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最新专利技术
  • 基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法
    基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法_青岛嘉星晶电科技产业园有限公司_202511001276.6
    本发明涉及研磨设备故障检测技术领域， 尤其涉及基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法， 包括：基于晶圆研磨前后的设备研磨垫与晶圆的接触图像信息以及设备吸盘与晶圆的接触图像信息， 对研磨设备与晶圆的接触协调性进行预测；基于设备研磨垫与晶...
    2025-11-29
  • 一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法
    一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法_亿威盛半导体科技(上海)有限公司_202511046812.4
    本发明提供了一种基于多模态传感器的碳化硅研磨装置故障智能检测方法， 属于深度学习的半导体加工监测技术领域；首先， 采集碳化硅研磨过程中的工件接触面应力数据、研磨区域温度数据、研磨液电导率数据和研磨电机振动信号数据；然后， 构建研磨装置状态特...
    2025-11-29
  • 一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法
    一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法_安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司_202511174283.6
    本发明涉及半导体技术领域， 具体而言， 涉及一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法， 公开了一种12英寸晶圆抛光盘头沟槽深度自动调整装置及方法， 旨在解决现有技术中因待加工晶圆初始厚度波动， 导致抛光工艺适应性差、生产效率低下及...
    2025-11-29
  • 一种超精密蓝宝石晶体光学基板的加工方法
    一种超精密蓝宝石晶体光学基板的加工方法_苏州徕因光学科技有限公司_202511221070.4
    本发明属于精密光学器件加工技术领域， 具体涉及一种超精密蓝宝石晶体光学基板的加工方法。针对现有技术不足及蓝宝石晶体加工难点， 提出优化方案：以快速研磨抛光提升效率；通过高温精密退火与酸蚀， 消除快速加工产生的机械应力、材料结构应力及亚表面损...
    2025-11-29
  • 一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法
    一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法_杭州中欣晶圆半导体股份有限公司_202510961110.2
    本发明涉及半导体材料加工技术领域， 具体涉及一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法， 包括：S1、在抛光后对pad表面进行刷洗， 然后用高压水枪进行分区域冲洗， 去除抛光残留物；S2、使用修整轮每隔一定时间对pad表面进行修整， 去除结晶化合...
    2025-11-29
  • 一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备
    一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备_华海清科股份有限公司_202510947184.0
    本发明公开了一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备， 所述吸盘工作台的制造方法包括：将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转；将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置， 以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序；根据螺栓安装顺序...
    2025-11-29
  • 一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备
    一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备_华海清科股份有限公司_202510947185.5
    本发明公开了一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备， 所述吸盘工作台的制造方法包括：将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转；将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置， 以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序；根据螺栓安装顺序...
    2025-11-29
  • 一种鼓刹工件单侧研磨装置
    一种鼓刹工件单侧研磨装置_常州左达自动化设备有限公司_202511289182.3
    本发明公开了一种鼓刹工件单侧研磨装置， 包括研磨盘、环形分布的工装座、压盘、横向伺服直线移动模组和纵向伺服直线移动模组。本发明中， 通过第一气缸及其连接的压盘以微伸缩量以及套装有弹簧的导杆在位于孔盘上的孔结构内上下移动， 使得位于工装座上的...
    2025-11-29
  • 研磨方法及研磨装置
    研磨方法及研磨装置_株式会社荏原制作所_202510394527.5
    本发明提供研磨方法及研磨装置。在该研磨方法中， 能够使由闪光光源发出的光的强度稳定， 并且能够一边在更多的测定点处测定膜厚一边研磨基板。在研磨方法中， 在光学传感器头(7)横穿基板(W)而移动的期间， 使第一闪光光源(44A)以及第二闪光光...
    2025-11-29
  • 一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备
    一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备_上海追知工程科技有限公司_202510975249.2
    本申请涉及一种打磨设备的刀头结构及机械臂用打磨设备， 涉及打磨工具技术领域。该刀头结构包括耗材固定模组和夹持模组。耗材固定模组包括耗材和锁紧刀柄， 耗材固定于锁紧刀柄上。夹持模组包括夹持轴、锁紧套、限位珠和弹性固定件， 夹持轴朝向锁紧刀柄的...
    2025-11-29
  • 一种磨床内部用调节立柱
    一种磨床内部用调节立柱_南通迅通金属制品有限公司_202511091409.3
    本发明公开了一种磨床内部用调节立柱， 属于磨床技术领域， 包括立柱主体和传动齿轮， 所述立柱主体内开设有两个安装腔， 驱动组件， 设置于立柱主体内， 所述驱动组件包括活动卡接于立柱主体内的传动齿轮；本发明中在安装腔内均设置可上下滑动的齿板，...
