冲结构，实现对工件的...
    2026-03-21
  • 一种固定工位式晶圆抛光装置
    一种固定工位式晶圆抛光装置_江西戈骑磨削技术有限公司_202511777756.1
    本发明涉及抛光装置技术领域，公开了一种固定工位式晶圆抛光装置，包括浆料回收组件，浆料回收组件设置在夹具一侧，浆料回收组件用于承接因抛光头推扫及晶圆旋转离心作用而脱离晶圆工作区域的浆料，浆料回收组件一侧设置有喷液组件，喷液组件一侧设置有联动泵...
    2026-03-21
  • 一种金刚石衬底表面羟基注入及抛光方法
    一种金刚石衬底表面羟基注入及抛光方法_河南省科学院激光制造研究所_202512026639.8
    本发明公开了一种金刚石衬底表面羟基注入及抛光方法，使用MPCVD反应对金刚石衬底表面注入羟基，并公开了金刚石衬底抛光方法，通过调控功率、气压及氢气、氧气、水蒸气流量比，在衬底表面反应形成羟基，随后将表面注入羟基的待抛光金刚石衬底固定在单晶研...
    2026-03-21
  • 基于化学机械协同与多步应力管理的半导体硅片减薄工艺
    基于化学机械协同与多步应力管理的半导体硅片减薄工艺_杭州中欣晶圆半导体股份有限公司_202511681766.5
    本发明涉及一种基于化学机械协同与多步应力管理的半导体硅片减薄工艺，所属半导体制造技术领域，包括如下操作步骤：第一步：化学机械粗磨阶段，使用固结磨料砂轮和化学活性研磨液对硅片背面进行减薄。第二步：原位应力管理中继层涂覆与固化阶段，在减薄后的硅...
    2026-03-21
  • 研磨晶圆的方法
    研磨晶圆的方法_星科金朋私人有限公司_202411243115.3
    本申请提供了一种研磨晶圆的方法。所述方法包括：提供晶圆，所述晶圆具有背面和与所述背面相对的正面，其中所述晶圆进一步包括用于容纳半导体单元的中心区域和围绕所述中心区域的外围区域；在所述外围区域内形成沟槽，并使所述沟槽大体上沿着所述外围区域的整...
    2026-03-21
  • 钢球表面质量在线视觉检测与研磨闭环反馈系统
    钢球表面质量在线视觉检测与研磨闭环反馈系统_宁波奉化精瑞钢球有限公司_202511728941.1
    本申请涉及视觉检测与研磨技术领域，公开了钢球表面质量在线视觉检测与研磨闭环反馈系统，包括：表面建模模块，用于重建出钢球缺陷区域的三维点云模型；状态感知模块，用于实时监测研磨头的工作状态，并融合生成研磨头状态向量；动态建模模块，用于构建和校正...
    2026-03-21
  • 用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备
    用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备_西安奕斯伟材料科技股份有限公司_202511551473.5
    本公开提供了一种用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备。在一方面中，提供了一种用于抛光垫的检测及清洗装置，其包括：支撑结构，能够相对于抛光垫移动；第一检测装置，设置于支撑结构，并且用于检测抛光垫的表面的硅和碳的含量并输出含量；第一喷嘴，...
    2026-03-21
  • 一种研磨机及其控制方法
    一种研磨机及其控制方法_玉环市欧迪光学仪器制造有限公司_202610173154.3
    本发明公开了一种研磨机技术领域, 旨在提供一种高效研磨、精确度高的研磨机及其控制方法，其技术方案要点是包括机架，所述机架上设有用于容纳待加工镜片的放置槽、设置在放置槽上方且用于吸取和转移镜片的夹持组件、用于对镜片进行检测的检测装置、用于对镜...
    2026-03-21
  • 一种UF6专用容器阀门检修装置
    一种UF6专用容器阀门检修装置_中核陕西铀浓缩有限公司_202610083971.X
    本发明属于阀门检修技术领域，具体涉及一种UF6专用容器阀门检修装置，包括：控制系统，用于生成控制指令、发送至PLC控制模块；PLC控制模块，用于接收控制系统的控制指令、生成驱动信号，将驱动信号分别发送至步进电机、伺服电机，驱动步进电机、伺服...
