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  • 本发明属于半导体加工技术领域,公开了一种半导体制造晶圆光刻装置,包括底座,所述底座表面固定安装有竖板,所述竖板表面转动安装有固定盘,两组竖板之间设置有顶板,所述顶板底壁设置有光刻机,两组竖板之间设置有定位机构,所述定位机构包括有承载组件与输...
  • 本申请公开了一种光刻机载物台平整度实时监测方法、装置、设备和可读存储介质,涉及传感器技术领域。包括:先基于标准平面对目标位移测量传感器进行零点与漂移校正;目标位移测量传感器包括激光干涉式位移传感器、电容式间隙传感器和激光共焦位移传感器;激光...
  • 一种控制系统及方法,涉及一种控制系统,包括:电磁阀、比较器、继电器以及机台;所述比较器的两个输入端分别连接所述电磁阀以及所述机台的测试点,通过比较电磁阀黑线电压以及机台测试点电压,输出控制所述继电器开关的电平信号;所述继电器与机台电线电连接...
  • 本申请提供光刻机设备中FLS机构零平面的标定方法及光刻设备,涉及光刻机技术领域。该方法包括:确定工件台在不同移动高度时CCD探测器采集到的光斑位置,并基于移动高度以及各移动高度对应的光斑位置,构建得到光斑位置与被测面高度之间的关系模型,再将...
  • 本申请公开了一种表面等离子干涉光刻结构及其制造方法,可应用于半导体技术领域,该表面等离子干涉光刻结构对应波长为190nm‑450nm的紫外光,包括:光栅结构、第一叠层结构、光刻胶层以及反射层;所述第一叠层结构、所述光刻胶层以及所述反射层依次...
  • 本发明涉及光刻工艺技术领域,公开了一种无机光刻胶硬度梯度动态成形方法及系统,方法包括:接收待加工曝光图案、实时工艺参数数据和目标硬度分布图,输入改进的UNet深度卷积神经网络构建的硬度梯度预测模型,生成曝光剂量空间分布预测图;将其映射到含空...
  • 本发明涉及一种动态光刻对准补偿方法、光罩及光刻系统,方法包括:提供不同几何特征的测试光罩以及对应的GDS文件,并从所述GDS文件提取对应测试光罩上曝光区域的几何与布局特征;利用所述测试光罩进行曝光,获取对应的对准误差数据;测量曝光后各测试光...
  • 本发明涉及一种套刻标识及其套刻误差量测方法,该套刻标识被划分为第一象限区、第二象限区、第三象限区和第四象限区,套刻标识包括当层套刻结构和前层套刻结构,当层套刻结构和前层套刻结构的图案分别设置于四个象限区内,在每个象限区内,当层套刻结构包括间...
  • 本发明涉及集成电路制造领域,特别是涉及一种光源掩膜协同优化方法及装置,获取初始光源与初始掩膜图案;所述初始掩膜图案为二值化的图像;确定所述光源掩膜协同优化损失函数的函数值最小时对应的调整过的初始光源与调整过的初始掩膜图案为优化光源与优化掩膜...
  • 本申请提供了一种掩模对准系统的对准方法以及掩模对准系统,其中,该方法包括:获取投射至目标晶圆所处工件台的光强数据以及工件台的位置数据;依次对光强数据进行滤波处理和去噪处理,得到目标光强数据;对位置数据进行位置补偿处理,得到目标位置数据;根据...
  • 本发明属于功能新材料技术领域,本发明涉及一种持久性防伪红色碳粉及其制备方法,所述持久性防伪红色碳粉通过采用紫外荧光化合物、红色颜料、树脂、离型剂、电荷调节剂、特定组成的处理剂为原料并进行适当配比,制备时先取紫外荧光化合物、红色颜料、树脂、电...
  • 本发明公开的一种打印机的激光驱动方式,涉及打印设备技术领域,包括以下步骤,系统VCC给电源到驱动电路后,无论何时,EN_N的信号为高电平时Q7导通强制把Q5的基极电压拉低,Q5不能导通激光器LD关断;如需要点亮激光器LD,EN_N的信号为低...
  • 本发明公开一种碳粉切换判断方法及图像形成装置、存储介质,该方法包括获取至少一个粉筒和/或至少一个成像组件上的耗材芯片预存的用于表征存储的碳粉类型信息的第一信息;将第一信息与图像形成装置预存的用于表征碳粉类型信息的第二信息进行比对得到比对结果...
  • 本发明提供一种粉仓壳体组件及其制造方法、控粉结构、处理盒。粉仓壳体组件包括粉仓壳体和控粉刀,控粉刀与粉仓壳体连接;控粉刀采用PET材料一体成型;控粉刀包括一体的控粉部和粘接部,控粉部用于控制显影辊上显影剂的厚度,粘接部粘接在粉仓壳体上。控粉...
  • 本发明公开了一种降低能耗的打印方法,涉及纸张打印技术领域,包括对需要进行印刷的纸张进行处理的清理组件,清理组件对需要打印的纸张表面进行清理,避免纸张在打印时因表面有杂物影响打印效果,降低纸张的损耗,清理组件下端滑动设置有多组对加热辊进行固定...
  • 本发明公开了一种定影装置,所述定影装置包括:带、旋转构件和夹持形成构件,其中,夹持形成构件包括滑动构件,其中滑动构件包括基底构件和具有多个突起的滑动部分、第一区域和第二区域,第一区域是将包括多个突起的滑动部分设置在滑动构件在纵向上的中心部分...
  • 本申请涉及打印机定影单元温控技术领域,尤其涉及一种打印机定影单元的加热控制方法,包括:针对每个加热控制周期,获取定影单元的当前温度值和目标温度值,并基于当前温度值与目标温度值之间的温度差值,采用PID控制算法确定加热占空比,其中,所述PID...
  • 本发明公开了一种基于霍尔识别的打印机到位检测设备及方法,属于打印机技术领域,包括检测装置,检测装置用于检测打印机盖是否关闭到位,检测装置上设置有硒鼓装置,硒鼓装置用于安装硒鼓,检测装置上设置有开盖装置,开盖装置用于防止打印机卡纸。采用霍尔元...
  • 本发明提供图像形成装置的开闭部件。图像形成装置的开闭部件具有:外开闭部件,其构成图像形成装置的外表面的一部分、且能够开闭;内开闭部件,其与所述外开闭部件的内表面相对、并能够与该外开闭部件一起开闭,收纳部,其通过从所述内开闭部件向所述外开闭部...
  • 本发明公开了一种彩色全息显示中横向色差的补偿方法,属于全息显示技术领域。该方法包括以下步骤:对彩色目标图像中的红、绿、蓝三种场景信息分别进行提取,对各通道的信息进行倍率色差的缩放补偿;采用迭代算法分别计算三个通道下的子全息图;选定任一颜色通...
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