    2025-11-29
  • 铝带劈刀端部斜角磨削用定位夹具
    铝带劈刀端部斜角磨削用定位夹具_深圳市钜沣泰科技有限公司_202510939312.7
    本发明提供铝带劈刀端部斜角磨削用定位夹具， 涉及定位夹具领域， 包括安装支架， 升降定位架上下滑动设置在安装支架下方；安装支架与升降定位架之间设置有升降调节机构；角度调节支架采用连接轴铰接在升降定位架下端；角度调节机构设置在升降定位架与角度...
    2025-11-29
  • 轧辊辊型加工方法、数控系统及设备
    轧辊辊型加工方法、数控系统及设备_西门子工厂自动化工程有限公司_202510990276.7
    本申请实施例提供一种轧辊辊型加工方法、数控系统及设备。所述方法包括：根据待加工轧辊所需的目标辊型， 从预先生成的各个垂度补偿表中确定出目标垂度补偿表。目标垂度补偿表用于描述待加工轧辊轴向上不同点位所对应的垂度补偿值， 垂度补偿值用于描述待加...
    2025-11-29
  • 厚度测量方法、抛光终点检测方法及设备
    厚度测量方法、抛光终点检测方法及设备_北京特思迪半导体设备有限公司_202511169362.8
    本发明提供一种厚度测量方法、抛光终点检测方法及设备。应用于高精度测量领域。该方法包括：获取多介质层晶圆在抛光前的第一实测光谱曲线及多介质层晶圆相关的初始理论库；将所述第一实测光谱曲线分别与初始理论库中的理论光谱曲线进行匹配， 确定所述多介质...
    2025-11-29
  • 边缘线生成装置以及轨迹生成装置
    边缘线生成装置以及轨迹生成装置_株式会社和井田制作所_202411431191.7
    本公开提供边缘线生成装置以及轨迹生成装置。边缘线生成装置具备：显示器；手动指定部， 由操作人员操作而将显示于显示器的工件图像的轮廓线上或轮廓线附近指定为指定点；存储部， 构成为存储示出工件图像的轮廓线并作为多个边缘检测点的集合的边缘检测数据...
    2025-11-29
  • 一种成形砂轮磨齿机砂轮修整器
    一种成形砂轮磨齿机砂轮修整器_唐钧_202511045964.2
    本申请实施例提供一种成形砂轮磨齿机砂轮修整器， 涉及砂轮磨齿机技术领域。一种成形砂轮磨齿机砂轮修整器， 包括安装架， 所述安装架的两侧均固定连接有固定盒， 且安装架靠近固定盒的顶部倾斜固定有控制面板；所述安装架上设置有与磨齿机砂轮位移匹配的...
    2025-11-29
  • 一种用于木材粉尘的湿式回收除尘设备
    一种用于木材粉尘的湿式回收除尘设备_嘉善鑫豪家居科技股份有限公司_202511025974.X
    本发明公开了一种用于木材粉尘的湿式回收除尘设备， 包括， 打磨台， 其顶端设有支撑板， 打磨台内部安装有位于支撑板内部的抬升垫板， 支撑板内壁上设置有与抬升垫板呈垂直设置的降尘吸附板， 降尘吸附板两端设置有固定导轨， 固定导轨上活动设有限位...
    2025-11-29
  • 一种用于快速调温的化学液输送单元及化学机械平坦化设备
    一种用于快速调温的化学液输送单元及化学机械平坦化设备_杭州众硅电子科技有限公司_202410386784.X
    本发明公开了一种用于快速调温的化学液输送单元， 包括：输液管， 内部形成输液通道；半导体电热模组， 设于输液管外侧， 与输液管外壁贴合；热量流动单元， 流动有热量载体， 与半导体电热模组相贴合， 用于提供半导体电热模组所需热量， 或者， 用...
    2025-11-29
  • 一种碳纤维增强复合材料表层无损清除的方法
    一种碳纤维增强复合材料表层无损清除的方法_东南大学_202410417142.1
    本发明公开了一种纤维增强复合材料表层无损清除的方法， 根据纤维和聚合物材料力学性能的差异， 利用高压空气将碳酸氢钠磨料喷射至纤维增强复合材料待清除区域表面， 通过磨料颗粒持续的切削和撞击作用， 实现聚合物材料在超过许用应力后被去除。本发明能...
    2025-11-29
  • 一种两相颗粒流混合磨料水射流冷切割调整方法和装置
    一种两相颗粒流混合磨料水射流冷切割调整方法和装置_吉林工程技术师范学院_202511150704.1
    本发明设计冷切割技术领域， 一种两相颗粒流混合磨料水射流冷切割调整方法包括：确定加工设备的工作模式；根据加工设备的工作模式调整设备辅助传感器的工作状态；当待加工物料定位且刀具移动时， 以刀具驱动设备录入的加工坐标为切换刀具切换工作状态的数据...
    2025-11-29
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