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  • 本发明涉及研磨设备故障检测技术领域, 尤其涉及基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法, 包括:基于晶圆研磨前后的设备研磨垫与晶圆的接触图像信息以及设备吸盘与晶圆的接触图像信息, 对研磨设备与晶圆的接触协调性进行预测;基于设备研磨垫与晶...
  • 本发明揭示了主轴姿态调控方法、系统及减薄机。主轴姿态调控方法, 包括如下步骤:获取晶圆要达到的饱满度和凹凸度;根据凹凸度确定连接在主轴的支撑盘的第一位置的姿态调整机构的第一调整参数;根据第一调整参数调整连接在第一位置的姿态调整机构;根据饱满...
  • 本申请提供一种晶圆加工方法及装置, 包括:预约加工产品晶圆;生成产品晶圆对应的晶圆组信息;根据晶圆组信息, 生成预约搬送指令;在接收到待加工晶圆的晶圆送达信号时, 获取待加工晶圆所属的晶圆组信息;如果待加工组序列值为预置序列标识, 待加工组...
  • 本申请提供了一种杠杆式连续加压研磨抛光设备, 包括工作台和控制柜;工作台上设有上研磨装置、下研磨装置以及无极加压装置;上研磨装置包括A驱动装置和上研磨盘;下研磨装置包括下研磨盘和B驱动装置;无极加压装置包括基座和杠杆组件;杠杆组件包括安装架...
  • 本发明属于箱包生产制造技术领域, 具体涉及一种用于箱包壳体的加工工装, 包括:机架;活动平台, 沿第一方向与机架活动连接;定位模具, 安装于活动平台, 定位模具用于固定注塑箱包壳体, 所述定位模具包括用于与所述圆角部的内壁贴合的角块, 所述...
  • 本发明公开了一种半导体芯片小角度高精度研磨结深装置, 包括磨角头及其附属件和研磨盘装置。其中磨角头及其附属件包括:磨角头;压力块;水平器;提手;研磨盘装置包括:研磨盘;围档;复位皮筋;固定弹簧;最下端是使研磨盘装置产生水平振荡的圆周运动装置...
  • 本发明涉及研磨设备技术领域, 公开了一种阀芯阀座研磨机构及研磨工艺, 所述机构包括:机体;研磨膏涂抹组件, 其滑动安装于顶壳体上;精研膏涂抹组件, 其滑动安装于底壳体上;推出组件;以及收回组件;通过两次不同高度的上升过程, 分别带动研磨膏涂...
  • 本发明公开了一种一体成型电感的电极研磨装置及研磨方法, 涉及半导体制造技术领域, 所述装置包括:导引机构、压制机构、研磨机构以及薄胶板;导引机构包括导引盘以及摇料组件, 导引盘用于承载待研磨的一体成型电感, 通过将导引盘置于薄胶板上, 再通...
  • 本申请实施例公开了一种探针用磨针治具及其研磨装置。其中, 治具包括安装头、安装台和连接台。通过本申请实施例, 在研磨新探针时, 可以通过安装头的设计能够实现同时研磨单根或多根新探针, 从而提高研磨效率, 同时避免整卡更换, 大幅降低了更换成...
  • 本发明公开了一种三轴珩磨加工机床及其使用方法, 涉及加工机床领域, 包括底座, 立柱固定连接于底座的顶部, 立柱的正面设置有安装板, 珩磨机构设置于安装板的正面, Z轴驱动机构安装于珩磨机构和安装板之间, X轴驱动机构安装于安装板和立柱之间...
  • 本发明公开了柴油机技术领域的一种柴油机气缸盖交叉孔深度加工装置, 包括:两组轨道组件, 分别对应装配于气缸盖本体上交叉孔的两个端口处;磨粒组件, 包括设于高位轨道组件一侧的磨粒储箱, 以及设于低位轨道组件一侧的废粒储箱, 用于向轨道组件内输...
  • 本发明公开了一种磁力抛光分针回用生产系统, 包括:机架、至少一台磁力抛光机和若干过滤篮, 各抛光机处均对应有料针分离装置;抓取机构通过第一组合滑移装置组设置于机架上, 且抓取机构能通过第一组合滑移装置组将前道指定位置处的过滤篮抓取放入对应过...
  • 本发明公开了一种机械设备生产用加工抛光设备及方法, 涉及机械设备生产技术领域, 包括底座, 所述底座的顶部固定连接有固定架, 所述底座的顶部固定连接有两块侧板, 两块所述侧板之间转动连接有两根驱动辊, 所述侧板的一侧且位于驱动辊的一端均固定...
  • 本发明涉及抛光设备技术领域, 且公开了一种铜锭铸造用抛光装置, 包括抛光机, 所述抛光机顶部安装有控制箱, 所述控制箱上安装有用于升降和转动的驱动组件, 所述驱动组件包括驱动电机和电动伸缩杆, 所述电动伸缩杆安装在驱动电机的输出端, 且所述...
  • 本发明属于玻璃加工设备技术领域, 尤其是一种钢化玻璃表面处理设备, 针对由于钢化玻璃的物理性质, 导致其易因控制不当的压力产生损坏, 依赖人工抛光修复表面瑕疵, 无法精准量化施加压力的问题, 现提出以下方案, 包括基座, 所述基座的顶部固定...
  • 本发明涉及轴承加工设备技术领域, 且公开了一种高精度回转轴承加工的抛光装置, 包括支撑机构, 所述支撑机构包括第一连接架, 所述第一连接架的底部外壁固定连接有底座, 第一伸缩杆根据回转轴承直径推动第三固定架垂直上移, 第三固定架内壁固定的第...
  • 本发明提供了一种小型化抛光装置及其控制系统, 属于智能控制技术领域, 包括:缺陷定位模块, 用于基于显微镜对晶圆表面进行全面扫描以定位和标记缺陷区域;抛光液配制模块, 用于根据缺陷区域的缺陷类型控制各储料罐释放相应物料进行混合配制;小型化抛...
  • 本发明涉及钢带生产技术领域, 具体是一种往复式打磨机构及含有该机构的合金钢带生产装置, 包括支架以及固定安装在支架顶部的固定架, 还包括:操作台, 滑动安装在固定架上;辊筒, 活动安装在操作台上表面, 数量设置多个, 用于传输钢带;升降架,...
  • 本发明涉及假牙模具清理加工技术领域, 公开了一种节能型3D打印假牙模具的表面清理设备及方法, 包括支撑台、打磨清理机构、碎屑吸附机构、升降机构、伸缩机构、翻转机构和旋转调节机构, 支撑台的外侧端设有外环, 支撑台与外环的底部右端固定设有支撑...
  • 本发明涉及特种设备技术领域, 提供一种基于特种设备检验检测的辅助打磨机, 包括主框架, 所述主框架的一侧设置有光泽度检测仪, 所述光泽度检测仪的侧面设置有吸尘管, 所述吸尘管的侧面设置有打磨棒, 所述主框架的边缘设置有磁力万向轮;本发明通过...
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