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微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明公开了一种耐高温传感器的无引线封装结构及方法,该无引线封装结构包括传感器芯片、用于支撑传感器芯片的传感器壳体以及设置在传感器壳体上的金属引脚,所述金属引脚通过耐高温导电层与传感器芯片的金属电极相连,该金属电极外置在传感器壳体表面或内置...
  • 本申请涉及一种MEMS传感器及其制备方法,该方法包括:提供电极层;电极层包括键合锚点和相对键合锚点高度较低的电容极板;将器件晶圆与键合锚点键合,对器件晶圆进行刻蚀,形成贯通至键合锚点的通槽;在通槽沉积形成连接器件晶圆与键合锚点的连接柱;对器...
  • 本实用新型公开一种芯片封装结构,属于芯片封装领域。在芯片的第一面设置有IC电路,芯片的第二面设置有底板;并且芯片的第一面和第二面相对,第一面为芯片的正面,第二面为芯片的背面。本实用新型通过将MEMS芯片和IC电路上下叠层,大大缩小了封装产品...
  • 一种微流体致动器,包含基板、腔体层、振动层、下电极层、压电致动层、上电极层、孔板层以及流道层。基板通过蚀刻制程形成出流孔洞、第一进流孔洞以及第二进流孔洞。腔体层形成于基板上,并通过蚀刻制程形成储流腔室。振动层形成于腔体层上。下电极层形成于振...
  • 一种微流体致动器,包含:一基板,具有多个第一出流孔洞以及多个第二出流孔洞;一腔体层,具有一储流腔室;一振动层;一第一金属层;一压电致动层;一第二金属层,具有一上电极焊垫以及一下电极焊垫;一入口层;一共振层;以及一阵列孔片;提供具有不同相位电...
  • 本公开的实施例提供一种压力传感器及其制备方法,所述压力传感器包括硅应变膜片,所述硅应变膜片自上而下依次形成有十字梁、应变膜和背腔,所述十字梁将所述硅应变膜片分割出四个对称布置的镂空部,所述镂空部呈花瓣状,所述十字梁的四个端部分别设有压敏电阻...
  • 本实用新型公开了一种防水防火防爆的电池收纳包,属于收纳包技术领域,一种防水防火防爆的电池收纳包,包括收纳包本体、安装在所述收纳包本体顶口部位的拉链以及缝合在所述收纳包本体两侧外壁的提手,其中一个所述提手的上方设置有缝合连接在所述收纳包本体外...
  • 本发明公开了一种锁控制系统及车辆,该锁控制系统包括主控制系统和冗余控制系统;所述主控制系统,与信号输入端和锁电机相连,用于在接收到所述信号输入端输入的碰撞信号后,向所述锁电机输出第一控制信号,以使所述锁电机执行解锁操作;所述冗余控制系统,与...
  • 本发明公开了一种大熊猫粪便保藏装置专用内胆,涉及粪便保藏技术领域,其包括开设有端口的胆体和闭合所述端口的盖板,胆体与盖板之间构成用于保藏动物粪便的空腔;所述胆体包括弹性薄膜、折皱于弹性薄膜一侧的透明层、设置于所述弹性薄膜和透明层之间形成的封...
  • 本实用新型公开了一种汽车门锁自吸合与电动解锁机构,包括锁块支架、电机、齿轮传动机构、齿件、自吸摇臂、电动解锁推杆、外开摇臂、手动开锁拨杆、底板、锁本体、棘爪和棘轮;所述锁块支架与底板连接,锁本体安装在底板上,棘轮、棘爪设置在底板与锁本体之间...
  • 本实用新型涉及汽车领域技术领域,一种改进型汽车门锁,包括连接板和安装孔,所述连接板的表面安装有安装孔,所述连接板的外壁设有连接机构,所述连接机构包括第一连接柱,所述连接柱的外壁与连接板连接,所述第一连接柱的外壁与安装板螺纹连接,所述安装板的...
  • 本实用新型公开一种锂电池金属箱体,涉及锂电池装置领域。该锂电池金属箱体,包括金属箱主体和设置在金属箱主体内部的电池组,金属箱主体的内部设置有固定组件,固定组件包括固定板、活动板,梯形板和螺杆;固定板滑动连接在金属箱主体的内部,活动板滑动连接...
  • 本实用新型提供一种异型装饰灯的环保缓冲包装内卡,包括内卡本体以及配件盒体;所述内卡本体包括由一瓦楞纸板裁切折叠成型的第一八边形底板、四个间隔成型在所述第一八边形底板侧边的缓冲部、四个间隔成型在所述第一八边形底板侧边的缓冲阻挡部;所述第一八边...
  • 本实用新型公开了一种家电包装覆膜泡沫底垫,包括泡沫底垫本体,泡沫底垫本体下方设有塑料板,泡沫底垫本体与塑料板之间设有卡接机构,本实用新型通过在泡沫底膜本体底端设置塑料板,可以提高泡沫底垫的整体稳定性。塑料板的硬度和耐磨性可以帮助泡沫底垫更好...
  • 本实用新型公开了一种拉线卡接结构及车辆,涉及车辆技术领域,其中,该拉线卡接结构包括:底座,设有一侧开口的卡槽,所述卡槽自所述开口装入所述卡槽;限位件,与所述底座活动连接以具有封闭所述开口的关闭状态及开启所述开口的打开状态;本实用新型提供的技...
  • 本发明提供一种全固态MEMS电场传感器及其工作方法,所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场/交流电场的检测,对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电...
  • 本发明公开了一种硼氮共掺杂石墨烯/金刚石微电极及可穿戴脑机接口,微电极通过以下步骤制备:步骤s1,对钽丝基底进行预处理,浸入金刚石纳米颗粒的乙醇悬浮液中超声振荡,使金刚石纳米颗粒嵌入钽丝基底表面,形成成核位点,得到样品基底;步骤s2,清理C...
  • 本实用新型提供一种异型家居氛围灯的环保缓冲包装内卡,包括由一瓦楞纸板裁切折叠成型的八边形底板、四个间隔成型在所述八边形底板侧边的缓冲部、四个间隔成型在所述八边形底板侧边的限位缓冲部;所述缓冲部包括依次连接的第一折面、第二折面、第三折面;所述...
  • 本实用新型公开了一种缓冲式沉香精油包装盒,包括壳体,所述壳体的一侧活动连接有盖板,所述壳体的另一侧设置有缓冲机构,所述缓冲机构包括支撑座,所述支撑座的顶部开设有置物槽,且置物槽的内腔设置有精油瓶,盖板内腔顶部的中轴处固定连接有弹性环,弹性环...
  • 本实用新型公开了中药草用保存装置,包括存放盒,所述存放盒的内部开设有空腔,所述空腔的内壁开设有两组滑道,两组所述滑道上下排布,两组所述滑道内分别设有排列装置和遮盖装置。所述存放盒空腔的底部开设有凹槽,所述凹槽内设有支撑气垫。本实用新型能够根...
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