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最新专利技术
  • 用于半导体混合键合的抛光垫及其半导体器件的制备方法
    用于半导体混合键合的抛光垫及其半导体器件的制备方法_恩普士有限公司_202511216471.0
    本发明根据实施方案公开了一种抛光垫和使用该抛光垫制备半导体器件的方法。该抛光垫包括抛光层，该抛光层具有在预定范围内的抛光选择性，该抛光选择性取决于待抛光物体的热膨胀系数。在抛光过程中控制半导体基板的碟陷，以减少半导体器件的表面缺陷和键合失效...
    2026-03-22
  • 一种移动式光纤研磨机用光纤夹持机构
    一种移动式光纤研磨机用光纤夹持机构_北京航天光华电子技术有限公司_202511969140.4
    本发明公开了一种移动式光纤研磨机用光纤夹持机构，包括：固定架、手动式三维位移台和光纤夹具；其中，所述固定架安装于光纤研磨机的机体上；所述手动式三维位移台安装于固定架的顶部；所述光纤夹具安装于所述手动式三维位移台的滑块顶端，所述光纤夹具用于夹...
    2026-03-22
  • 一种用于双面弧形抚平板研磨加工的专用夹具
    一种用于双面弧形抚平板研磨加工的专用夹具_江苏三恒高技术窑具有限公司_202511981786.4
    本发明属于先进结构陶瓷加工领域，尤其是一种用于双面弧形抚平板研磨加工的专用夹具。本发明的研磨加工双面弧形抚平板的专用夹具，包括T型加工台，所述T型加工台上顺次布置有若干个定位单元，每个所述定位单元包括顶紧机构和夹紧机构和多个定位基准块。本发...
    2026-03-22
  • 用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备
    用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备_华海清科股份有限公司_202511696762.4
    本申请提供一种用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备。承载头包括：承载头主体；设置于承载头主体朝向晶圆的一侧的保持环，保持环将晶圆限定在其中；防滑片机构，其至少部分地设置在保持环中，防滑片机构配置成可轴向伸缩，以在保持环抵靠抛光单元时缩回到...
    2026-03-22
  • 一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法
    一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法_华海清科股份有限公司_202511718719.3
    本发明提供一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法，修整盘用于在化学机械抛光设备中修整抛光垫，拆卸装置包括基座，剥离组件和抓取组件，以实现修整盘和修整盘基座的无损、自动分离。
    2026-03-22
  • 用于抛光机的快换治具
    用于抛光机的快换治具_昆山金海格智能系统有限公司_202512043957.5
    本发明公开了用于抛光机的快换治具，包括：插座模块，包括底座、设置在底座中部的限位套、滑动密封设置在限位套外周与底座之间的限位块、布置在限位套与限位块之间的多个定位球及设置在限位块与底座之间的多个弹性件，限位套上设有孔径小于定位球外径的多个定...
    2026-03-22
  • 一种数控磨床合金刀具加工支撑装置
    一种数控磨床合金刀具加工支撑装置_梧州市三禾添佰利五金加工有限公司_202610104577.X
    本发明提供了一种数控磨床合金刀具加工支撑装置，涉及数控磨床加工技术领域，包括支撑机构与打磨机构，支撑机构由回转组件、加压组件及抵消组件构成，回转组件使支撑装置能周向随动，加压组件通过滚轮感知接触压力并转换为液压信号，抵消组件通过具有预设刚度...
    2026-03-22
  • 一种光学镜片用抛光无损检测装置
    一种光学镜片用抛光无损检测装置_中山市赛尔智能科技有限公司_202511986503.5
    本发明公开了一种光学镜片用抛光无损检测装置，本发明涉及无损探伤仪器领域。本发明所述的一种光学镜片用抛光无损检测装置，包括底板、固定连接在底板上表面一侧的固定板、开设在底板其中两个侧壁的安装槽、滑动连接在两个安装槽槽壁的第一U形柱和固定连接在...
    2026-03-22
  • 一种全自动镜片开槽倒角机控制系统
    一种全自动镜片开槽倒角机控制系统_上海东之璧医学工程技术有限公司_202511876032.2
    本发明公开了一种全自动镜片开槽倒角机控制系统，包括稳压模块、磨削加工模块、多轴运动控制模块、人机交互模块、微控制器、数据传输模块、清洁模块和数据采集模块；所述控制系统由外部电源适配器供电，用户通过人机交互模块设置参数后，微控制器控制多轴运动...
    2026-03-22
  • 一种钢结构件的打磨控制方法及系统
    一种钢结构件的打磨控制方法及系统_南通华铮隆钢业制造有限公司_202511906593.2
    本发明公开了一种钢结构件的打磨控制方法及系统，属于打磨控制领域，其中方法包括：根据打磨任务交互组件，接收打磨任务；拆解打磨任务，获得钢结构件对应的J个钢件分区；根据钢件打磨控制元素分布，建立钢件打磨控制元素矩阵；构建打磨控制寻优函数；根据钢...