    2026-03-21
  • 一种异型五金零件的光学研磨加工装置及工艺
    一种异型五金零件的光学研磨加工装置及工艺_东莞市斌森五金塑胶有限公司_202610064944.8
    本发明公开了一种异型五金零件的光学研磨加工装置，涉及五金加工技术领域，包括以下结构：夹具模块，用于夹持异型五金零件，所述夹具模块包括一体式弹性结构、SMA驱动单元和撑开机构，所述一体式弹性结构与夹具主体一体成型，构成夹持部的基体，所述SMA...
    2026-03-21
  • 一种用于涂层轴承外圈沟道超精的在线调心式旋转支承装置
    一种用于涂层轴承外圈沟道超精的在线调心式旋转支承装置_上海振华轴承总厂有限公司_202610163286.8
    本发明涉及轴承零部件支承技术领域，具体涉及一种用于涂层轴承外圈沟道超精的在线调心式旋转支承装置，其技术方案是：包括定位安装基板，所述定位安装基板包括支承板，所述支承板两端顶部设置有支承体后端滑道和支承体前端滑道；所述后端支承体滑动安装在支承...
    2026-03-21
  • 一种用于金属加工机械制造的磨粒流光整加工设备
    一种用于金属加工机械制造的磨粒流光整加工设备_长春理工大学_202610179836.5
    本发明公开了一种用于金属加工机械制造的磨粒流光整加工设备，涉及金属加工技术领域，包括支架，所述支架固定有上开口的下筒，所述下筒上设置有下开口的上筒，所述下筒和上筒贴合时能够组成密闭的腔体；所述下筒内滑动设置有下活塞，所述上筒内设置有上活塞；...
    2026-03-21
  • 一种镁合金生产用抛光装置
    一种镁合金生产用抛光装置_山西振鑫镁业有限公司_202610165878.3
    本发明涉及镁合金生产技术领域，特别是涉及一种镁合金生产用抛光装置。包括抛光柜、安装架、摆正组件、吸热组件和夹紧组件，安装架固定设置在抛光柜内，所述安装架上水平设置有滑动架，摆正组件滑动设置在滑动架上，摆正组件与滑动架之间设置有油缸，吸热组件...
    2026-03-21
  • 一种曲面工件抛光的五轴数控机床用可调式夹具
    一种曲面工件抛光的五轴数控机床用可调式夹具_河北科技工程职业技术大学_202610168747.0
    本发明涉及磨床夹具技术领域，尤其涉及一种曲面工件抛光的五轴数控机床用可调式夹具，包括安装在磨床上的支架，所述支架的顶部外壁上转动连接有中心架，所述中心架的外壁上沿径向滑动连接有第一浮动架。本发明通过设置的固定块，使得对弯管类工件进行夹持时，...
    2026-03-21
  • 一种承压罐车用现场金相磨抛装置及方法
    一种承压罐车用现场金相磨抛装置及方法_浙江省特种设备科学研究院_202610158143.8
    本发明提供了一种承压罐车用现场金相磨抛装置及方法，包括旋转磁座，所述旋转磁座转动设有支撑立柱，所述支撑立柱上滑动连接有支撑座；高度调节机构，包括开设于支撑座上的第一腰形孔及开设于支撑立柱上的第一螺纹孔和第一螺钉，本发明通过设置具备凸齿啮合锁...
    2026-03-21
  • 一种基于卫浴产品生产加工的抛光装置
    一种基于卫浴产品生产加工的抛光装置_佛山市南海区显威五金塑料有限公司_202610137953.5
    本发明涉及卫浴产品生产技术领域，且公开了一种基于卫浴产品生产加工的抛光装置，包括加工台、浴具载物板和外接控制器，所述浴具载物板设置于加工台的内腔顶部，通过驱动组件通过定位板、导向杆、复位弹簧及橡胶抵触块的配合，利用卡块对定位块的抵触驱动，可...
    2026-03-21
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