    2026-03-22
  • 一种基于运动学模型的晶体磨削轮廓跟随控制方法及系统
    一种基于运动学模型的晶体磨削轮廓跟随控制方法及系统_浙江工业大学_202511908869.0
    本发明公开了一种基于运动学模型的晶体磨削轮廓跟随控制方法及系统，该方法首先基于磨床机械结构建立运动学模型，并根据工件几何形状构建其特征点矩阵；在工件姿态变换过程中，执行实时坐标变换运算，同步生成用于垂直避让的Z轴目标位置及用于横向定位的X轴...
    2026-03-22
  • 中心孔研磨定位高效智能控制系统
    中心孔研磨定位高效智能控制系统_宝鸡市东阳机械制造有限公司_202610090812.2
    本发明公开了中心孔研磨定位高效智能控制系统，涉及机械加工技术领域，该系统包括：定位模块、参数调控模块、工装夹紧模块、过载保护模块、质量管控模块及PLC控制器；本发明通过定位偏差动态补偿算法，结合位置检测单元实时采集偏差并计算补偿量，驱动尾座...
    2026-03-22
  • 一种电力电缆的自动打磨控制方法、装置及设备
    一种电力电缆的自动打磨控制方法、装置及设备_西安云领大数据科技有限公司_202610195496.5
    本申请涉及精密打磨控制技术领域，具体涉及一种电力电缆的自动打磨控制方法、装置及设备，具体包括：基于各时刻的历史时间中邻近时刻的温度变化趋势，以及各时刻的温度数据分别与对应前一时刻的温度数据及预设的安全温度阈值之间的差异，构建各时刻的温度干扰...
    2026-03-22
  • 一种清洗方法及清洗装置
    一种清洗方法及清洗装置_江苏第三代半导体研究院有限公司_202610068707.9
    本发明公开一种清洗方法及清洗装置，该清洗方法包括：将抛光垫放置于清洗室内；抛光垫具有抛光面，清洗室具有相对设置的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁的内壁能活动连接抛光垫，第二侧壁可滑动连接有喷嘴；控制抛光面朝向喷嘴，并控制抛光垫旋转；控制喷嘴释放...
    2026-03-22
  • 一种磨加工磨削料回收装置及系统
    一种磨加工磨削料回收装置及系统_重庆凌达磁材科技有限公司_202511803811.X
    本发明涉及磨加工技术领域，具体为一种磨加工磨削料回收装置及系统，包括分离机构，分离机构的前侧设置有分料机构，分离机构包括分离池，分离池的后侧设置有下料台。本发明通过设置有分离机构与分料机构，实现了对磨削料回收过程的精准控制与高效执行，通过存...
    2026-03-22
  • 一种磨削液供给装置
    一种磨削液供给装置_河南科技大学_202610111666.7
    本发明涉及机械加工技术领域，尤其涉及一种磨削液供给装置，包括固定设置在床身上的安装平台，所述安装平台上设有主轴以及用于固定待磨工件的夹具，所述安装平台上设置有磨削液循环系统，所述磨削液循环系统包括供液箱、回液槽以及设置在供液箱与回液槽之间的...
    2026-03-22
  • 基于多传感器感知的喷砂机械臂、控制系统及方法
    基于多传感器感知的喷砂机械臂、控制系统及方法_山东海洋工程装备研究院有限公司_202511768860.4
    本发明涉及钢结构表面处理技术领域，具体涉及一种基于多传感器感知的喷砂机械臂、控制系统及方法。本发明构建基于喷砂机械臂的多传感器感知模块，多传感器感知模块包括位于喷砂机械臂上的压力传感器、测距传感器、关节电机编码器和深度相机；通过压力传感器实...
    2026-03-22
  • 一种铝合金部件表面氮化钽污染物的清洗方法
    一种铝合金部件表面氮化钽污染物的清洗方法_富乐德科技发展(天津)有限公司_202511743923.0
    本申请涉及半导体设备零件清洁技术领域，具体公开了一种铝合金部件表面氮化钽污染物的清洗方法，包括以下步骤：部件保护与药浸、水洗、部件保护与喷砂、熔射、超声波清洗、后处理；其中，药浸步骤中的药液采用70%硝酸、N‑甲基吡咯烷酮和水复配而成，体积...
    2026-03-22
  • 一种基于干冰清洗的精密构件低附着力毛刺去除方法
    一种基于干冰清洗的精密构件低附着力毛刺去除方法_中国航发哈尔滨东安发动机有限公司_202511897458.6
    本发明涉及一种基于干冰清洗的精密构件低附着力毛刺去除方法，涉及精密制造表面处理技术领域。目前，现有干冰清洗多应用于大面积表面污渍清理，未针对精密构件低附着力毛刺的特性进行参数优化，若干冰颗粒过大、喷射压力过高，易损伤构件基体。一种基于干冰清...
    2026-03-22
  • 一种混凝土试块承压面干式整平方法及装置
    一种混凝土试块承压面干式整平方法及装置_上海建工集团股份有限公司_202511935259.X
    本发明公开了一种混凝土试块承压面干式整平方法及装置，该方法包括：将脱模后的混凝土试块移送至负压仓内；通过连通至负压仓内的厚度检测模块对混凝土试块的承压面进行平整度检测，识别突出于承压面的毛刺位置及其厚度；将喷砂机的喷砂管可调节角度连通在负压...
    2026-03-22
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